平台精度的补偿方法、装置、设备和介质制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种平台精度的补偿方法、装置、设备和介质。其中，该方法包括：确定目标标定板上的阵列点测量数据；根据阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角；基于待补偿平台的正交性夹角，将阵列点测量数据转换成正交坐标系数据；根据正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿；根据二维线性度误差补偿，对待补偿平台进行补偿。本发明专利技术实施例采用二维方向上的精度补偿方式，根据二维线性度误差补偿，实现待补偿平台精度的精准补偿。

【技术实现步骤摘要】
平台精度的补偿方法、装置、设备和介质
本专利技术实施例涉及一种精度测量
，尤其涉及一种平台精度的补偿方法、装置、设备和介质。
技术介绍
在硬件生产设计的制造中，通常会基于精度平台去实现其精准的高效工艺；但是精度平台的平稳性也会给工艺制造带来影响；若工艺制造的基地平台精度较低，则会导致制作的工艺不满足设计需求；因此，对于平台精度的调整也很重要。现有技术中，主要是通过光栅尺实现平台精度的调试；即安装光栅尺，并利用光栅尺方向和平台运动轴方向确定其补偿精度，以此实现补偿。上述方案的缺陷在于：光栅尺是由人工安装的，实际安装过程中会导致光栅尺与平台导轨之间的平行度以及直线度存在误差，导致平台补偿精度不够。
技术实现思路
本申请实施例提供一种平台精度的补偿方法、装置、设备和介质，可以根据确定出的线性度误差补偿，实现待补偿平台精度的精准补偿。第一方面，本专利技术实施例提供了一种平台精度的补偿方法，包括：确定目标标定板上的阵列点测量数据；根据所述阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角；基于所述待补偿平台的正交性夹角，将所述阵列点测量数据转换成正交坐标系数据；根据所述正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿；根据所述二维线性度误差补偿，对所述待补偿平台进行补偿。可选的，在确定目标标定板上的阵列点测量数据之前，所述方法还包括：从候选标定板集合中，选择包含有圆形阵列点测量数据的标定板作为目标标定板。可选的，根据所述阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角，包括：获取所述目标标定板的阵列点理论数据；根据所述阵列点理论数据和所述阵列点测量数据，确定所述阵列点测量数据到所述阵列点理论数据的仿射变换矩阵；根据所述仿射变换矩阵，计算预设坐标点的仿射向量夹角，得到待补偿平台的正交性夹角。可选的，根据所述正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿，包括：确定中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；确定中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。可选的，确定中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值，包括：确定待补偿平台的正交性夹角线性度误差；以及确定各中间阵列点测量数据的水平测量误差；其中，所述水平测量误差为所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平测量长度，和所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平理论长度的差值；将所述正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的水平测量误差之间的差值，作为所述中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；相应的，确定中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值，包括：确定各中间阵列点测量数据的垂直测量误差；其中，所述垂直测量误差为所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的垂直测量长度，和所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的垂直理论长度的差值；将所述正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的垂直测量误差之间的差值，作为所述中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。可选的，根据所述二维线性度误差补偿，对所述待补偿平台进行补偿，包括：将所述水平线性度误差补偿值和所述垂直线性度误差补偿值，转换成所述待补偿平台的补偿坐标；根据所述待补偿平台的补偿坐标，对所述待补偿平台进行平台精度补偿。第二方面，本专利技术实施例提供了一种平台精度的补偿装置，包括：数据确定模块，用于确定目标标定板上的阵列点测量数据；正交性夹角计算模块，用于根据所述阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角；数据转换模块，用于基于所述待补偿平台的正交性夹角，将所述阵列点测量数据转换成正交坐标系数据；误差补偿确定模块，用于根据所述正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿；平台补偿模块，用于根据所述二维线性度误差补偿，对所述待补偿平台进行补偿。可选的，还包括：目标标定板选择模块，用于从候选标定板集合中，选择包含有圆形阵列点测量数据的标定板作为目标标定板。可选的，正交性夹角计算模块，具体用于：获取所述目标标定板的阵列点理论数据；根据所述阵列点理论数据和所述阵列点测量数据，确定所述阵列点测量数据到所述阵列点理论数据的仿射变换矩阵；根据所述仿射变换矩阵，计算预设坐标点的仿射向量夹角，得到待补偿平台的正交性夹角。可选的，误差补偿确定模块，具体用于：确定中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；确定中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。可选的，误差补偿确定模块，还具体用于：确定待补偿平台的正交性夹角线性度误差；以及确定各中间阵列点测量数据的水平测量误差；其中，所述水平测量误差为所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平测量长度，和所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平理论长度的差值；将所述正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的水平测量误差之间的差值，作为所述中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；相应的，误差补偿确定模块，还具体用于：确定各中间阵列点测量数据的垂直测量误差；其中，所述垂直测量误差为所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的垂直测量长度，和所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的垂直理论长度的差值；将所述正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的垂直测量误差之间的差值，作为所述中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。可选的，平台补偿模块，具体用于：将所述水平线性度误差补偿值和所述垂直线性度误差补偿值，转换成所述待补偿平台的补偿坐标；根据所述待补偿平台的补偿坐标，对所述待补偿平台进行平台精度补偿。第三方面，本专利技术实施例还提供了一种电子设备，该电子设备包括：一个或多个处理器；存储装置，用于存储一个或多个程序，当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行，使得所述一个或多个处理器实现本专利技术实施例中的任一种所述的平台精度的补偿方法。第四方面，本专利技术实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现本专利技术实施例中的任一种所述的平台精度的补偿方法。本专利技术实施例确定目标标定板上的阵列点测量数据；根据阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角；基于待补偿平台的正交性夹角，将阵列点测量数据转换成正交坐标系数据；根据正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿；根据二维线性度误差补偿，对待补偿平台进行补偿。本专利技术实施例采用二维方向上的精度补偿方式，根据二维线性度误差补偿，实现待补偿平台精度的精准补偿。附图说明图1是本专利技术实施例一中的平台精度的补偿方法的流程示意图；图2是本专利技术实施例二中的平台精度的补偿方法的流程示意图；图3是本专利技术实施例三中的平台精度的补偿装置的结构示意图；图4是本实施例四中的电子设备的结构示意本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平台精度的补偿方法，其特征在于，所述方法包括：/n确定目标标定板上的阵列点测量数据；/n根据所述阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角；/n基于所述待补偿平台的正交性夹角，将所述阵列点测量数据转换成正交坐标系数据；/n根据所述正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿；/n根据所述二维线性度误差补偿，对所述待补偿平台进行补偿。/n

【技术特征摘要】
1.一种平台精度的补偿方法，其特征在于，所述方法包括：
确定目标标定板上的阵列点测量数据；
根据所述阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角；
基于所述待补偿平台的正交性夹角，将所述阵列点测量数据转换成正交坐标系数据；
根据所述正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿；
根据所述二维线性度误差补偿，对所述待补偿平台进行补偿。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在确定目标标定板上的阵列点测量数据之前，所述方法还包括：
从候选标定板集合中，选择包含有圆形阵列点测量数据的标定板作为目标标定板。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述阵列点测量数据，计算待补偿平台的正交性夹角，包括：
获取所述目标标定板的阵列点理论数据；
根据所述阵列点理论数据和所述阵列点测量数据，确定所述阵列点测量数据到所述阵列点理论数据的仿射变换矩阵；
根据所述仿射变换矩阵，计算预设坐标点的仿射向量夹角，得到待补偿平台的正交性夹角。


4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述正交坐标系数据确定待补偿平台的二维线性度误差补偿，包括：
确定中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；
确定中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿值。


5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，确定中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值，包括：
确定待补偿平台的正交性夹角线性度误差；以及确定各中间阵列点测量数据的水平测量误差；其中，所述水平测量误差为所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平测量长度，和所述中间阵列点测量数据到起始阵列点测量数据的水平理论长度的差值；
将所述正交性夹角线性度误差和中间阵列点测量数据的水平测量误差之间的差值，作为所述中间阵列点测量数据的水平线性度误差补偿值；
相应的，确定中间阵列点测量数据的垂直线性度误差补偿...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈国军，周科，陈亮，吴景舟，马迪，
申请(专利权)人：钧迪智能装备科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32