By very simple means and operation, no water hammer can be struck, and the fluid path can be shut off in a short time. Therefore, by the following components: installation of a water hammer closing device actuator action type valve in the fluid passage; electro pneumatic converter an actuator pressure Pa supply two level ladder to the actuator action type valve; vibration sensor can be removably fixed to the upstream side of the valve actuator action on the pipeline; step action input pressure Ps' by Pr, the vibration signal detection sensor to detect vibration and to electro pneumatic converter output control of the two step action actuator pressure Pa control of the size of the Sc signal, the control signal through the Sc adjustment, basically from the electro pneumatic converter output vibration detection Pr signal box become actuator pressure Pa two step ladder action pressure Ps' zero.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在流体通路紧急关闭时可以完全防止发生水击 作用的防止水击作用发生系统的改进，涉及不管流体压力的大 小，都能够不产生水击、迅速且可靠地关闭流体通路的流体通路 关闭方法，和用于该方法的无水击阀装置，以及无水击关闭装 置。
技术介绍
当急剧地关闭水等液体流通的通路时，会引起在关闭部位的 上游侧的通路内的压力振动式地上升的所谓水击现象，是一种众 所周知的现象。此外，当发生该水击现象时，由于上游侧通路内的压力上 升，会造成与其连接的设备、装置等的破损等各种不当之处。因此，对于防止水击现象的发生的措施，过去开发了各种技术。但是，任何一种技术基本上都是(1)将流体通路的关闭时间设定较长，或者(2)通过打开旁通通路将通路内产生的振动 压力释放到外部，吸收到另外设置的储压器内，在前一种方法 中，关闭流体通路需要花费时间，不能满足紧急关闭的要求，在 后一种方法中，存在着附加费用升高的问题。进而，有关上述水击问题，在过去，主要是使用比较大的流 量的流体的产业领域的问题，但近年来，在使用小流量的流体的 领域，例如在半导体制造中的硅的湿法氧化膜处理领域以及药品 的制造领域等...
【技术保护点】
一种流体通路的无水击关闭装置，其特征在于，它包括无水击阀装置和运算存储装置构成，其中，所述无水击阀装置包括以下部分构成：阀主体，驱动阀主体的致动器，调整输入到致动器的驱动力的自动驱动力控制器，检测阀主体的阀行程的阀行程检测器，输入阀的开闭指令信号Ｓ和阀行程检测信号Ｓｐ及阀行程的设定信号ＳＧ、并且向前述自动驱动力控制器输出驱动力控制信号ＳＲ、在经由致动器将阀主体的阀行程短时间保持在设定值之后、使阀主体完全关闭的控制回路；所述运算存储装置配备有：检测初级侧流通路径的流体压力的压力检测传感器，输入来自前述压力检测传感器的流体通路内压的压力检测信号Ｐ↓［１］和从关闭时间检测传感器来...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：大见忠弘，池田信一，西野功二，永濑正明，土肥亮介，西村龙太郎，
申请(专利权)人：株式会社富士金，大见忠弘，
类型：发明
国别省市：JP[]
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