用于半导体基板的搬运手臂制造技术

本实用新型专利技术揭示了用于半导体基板的搬运手臂，包括固定板、可拆卸连接固定板同侧且平行间隔设置的多个条形支撑体、多个嵌入条形支撑体内的吸附组件，所述条形支撑体底部设有连通各吸附组件的真空吸附管，所述吸附组件包括固定座、设于固定座底部的固定块、设于固定座顶部的固定槽、设于固定槽中的安装座、弹性嵌入安装座内的盖板、设于盖板内部空腔中用于弹性支撑固定座与盖板的吸盘；所述固定块中贯穿设有连通真空吸附管和盖板内部空腔的真空孔，盖板上开设有连通其内部空腔的吸附孔。本实用新型专利技术实现了提高搬运手臂的稳定性，具备抗震性和抗氧化性。

【技术实现步骤摘要】
用于半导体基板的搬运手臂
本技术属于运输
，尤其涉及一种用于半导体基板的搬运手臂。
技术介绍
半导体基板搬运行走台车是采用机械手臂从配置有多层基板的晶圆盒中吸附基板，在作业区域进行配置基板的操作。在配置有基板的晶圆盒中，虽然基板配置在规定的位置，但实际上在晶圆盒内会产生旋转偏移或横向偏移，导致机械手取出包含载置坐标误差的基板，在随后的作业区域进行的描绘或曝光工序中产生误差，成为不良产品。近年来基板向大型化、多样化发展，微小的旋转偏移或横向偏移也由于晶基板的大型化而产生更大的影响，也不利于各种形状的基板搬运。随着液晶基板的大型化，搬运物的惯性变大，生产节拍时间的控制亦十分重要。因此对于液晶基板行走台车要求在各种工况下具有高刚性、不易振动的结构。现有机械手臂主体结构大部分由钢、铁、铝合金等金属材料制造，这些机械手臂存在速度慢、能耗大、易变形磨损等缺点，成型后因金属材料本身的特性，机械手臂抗震性及抗氧化性不佳，无法实现快速自动化生产。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述技术问题，而提供用于半导体基板的搬运手臂，从而实现提高搬运手臂的稳定性，具备抗震性和抗氧化性。为了达到上述目的，本技术技术方案如下：用于半导体基板的搬运手臂，包括固定板、可拆卸连接固定板同侧且平行间隔设置的多个条形支撑体、多个嵌入条形支撑体内的吸附组件，所述条形支撑体底部设有连通各吸附组件的真空吸附管，所述吸附组件包括固定座、设于固定座底部的固定块、设于固定座顶部的固定槽、设于固定槽中的安装座、弹性嵌入安装座内的盖板、设于盖板内部空腔中用于弹性支撑固定座与盖板的吸盘；所述固定块中贯穿设有连通真空吸附管和盖板内部空腔的真空孔，盖板上开设有连通其内部空腔的吸附孔。具体的，所述条形支撑体上设有多个等距间隔设置用于容置吸附组件的吸附空位，该吸附空位与吸附组件仿形设置。具体的，所述盖板表面设有多个径向贯通吸附孔的凹槽。具体的，所述凹槽组合形成十字型结构。具体的，所述固定座两侧设有用于安装件连接条形支撑件的多个第一安装孔；安装座两侧设有用于安装件连接固定座的多个第二安装孔。具体的，所述安装座内设有圆形安装位，盖板的底部周向设有卡接圆形安装位的环形部。具体的，所述吸盘的上端和下端分别设有弹性架，其上端的弹性架抵接盖板，其下端的弹性架抵接固定座。具体的，所述盖板为聚醚醚酮材质制成。具体的，所述条形支撑体采用碳纤维增强基复合材料制成，条形支撑体表面涂覆15-20μm的硅材料层。与现有技术相比，本技术用于半导体基板的搬运手臂的有益效果主要体现在：通过在条形支撑体上设置吸附组件，实现半导体基板的准确和灵活定位，吸附组件中吸附孔配合凹槽结构，保证半导体基板的吸附稳定性，不易脱位；条形支撑件和吸附组件均采用限定材质制成，具有良好的抗张强度、抗震性能、抗氧化性、耐磨损的特点。附图说明图1为本技术实施例的结构示意图；图2为本实施例中条形支撑体的局部俯视放大示意图；图3为本实施例中吸附组件的放大结构示意图；图4为本实施例中吸附组件的主视剖视示意图；图中数字表示：1固定板、2条形支撑体、21吸附空位、3固定座、31固定块、32固定槽、33安装座、34真空孔、4盖板、41吸附孔、42凹槽、5吸盘、51弹性架、6第一安装孔、61第二安装孔、7圆形安装位、71环形部。具体实施方式下面对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。实施例：参照图1-4所示，本实施例为用于半导体基板的搬运手臂，包括固定板1、可拆卸连接固定板1同侧且平行间隔设置的多个条形支撑体2、多个嵌入条形支撑体2内的吸附组件；条形支撑体2底部设有连通各吸附组件的真空吸附管（图中未示出），真空吸附管连接至外部的真空吸附器，用于对吸附组件内部进行负压控制。本实施例中条形支撑体2的数量为四个，条形支撑体2的端部通过多个内六角平头螺栓固定于固定板1上。条形支撑体2上设有多个等距间隔设置用于容置吸附组件的吸附空位21，该吸附空位21与吸附组件仿形设置。通过调节条形支撑体2与固定板1的位置关系，实现承载半导体基板的关键位置。吸附组件包括固定座3、设于固定座3底部的固定块31、设于固定座3顶部的固定槽32、设于固定槽32中的安装座33、弹性嵌入安装座33内的盖板4、设于盖板4内部空腔中用于弹性支撑固定座3与盖板4的吸盘5；固定块31中贯穿设有连通真空吸附管和盖板4内部空腔的真空孔34，盖板4上开设有连通其内部空腔的吸附孔41。盖板4表面设有多个径向贯通吸附孔41的凹槽42，用于增加盖板4表面吸附半导体基板的吸附性能，保证半导体基板吸附牢固。本实施例中凹槽42组合形成十字型结构。固定座3两侧设有用于安装件连接条形支撑件2的多个第一安装孔6，固定座3位于条形支撑件2的底部；安装座33两侧设有用于安装件连接固定座3的多个第二安装孔61，安装座33伸入吸附空位21中且与其对应卡接；本实施例中安装件为螺栓。安装座33内设有圆形安装位7，盖板4的底部周向设有卡接圆形安装位7的环形部71。吸盘5的上端和下端分别设有弹性架51，其上端的弹性架51抵接盖板4，其下端的弹性架51抵接固定座3，弹性的吸盘5能有效缓冲半导体基板压接时的冲力，有效保护吸附组件，防止损伤，具有一定抗震效果。固定座3为铝合金材质制成；盖板4为聚醚醚酮材质制成；条形支撑体2表面涂覆15-20μm的硅材料层，条形支撑体2采用碳纤维增强基复合材料制成。应用本实施例时，通过在条形支撑体2上设置吸附组件，实现半导体基板的准确和灵活定位，吸附组件中吸附孔41配合凹槽42结构，保证半导体基板的吸附稳定性，不易脱位；条形支撑件2和吸附组件均采用限定材质制成，具有良好的抗张强度、抗震性能、抗氧化性、耐磨损的特点。以上所述的仅是本技术的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术创造构思的前提下，还可以做出多个变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于半导体基板的搬运手臂，其特征在于：包括固定板、可拆卸连接固定板同侧且平行间隔设置的多个条形支撑体、多个嵌入条形支撑体内的吸附组件，所述条形支撑体底部设有连通各吸附组件的真空吸附管，所述吸附组件包括固定座、设于固定座底部的固定块、设于固定座顶部的固定槽、设于固定槽中的安装座、弹性嵌入安装座内的盖板、设于盖板内部空腔中用于弹性支撑固定座与盖板的吸盘；所述固定块中贯穿设有连通真空吸附管和盖板内部空腔的真空孔，盖板上开设有连通其内部空腔的吸附孔。/n

【技术特征摘要】
1.用于半导体基板的搬运手臂，其特征在于：包括固定板、可拆卸连接固定板同侧且平行间隔设置的多个条形支撑体、多个嵌入条形支撑体内的吸附组件，所述条形支撑体底部设有连通各吸附组件的真空吸附管，所述吸附组件包括固定座、设于固定座底部的固定块、设于固定座顶部的固定槽、设于固定槽中的安装座、弹性嵌入安装座内的盖板、设于盖板内部空腔中用于弹性支撑固定座与盖板的吸盘；所述固定块中贯穿设有连通真空吸附管和盖板内部空腔的真空孔，盖板上开设有连通其内部空腔的吸附孔。


2.根据权利要求1所述的用于半导体基板的搬运手臂，其特征在于：所述条形支撑体上设有多个等距间隔设置用于容置吸附组件的吸附空位，该吸附空位与吸附组件仿形设置。


3.根据权利要求1所述的用于半导体基板的搬运手臂，其特征在于：所述盖板表面设有多个径向贯通吸附孔的凹槽。


4.根据权利要求3所述的用于半导体基板的搬运手臂，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨冬野，袁蕾，
申请(专利权)人：苏州芯慧联半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32