一种IGBT产品用探针台制造技术

本实用新型专利技术提供一种IGBT产品用探针台，包括底座台，所述底座台中心螺纹连接有固定层台，所述固定层台设在所述底座台上方，所述固定层台上设有凹槽，所述凹槽中心螺纹连接有置物台，所述置物台与所述凹槽相对应，所述置物台内设有置物槽，所述置物槽周围设有置物卡台，所述凹槽内设有探针卡，所述探针卡与所述置物槽之间电连接，所述固定层台上围绕所述置物台设有螺杆；所述底座台两侧分别设有伸缩块，所述底座台底部设有与所述伸缩块伸缩方向垂直的底部滑块，所述底座台侧面设有防撞块。本实用新型专利技术易于放置被测元件，具有一定保护作用，提高其检测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种IGBT产品用探针台
本技术属于探针台
，具体涉及一种IGBT产品用探针台。
技术介绍
IGBT(InsulatedGateBipolarTransistor)，绝缘栅双极型晶体管，是由BJT(双极型三极管)和MOS(绝缘栅型场效应管)组成的复合全控型电压驱动式功率半导体器件,兼有MOSFET的高输入阻抗和GTR的低导通压降两方面的优点。探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及元器件的质量测试。随着科技的发展，元器件的体积越来越小，通常将多个元器件集成于晶圆上以形成待测件，方便后续进行检测。检测方式通常为：用带电的探针来导通待检测元器件的正负极，再根据元器件的工作情况来判断被检测的元器件是否合格。目前，市面上设计有一种品牌为Tsk，型号为UF200的探针台，这种探针台包括探针台本体，探针台本体的上方开有放置槽，放置槽的下方开有用于容纳被测晶圆的检测通道，检测通道与放置槽相通，在放置槽内设有用于与被测晶圆电性连接的探针卡。在工作时，在检测通道内放入被测晶圆，被测晶圆与探针卡之间电性连接。接着工作人员对探针卡通电，从而实现对晶圆的检测。但是，其放置槽和探针卡为一体设计，在放置被测元件的时候位置易跑偏，尤其是IGBT小元件，且容易造成元件损坏，影响检测精度。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种IGBT产品用探针台，易于放置被测元件，具有一定保护作用，提高其检测精度。本技术提供了如下的技术方案：一种IGBT产品用探针台，包括底座台，所述底座台中心螺纹连接有固定层台，所述固定层台设在所述底座台上方，所述固定层台上设有凹槽，所述凹槽中心螺纹连接有置物台，所述置物台与所述凹槽相对应，所述置物台内设有置物槽，所述置物槽周围设有置物卡台，所述凹槽内设有探针卡，所述探针卡与所述置物槽之间电连接，所述固定层台上围绕所述置物台设有螺杆；所述底座台两侧分别设有伸缩块，所述底座台底部设有与所述伸缩块伸缩方向垂直的底部滑块，所述底座台侧面设有防撞块。优选的，所述置物卡台高于所述置物槽，所述置物卡台低于所述置物台，所述置物卡台与所述置物台为一体结构，所述置物台的材质为橡胶。优选的，所述伸缩块与所述底座台之间设有所述防撞块，所述底部滑块的两端所述底座台侧面上设有限位防撞块。优选的，所述底座台与所述固定层台之间设有多个支撑螺杆。优选的，所述底座台和所述固定层台均为圆柱台。本技术的有益效果是：本技术通过设计保护型置物台对被测元件进行一定保护，防止其跑偏损坏，影响检测精度；放置槽与探针卡分开设计，起到分别保护作用，且防止元件直接与探针卡连接，影响检测结构；分体底座台设计，可通过螺纹调节其高度；底座下设置滑块和伸缩块，可卡接设计在相应滑轨内，进行位置滑动调节。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1是本技术结构示意图；图中标记为：1.底座台；11.底部滑块；12.伸缩块；121.防撞块；13.限位防撞块；2.固定层台；21.凹槽；22.螺杆；3.置物台；31.置物槽；32.置物卡台。具体实施方式如图1所示，一种IGBT产品用探针台，包括底座台1，底座台1中心螺纹连接有固定层台2，底座台1和固定层台2均为圆柱台，方便移动设置。固定层台2设在底座台1上方，底座台1与固定层台2之间设有多个支撑螺杆，起到平衡支撑作用。固定层台2上设有凹槽21，凹槽21中心螺纹连接有置物台3，置物台3与凹槽21相对应，置物台3内设有置物槽31，置物槽31周围设有置物卡台32，置物卡台32高于置物槽31，置物卡台32低于置物台3，置物卡台32与置物台3为一体结构，置物台3的材质为橡胶，橡胶具有一定硬度同时又具有软弹性，对内置置物槽31起到保护作用。凹槽21内设有探针卡，探针卡与置物槽31之间电连接，固定层台2上围绕置物台3设有螺杆；底座台1两侧分别设有伸缩块12，底座台1底部设有与伸缩块12伸缩方向垂直的底部滑块11，伸缩块12与底座台1之间设有防撞块121，底部滑块3的两端底座台1侧面上设有限位防撞块13，起到移动保护限位作用。如图1所示，一种IGBT产品用探针台在使用过程中，可在探针台本体检测台上加装便于左右前后移动的滑轨，滑轨与底部滑块11和伸缩块12相匹配，可前后左右进行移动，同时底座台1上匹配设计有防撞块121，防止左右碰撞损坏；在底座台1上安装固定层台2，因为螺纹连接，其可调节之间的距离，适应检测工作，检测时，将被测元件置于置物槽31中，由于置物槽31周围具有置物卡台32，可防止被测元件跑偏滑出，同时，起到保护元件的作用，探针卡放置在置物台3下的凹槽21内，上方的置物台3对探针卡也起到了一定防尘防碰撞的保护作用；进一步的，固定层台2上设有的螺杆22，在置物台3不使用时，可通过螺杆22加装防尘盖板，防止不使用时进入灰尘，影响使用效果。以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种IGBT产品用探针台，其特征在于，包括底座台，所述底座台中心螺纹连接有固定层台，所述固定层台设在所述底座台上方，所述固定层台上设有凹槽，所述凹槽中心螺纹连接有置物台，所述置物台与所述凹槽相对应，所述置物台内设有置物槽，所述置物槽周围设有置物卡台，所述凹槽内设有探针卡，所述探针卡与所述置物槽之间电连接，所述固定层台上围绕所述置物台设有螺杆；所述底座台两侧分别设有伸缩块，所述底座台底部设有与所述伸缩块伸缩方向垂直的底部滑块，所述底座台侧面设有防撞块。/n

【技术特征摘要】
1.一种IGBT产品用探针台，其特征在于，包括底座台，所述底座台中心螺纹连接有固定层台，所述固定层台设在所述底座台上方，所述固定层台上设有凹槽，所述凹槽中心螺纹连接有置物台，所述置物台与所述凹槽相对应，所述置物台内设有置物槽，所述置物槽周围设有置物卡台，所述凹槽内设有探针卡，所述探针卡与所述置物槽之间电连接，所述固定层台上围绕所述置物台设有螺杆；所述底座台两侧分别设有伸缩块，所述底座台底部设有与所述伸缩块伸缩方向垂直的底部滑块，所述底座台侧面设有防撞块。


2.根据权利要求1所述的一种IGBT产品用探针台，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宜，
申请(专利权)人：江苏斯米克电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32