一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置，涉及半导体制造技术领域，包括框体与晶圆，所述框体上方设有所述晶圆，所述晶圆底部设有支撑块，所述支撑块穿过所述框体一侧设有支撑板，所述支撑板一侧设有转轴，所述转轴上设有压板，所述压板底部设有弹簧，所述压板通过所述弹簧相连一侧设有底块，所述底块与所述支撑板相连，所述压板一端设有两个圆块，所述框体一侧设有细槽；所述框体两侧壁设有螺纹轴，所述螺纹轴两端设有转动块，所述转动块底部设有固定块，所述转动块一侧设有转动细轴，所述转动细轴一端设有平移块，所述固定块一侧设有滑槽。本实用新型专利技术结构稳定，实用性高。

【技术实现步骤摘要】
一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置
本技术属于封隔器
，具体涉及一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置。
技术介绍
晶圆传输装置包括基座、安装于所述基座中的多根可以进行升降的升降销和一个用于同时控制多根升降销进行升降运动的驱动器。在对位于所述基座上的晶圆进行转移时，多根所述升降销从所述基座伸出，以将所述晶圆顶起。之后，机械手臂再将所述晶圆自所述升降销表面转移至所述机械手臂上。将晶圆顶起的途中，由于升降装置的不得当，会导致晶圆破片，因而需要一种稳定的晶圆传输装置。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置。本技术提供了如下的技术方案：一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置，包括框体与晶圆，所述框体上方设有所述晶圆，所述晶圆底部设有支撑块，所述支撑块穿过所述框体一侧设有支撑板，所述支撑板一侧设有转轴，所述转轴上设有压板，所述压板底部设有弹簧，所述压板通过所述弹簧相连一侧设有底块，所述底块与所述支撑板相连，所述压板一端设有两个圆块，所述框体一侧设有至少一个细槽，所述压板通过所述圆块与所述细槽滚动相连；所述框体两侧壁设有螺纹轴，所述螺纹轴两端设有转动块，所述转动块底部设有固定块，所述固定块与所述框体相连，所述转动块一侧设有转动细轴，所述转动细轴一端设有平移块，所述固定块一侧设有滑槽，所述平移块通过所述滑槽与所述固定块滑动相连，所述平移块一侧设有两个交叉的第一转杆，所述第一转杆一侧设有转轴，所述第一转杆通过所述转轴相连一侧设有第二转杆，所述第二转杆之间通过所述转轴相连，所述第一转杆另一侧设有上升块，所述上升块与所述支撑板相连，所述上升块底部设有下降块，所述下降块与所述第一转杆相连。优选地，所述下降块两侧设有安装口，所述安装口一侧设有固定轮轴，所述固定轮轴之间设有链条，所述链条上设有齿轮，所述齿轮与所述上升块相连。优选地，所述上升块与所述下降块之间设有多段伸缩筒。优选地，所述螺纹轴两端螺纹方向相反。优选地，所述螺纹轴穿过所述框体相连一侧设有电机。优选地，所述框体底部设有垫板。本技术的有益效果是：本技术设计结构合理，通过支撑板一侧转轴相连的压板，由于圆块在若干的细槽上向上滑动，滑向细槽过程中压板会绕着转轴一侧倾斜，弹簧被拉伸，滑动到细槽时，弹簧会恢复原长，压板保持平整增加了晶圆上移时候的稳定性；螺纹轴两侧反向螺纹带动两侧的转动块相向运动，从而带动两个第一转杆进行交叉转动，交叉转动后带动第二转杆交叉转动，同时第一转杆还带动上升块与下降块分开式的升降，第一转杆与第二转杆形成三角式的支撑上升结构增加了升降的承受力；通过转轴与链条的连接方式，增加了升降时的稳定性，确保了晶圆完整与安全。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1是本技术结构示意图；图2是本技术A处放大结构示意图。图中标记为：1.晶圆，2.支撑板，3.电机，4.滑槽，5.垫板，6.支撑块，7.弹簧，8.细槽，9.圆块，10.上升块，11.转动块，12.框体，13.螺纹轴，14.平移块，15.固定块，16.下降块，17.第一转杆，18.安装口，19.固定轮轴，20.齿轮，21.链条，22.多段伸缩筒，23.第二转杆。具体实施方式如图1-2所示，为本技术一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置，包括框体12与晶圆1，所述框体12上方设有所述晶圆1，所述晶圆1底部设有支撑块6，所述支撑块6穿过所述框体12一侧设有支撑板2，所述支撑板2一侧设有转轴，所述转轴上设有压板，所述压板底部设有弹簧7，所述压板通过所述弹簧7相连一侧设有底块，所述底块与所述支撑板2相连，所述压板一端设有两个圆块9，所述框体12一侧设有至少一个细槽8，所述压板通过所述圆块9与所述细槽8滚动相连；所述框体12两侧壁设有螺纹轴13，所述螺纹轴13两端设有转动块11，所述转动块11底部设有固定块15，所述固定块15与所述框体12相连，所述转动块11一侧设有转动细轴，所述转动细轴一端设有平移块14，所述固定块15一侧设有滑槽4，所述平移块14通过所述滑槽4与所述固定块15滑动相连，所述平移块14一侧设有两个交叉的第一转杆18，所述第一转杆18一侧设有转轴，所述第一转杆18通过所述转轴相连一侧设有第二转杆23，所述第二转杆23之间通过所述转轴相连，所述第一转杆18另一侧设有上升块10，所述上升块10与所述支撑板2相连，所述上升块10底部设有下降块16，所述下降块16与所述第一转杆18相连。具体的，如图1-2所示，本技术包括框体12与晶圆1，框体12上方设有晶圆1，晶圆1底部设有支撑块6，支撑块6穿过框体12一侧设有支撑板2，支撑板2一侧设有转轴，转轴上设有压板，压板底部设有弹簧7，压板通过弹簧7相连一侧设有底块，底块与支撑板2相连，压板一端设有两个圆块9，框体12一侧设有至少一个细槽8，压板通过圆块9与细槽8滚动相连。支撑块6带动晶圆进行上移，移动过程中，支撑板2一侧转轴相连的压板，由于圆块9在若干的细槽上向上滑动，滑向细槽过程中压板会绕着转轴一侧倾斜，弹簧被拉伸，滑动到细槽时，弹簧会恢复原长，压板保持平整，一次重复上述过程，增加了晶圆上移时候的稳定性；框体12两侧壁设有螺纹轴13，螺纹轴13两端设有转动块11，转动块11底部设有固定块15，固定块15与框体12相连，转动块11一侧设有转动细轴，转动细轴一端设有平移块14，固定块15一侧设有滑槽4，平移块14通过滑槽4与固定块15滑动相连，平移块14一侧设有两个交叉的第一转杆18，第一转杆18一侧设有转轴，第一转杆18通过转轴相连一侧设有第二转杆23，第二转杆23之间通过转轴相连，第一转杆18另一侧设有上升块10，上升块10与支撑板2相连，上升块10底部设有下降块16，下降块16与第一转杆18相连。螺纹轴13带动两侧的转动块11相向运动，从而带动平移块14移动，平移块14在滑槽4上滑动从而带动两个第一转杆18进行交叉转动，交叉转动后带动第二转杆23交叉转动，同时第一转杆18还带动上升块10与下降块16分开式的升降，第一转杆18与第二转杆23形成三角式的支撑上升结构。具体的，如图1-2所示，下降块16两侧设有安装口17，安装口17一侧设有固定轮轴19，固定轮轴19之间设有链条21，链条21上设有齿轮20，齿轮20与上升块18相连，通过固定轮19上转动的链条21带动齿轮20转动，增加上升块18上升时两侧的稳定性。上升块18与下降块16之间设有多段伸缩筒22，多段伸缩筒22减小上升块18与下降块16之间的晃动，也便于增加上下移动之间的距离。螺纹轴13两端螺纹方向，便于使转动块11相向移动。螺纹轴13穿过框体12相连一侧设有电机3，电机3带动螺纹轴13转动。框体12底部设有垫板5，垫板5减小上下移动时的晃动。本技术的工作原理是：本技术包括框本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置，其特征在于：包括框体与晶圆，所述框体上方设有所述晶圆，所述晶圆底部设有支撑块，所述支撑块穿过所述框体一侧设有支撑板，所述支撑板一侧设有转轴，所述转轴上设有压板，所述压板底部设有弹簧，所述压板通过所述弹簧相连一侧设有底块，所述底块与所述支撑板相连，所述压板一端设有两个圆块，所述框体一侧设有至少一个细槽，所述压板通过所述圆块与所述细槽滚动相连；所述框体两侧壁设有螺纹轴，所述螺纹轴两端设有转动块，所述转动块底部设有固定块，所述固定块与所述框体相连，所述转动块一侧设有转动细轴，所述转动细轴一端设有平移块，所述固定块一侧设有滑槽，所述平移块通过所述滑槽与所述固定块滑动相连，所述平移块一侧设有两个交叉的第一转杆，所述第一转杆一侧设有转轴，所述第一转杆通过所述转轴相连一侧设有第二转杆，所述第二转杆之间通过所述转轴相连，所述第一转杆另一侧设有上升块，所述上升块与所述支撑板相连，所述上升块底部设有下降块，所述下降块与所述第一转杆相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置，其特征在于：包括框体与晶圆，所述框体上方设有所述晶圆，所述晶圆底部设有支撑块，所述支撑块穿过所述框体一侧设有支撑板，所述支撑板一侧设有转轴，所述转轴上设有压板，所述压板底部设有弹簧，所述压板通过所述弹簧相连一侧设有底块，所述底块与所述支撑板相连，所述压板一端设有两个圆块，所述框体一侧设有至少一个细槽，所述压板通过所述圆块与所述细槽滚动相连；所述框体两侧壁设有螺纹轴，所述螺纹轴两端设有转动块，所述转动块底部设有固定块，所述固定块与所述框体相连，所述转动块一侧设有转动细轴，所述转动细轴一端设有平移块，所述固定块一侧设有滑槽，所述平移块通过所述滑槽与所述固定块滑动相连，所述平移块一侧设有两个交叉的第一转杆，所述第一转杆一侧设有转轴，所述第一转杆通过所述转轴相连一侧设有第二转杆，所述第二转杆之间通过所述转轴相连，所述第一转杆另一侧设有上升块，所述上升块与所述支...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宜，
申请(专利权)人：江苏斯米克电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32