一种自动清洗设备的氮气干燥机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自动清洗设备的氮气干燥机构，包括烘干箱和加热器，所述烘干箱内设置有喷淋装置，所述喷淋装置通过金属管道连接在能够将氮气加热的加热器上；所述加热器包括壳体和密封盖，所述密封盖通过螺栓固定安装在壳体上；所述壳体内设置有保温层，所述保温层内设置有加热层，所述加热层内设置有将加热层均匀分开的隔板，所述隔板内设置有通孔；所述加热器内设置有进气管和出气管，所述进气管固定安装在密封盖上向内延伸穿过隔板伸入加热器的底部，所述出气管连通加热器内外部固定安装在密封盖上；所述加热器内设置有加热管，所述加热管固定安装在密封盖上向内延伸穿过隔板伸入加热器的底部，便于将加热层加热。

【技术实现步骤摘要】
一种自动清洗设备的氮气干燥机构
本技术涉及一种氮气干燥机构，具体是一种自动清洗设备的氮气干燥机构。
技术介绍
硅属于半导体材料，其自身的导电性并不是很好。然而，可以通过添加适当的掺杂剂来精确控制它的电阻率。制造半导体前，必须将硅转换为晶圆片(wafer)。这要从硅锭的生长开始。单晶硅是原子以三维空间模式周期形成的固体，这种模式贯穿整个材料。多晶硅是很多具有不同晶向的小单晶体单独形成的，不能用来做半导体电路。多晶硅必须融化成单晶体，才能加工成半导体应用中使用的晶圆片。加工硅晶片生成一个硅锭要花一周到一个月的时间，这取决于很多因素，包括大小、质量和终端用户要求。超过75%的单晶硅晶圆片都是通过Czochralski(CZ，也叫提拉法)方法生长的。晶圆片是需要刻蚀和清洗的，使用氢氧化钠、乙酸和硝酸的混合物以减轻磨片过程中产生的损伤和裂纹。关键的倒角工艺是要将晶圆片的边缘磨圆，彻底消除将来电路制作过程中破损的可能性。倒角后，要按照最终用户的要求，经常需要对边缘进行抛光，提高整体清洁度以进一步减少破损。抛光(化学机械抛光，ChemicalMechanicalPolishing)生产过程中最重要的工艺是抛光晶圆片，此工艺在超净间中进行。超净间从一到一万分级，这些级数对应于每立方米空间中的颗粒数。这些颗粒在没有控制的大气环境下肉眼是不可见的。例如起居室或办公室中颗粒的数目大致在每立方米五百万个。为了保持洁净水平，生产工人必须穿能盖住全身且不吸引和携带颗粒的洁净服。在进入超净间前，工人必须进入吸尘室内以吹走可能积聚的任何颗粒。硅晶片大多数生产型晶圆片都要经过两三次的抛光,抛光料是细浆或者抛光化合物。多数情况下，晶圆片仅仅是正面抛光，而300毫米的晶圆片需要双面抛光。除双面抛光以外，抛光将使晶圆片的一面象镜面一样。抛光面用来生产电路，这面必须没有任何突起、微纹、划痕和残留损伤；制作完成的晶圆片需要进行烘干处理，由于晶圆片对洁净度要求非常高，因此普通的烘干装置和设备并不能满足晶圆片的烘干需求。为此，专利技术人综合各类因素提出了一种自动清洗设备的氮气干燥机构。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种自动清洗设备的氮气干燥机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种自动清洗设备的氮气干燥机构，包括烘干箱和加热器，所述烘干箱内设置有喷淋装置，所述喷淋装置通过金属管道连接在能够将氮气加热的加热器上；所述加热器包括壳体和密封盖，所述密封盖通过螺栓固定安装在壳体上；所述壳体内设置有保温层，所述保温层内设置有加热层，所述加热层内设置有将加热层均匀分开的隔板，所述隔板内设置有通孔；所述加热器内设置有进气管和出气管，所述进气管固定安装在密封盖上向内延伸穿过隔板伸入加热器的底部，所述出气管连通加热器内外部固定安装在密封盖上；所述加热器内设置有加热管，所述加热管固定安装在密封盖上向内延伸穿过隔板伸入加热器的底部，便于将加热层加热。工作时：将待烘干的晶圆片放置在烘干箱内，将常温氮气由进气管输送进加热器中，通过加热层内隔板逐层到加热器底部，然后通过隔板内通孔，逐层加热后由氮气出气管输出，加热器优点在于：常温氮气直接进入到加热器底部，在此进气管中就已经预加热，从加热器底部再通过隔板逐层向上移动，加热层内整体加热，氮气逐层升温，最终由出气管输出，整体结构简单紧凑，加热效率高；最后将高温氮气通过金属管道连接到烘干箱内的喷淋装置，将热氮气通过喷淋装置喷到烘干箱内的晶圆片上，由此工艺流程实现晶圆片的干燥，因为高温氮气是较为纯净的无杂质的气体，不会与晶圆片发生化学反应和污染晶圆片，大大降低了晶圆片的损伤率，提高了晶圆片的成品率。作为本技术的进一步方案：所述喷淋装置包括底座，所述底座固定安装在烘干箱内壁上，所述底座上安装有喷头，所述喷头通过金属管道连接在加热器的出气管上，所述喷头上安装有喷嘴，便于热氮气从喷嘴喷出。作为本技术的再进一步方案：所述烘干箱外设置有防护罩，所述防护罩罩接安装在烘干箱外，所述防护罩采用聚丙烯材料制成，便于防护，防止高温氮气灼伤工作人员。作为本技术的再进一步方案：所述烘干箱顶部设置有箱盖，所述箱盖密封安装在烘干箱顶部开口处，便于防止热氮气从烘干箱顶部开口处溢出，也防止空气内的杂质进入烘干箱。作为本技术的再进一步方案：所述烘干箱侧面下方设置有排气口，便于热氮气由烘干箱侧面下方排气口排出。作为本技术的再进一步方案：所述烘干箱底部设置有排水口，便于将烘干箱在逐渐冷却的过程中产生的冷凝水从排水口排出。作为本技术的再进一步方案：所述保温层采用绝热棉材料填充，隔温效果好，既保证内层温度不流失，又保证外层温度不会烫伤。作为本技术的再进一步方案：所述金属管道为标号为304的不锈钢材料制成，具有耐高温防腐蚀的功能，便于输送高温氮气。与现有技术相比，本技术具有以下几个方面的有益效果：1、本技术提供一种自动清洗设备的氮气干燥机构，结构设置巧妙且布置合理，本技术中将热氮气通过喷淋装置喷到烘干箱内的晶圆片上，由此工艺流程实现晶圆片的干燥，因为高温氮气是较为纯净的无杂质的气体，不会与晶圆片发生化学反应和污染晶圆片，大大降低了晶圆片的损伤率，提高了晶圆片的成品率。2、本技术进一步设计的加热器优点在于：常温氮气直接进入到加热器底部，在此进气管中就已经预加热，从加热器底部再通过隔板逐层向上移动，加热层内整体加热，氮气逐层升温，最终由出气管输出，整体结构简单紧凑，加热效率高。3、本技术进一步设计的烘干箱外设置有防护罩，所述防护罩罩接安装在烘干箱外，所述防护罩采用聚丙烯材料制成，便于防护，防止高温氮气灼伤工作人员。4、本技术进一步设计的保温层采用绝热棉材料填充，隔温效果好，既保证内层温度不流失，又保证外层温度不会烫伤。附图说明图1为一种自动清洗设备的氮气干燥机构的结构示意图。图2为一种自动清洗设备的氮气干燥机构中加热器的结构示意图。图3为一种自动清洗设备的氮气干燥机构中加热器的侧面剖视图。图4为一种自动清洗设备的氮气干燥机构中防护罩的侧面剖视图。图5为一种自动清洗设备的氮气干燥机构中烘干箱的侧面剖视图。图中：1、烘干箱；2、防护罩；3、箱盖；4、壳体；5、密封盖；51、螺栓；6、进气管；7、加热管；8、出气管；81、金属管道；9、保温层；10、加热层；11、隔板；12、通孔；13、排气口；14、排水口；15、底座；16、喷头；17、喷嘴。具体实施方式下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。请参阅图1-5，一种自动清洗设备的氮气干燥机构，包括烘干箱1和加热器，所述烘干箱1内设置有喷淋装置，所述喷淋装置通过金属管道81连接在能够将氮气加热的加热器上；所述加热器包括壳体4和密封盖5，所述密封盖5通过螺栓51固定安装在壳体4上；所述壳体4内设置有保温层9，所述保温层本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动清洗设备的氮气干燥机构，包括烘干箱（1）和加热器，其特征在于，所述烘干箱（1）内设置有喷淋装置，所述喷淋装置通过金属管道（81）连接在能够将氮气加热的加热器上；所述加热器包括壳体（4）和密封盖（5），所述密封盖（5）通过螺栓（51）固定安装在壳体（4）上；所述壳体（4）内设置有保温层（9），所述保温层（9）内设置有加热层（10），所述加热层（10）内设置有将加热层（10）均匀分开的隔板（11），所述隔板（11）内设置有通孔（12）；所述加热器内设置有进气管（6）和出气管（8），所述进气管（6）固定安装在密封盖（5）上向内延伸穿过隔板（11）伸入加热器的底部，所述出气管（8）连通加热器内外部固定安装在密封盖（5）上；所述加热器内设置有加热管（7），所述加热管（7）固定安装在密封盖（5）上向内延伸穿过隔板（11）伸入加热器的底部。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动清洗设备的氮气干燥机构，包括烘干箱（1）和加热器，其特征在于，所述烘干箱（1）内设置有喷淋装置，所述喷淋装置通过金属管道（81）连接在能够将氮气加热的加热器上；所述加热器包括壳体（4）和密封盖（5），所述密封盖（5）通过螺栓（51）固定安装在壳体（4）上；所述壳体（4）内设置有保温层（9），所述保温层（9）内设置有加热层（10），所述加热层（10）内设置有将加热层（10）均匀分开的隔板（11），所述隔板（11）内设置有通孔（12）；所述加热器内设置有进气管（6）和出气管（8），所述进气管（6）固定安装在密封盖（5）上向内延伸穿过隔板（11）伸入加热器的底部，所述出气管（8）连通加热器内外部固定安装在密封盖（5）上；所述加热器内设置有加热管（7），所述加热管（7）固定安装在密封盖（5）上向内延伸穿过隔板（11）伸入加热器的底部。


2.根据权利要求1所述的一种自动清洗设备的氮气干燥机构，其特征在于，所述喷淋装置包括底座（15），所述底座（15）固定安装在烘干箱（1）内壁上，所述底座（15）上安装有喷头（16），所述喷头（16）通过金属管道（81）连接在加热器...

【专利技术属性】
技术研发人员：程玉学，
申请(专利权)人：三河市致欣科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13