一种LOADLOCK监控和自动复位系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种ＬＯＡＤＬＯＣＫ监控和自动复位系统及方法，该系统包括：设备主控制系统、机械手、光信号发射器、光信号接收器、数据分析判断模块和ＬＯＡＤＬＯＣＫ，该设备主控制系统可发出信号使ＬＯＡＤＬＯＣＫ及机械手开始运作；机械手将信号反馈给设备主控制系统；光信号发射器可接收设备主控制系统信号，发出一列光信号；光信号接收器可检测光信号发射器发来的光信号；数据分析判断模块可根据光接收信号器发来的数据进行处理和判断，并反馈到设备主控制系统；ＬＯＡＤＬＯＣＫ可根据设备主控制系统给出的信号进行调整。该方法包括六个步骤。本发明专利技术可以检测ＬＯＡＤＬＯＣＫ的位置偏差，防止在操作过程中硅片的划伤。

LOADLOCK monitoring and automatic resetting system and method

The invention discloses a LOADLOCK monitoring and automatic resetting system and method, the system includes: equipment master control system, manipulator, optical signal transmitter and optical signal receiver, data analysis and judgment module and LOADLOCK, the main control system sends a signal to the LOADLOCK and the manipulator manipulator will start operation; the feedback signal to the the main equipment control system; optical signal transmitter signal receiving equipment main control system, a series of light signal; optical signal receiver can be sent to the optical signal detection optical signal transmitter; data analysis module can according to the received optical signal is sent to the data processing and judgment, and feedback to the equipment master control system; LOADLOCK can be adjusted according to the signal equipment main control system is given. The method consists of six steps. The invention can detect the position deviation of the LOADLOCK and prevent the scratch of the silicon wafer during operation.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种自动监控和控制系统，尤其涉及是指一种L0ADL0CK监 控和自动复位系统及方法。
技术介绍
目前LOADLOCK (预装载台)的作用是让被搬送物体从非真空状态到 另高真空状态前的过渡腔体，它可以达到一定程度的真空度，它的产生可 以省很多从大气到高真空的抽真空时间，它自带的感知器也能对硅片的缺 损进行检测所以被广泛运用于批量生产的高真空设备。但是，在半导体设备当中的应用，存在着LOADLOCK偏移导致硅片划 伤的隐患，而此种隐患在目前的技术手段下无法事前预知和控制。 一旦发 生划伤受害面将非常之大。因此，在此
中，需要一种LOADLOCK监控和自动复位系统， 可以有效监控LOADLOCK位置的偏差，同时对偏差量进行分析和判断并做 出报警或对偏差进行自动调整。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种LOADLOCK监控和自动复位系统 及方法，可以检测LOADLOCK的位置偏差，防止在操作过程中硅片的划伤。为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种LOADLOCK监控和自动复位 系统，其包括设备主控制系统、机械手、光信号发射器、光信号接收器、 数据分析判断模块和L0ADL0CK，其中设备主控制系统，可发出信号使LOADLOCK及机械手开始运作；机械手，将信号反馈给设备主控制系统； 光信号发射器，可接收设备主控制系统信号，发出一列光信号；光信号接 收器，可检测光信号发射器发来的光信号；数据分析判断模块，可根据光 接收信号器发来的数据进行处理和判断，并反馈到设备主控制系统； L0ADL0CK，可根据设备主控制系统给出的信号进行调整。为解决上述技术问题，本专利技术还提供了一种L0ADL0CK监控和自动复 位方法，可运用于上述系统上，包括如下步骤步骤一、设备主控制系统， 发出传动信号使L0ADL0CK及机械手开始动作；步骤二、机械手，把到位 信号反馈给所述设备主控制系统；步骤三、光信号发射器，接收设备主控 制系统发出的机械手到位信号，发出一列光信号；步骤四、光信号接收器， 检测光信号发射器发出的光信号并将数据发送给数据分析判断模块;步骤 五、数据分析判断模块，根据光接收信号器的数据进行处理和判断，并把 判断信号反馈到设备主控制系统；设备主控制系统发出指令给L0ADL0CK; 步骤六、L0ADL0CK将根据设备主控制系统给出的指令进行对应的步进调 整。上述步骤五判断信号包括报警信号、正常作业信号或补正信号。 指令包括发出报警、正常作业或补正指令。上述步骤五具体指数据分 析判断模块，根据接收到的数据，先判断是否超过异常报警的预定值，如 超过则发出报警信号给设备主控制系统，设备主控制系统发出报警指令， 如未超过，则发出正常作业信号反馈给设备主控制系统，设备主控制系统 发出正常作业的指令；同时，数据分析判断模块继续与各标准进行比对或 运算，并调用其它批次数据进行分析和判断后发现异常时，再次发出补正 信号反馈给设备主控制系统，设备主控制系统发出补正指令。上述判断是否超过异常报警的预定值指l枚发生大于Zmax时，发出报警信号；或连 续5枚发生同一方向的偏差量大于Z2时，发出报警信号；或同批次中有 3枚超Z2且是同向偏差，而另有3枚超Z2且也是同向偏差但与前3枚是 反方向偏差时，发出报警信号；或连续5批每批都出现4枚或4枚以上超 过Zl且是同向偏差，而另有4枚或4枚以上超过Zl且同向偏差但与前几 枚是反方向偏差时，发出报警信号；或如发现机械手的厚度与测得的值 Wrx偏差较大时，发出停机报警信号；或发现硅片的厚度与测得的值Wx 偏差较大时，发出停机报警信号。上述数据分析判断模块判断发出补正信 号的标准有:如连续3批中每批都有4枚或4枚以上偏差超过Z2且是同向 偏差而其它硅片无反向偏差超Z2时，此时数据分析判断模块将3批中的 所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正信号; 或如果20批制品中出现5批都有4枚或4枚以上偏差超过Z2且是同向偏 差而同批次中的其它硅片无反向偏差超Z2时，此时数据分析判断模块将 5批中的所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补 正信号;或如果连续3批中都有10枚以上发生偏差超过Zl且是同向偏差 而同批次中的其它硅片无反向偏差超Z1时，此时数据分析判断模块将3 批中的所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正 信号。本专利技术由于采用上述系统及方法，可有效监控L0ADL0CK位置的偏差， 同时对偏差量进行分析和判断并做出报警或对偏差进行自动调整的补正 指令。附图说明图l是本专利技术一个具体实施例的工作流程图； 图2是图1实施例中系统的工作示意图3是图1实施例中光信号接收器与光信号发射器与机械手的相对位 置示意图3中1为光线号发射器、2为机械手、3为Load lock阀门、4为 光线号收器。具体实施例方式本专利技术L0ADL0CK监控和自动复位系统包括设备主控制系统、机械手、 光信号发射器、光信号接收器、数据分析判断模块和LOADLOCK等，相应 的方法可在系统中展开。下面结合附图与具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。如图1所示，是本专利技术一个具体实施例的工作流程图。首先是由设备主 控制系统发出搬送硅片的传动信号使LOADLOCK先位移到指定的位置后机械 手动作，等机械手伸到硅片背面时(在Z轴动作前)，反馈一个到位信号给设 备主控制系统，由设备主控制系统触发光信号发射器发出一列光信号，如 图2所示，此系统由高密度的光信号发射器和光信号接收器组成，其光信号 发射器和接收器都为柱状，同时数据分析模块也被触发。光穿过L0ADL0CK 中的片盒和硅片被光信号接收器检测到(光信号接收器与光信号发射器是 同脉冲触发，同触发同关闭,减少其它反射和折射光的影响)，此时数据分析 判断模块根据光信号接收器的数据进行处理和判断，并且所述数据分析判 断模块，其工作方式为'后台运算方式'，不影响机械手的正常工作速度。判断发出报警信号的标准有 ① l枚发生大于Zmax时，发出紧急停机报警信号；② 连续5枚发生同一方向的偏差量大于Z2时，发出报警信号(此时 可能L0ADL0CK发生步进电机偏差)；③ 同批次中有3枚超Z2且是同向偏差，而另有3枚超Z2且也是同 向偏差但与前3枚是反方向偏差时，发出报警信号(如L0ADL0CK位移偏 差)；④ 连续5批次中每批都出现4枚或4枚以上超过Zl且是同向偏差， 而另有4枚或4枚以上超过Zl且同向偏差但与前几枚是反方向偏差时， 发出报警信号(如L0ADL0CK的步进马达有老损等)；⑤ 如发现机械手的厚度与测得的值(Wrx)偏差较大时，发出停机报警信号(如机械手变形或感知器异常)；⑥ 如发现硅片的厚度与测得的值(Wx)偏差较大时，发出停机报警信 号(如硅片放错片槽，L0ADL0CK倾斜或感知器异常等)。判断发出补正信号的标准有① 如连续3批次中每批都有4枚或4枚以上偏差超过Z2且是同向偏 差而其它硅片无反向偏差超Z2时，此时数据分析判断模块将3批次中的 所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正信号;② 如20批次制品中出现5批都有4枚或4枚以上偏差超过Z2且是 同向偏差而同片批中的其它硅片无反向偏差超Z2时，此时数据分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＬＯＡＤＬＯＣＫ监控和自动复位系统，其特征在于，包括：设备主控制系统、机械手、光信号发射器、光信号接收器、数据分析判断模块和ＬＯＡＤＬＯＣＫ，其中，所述设备主控制系统，可发出信号使所述ＬＯＡＤＬＯＣＫ及机械手开始运作；所 述机械手，将信号反馈给所述设备主控制系统；所述光信号发射器，可接收所述设备主控制系统信号，发出一列光信号；所述光信号接收器，可接收所述设备主控制系统信号，与光信号发射器同脉冲触发并检测所述光信号发射器发来的光信号；所述数据分析判断模块，可根据所述光接收信号器发来的数据进行处理和判断，并反馈到所述设备主控制系统；所述ＬＯＡＤＬＯＣＫ，可根据所述设备主控制系统给出的信号进行调整。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：沈坚，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]