一种晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置制造方法及图纸

本技术提供一种晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置，包括储存机构，储存机构包括两个侧向固定板，两侧向固定板平行设置，两侧向固定板之间滑动连接有抽屉，抽屉用于放置静电纸；定位机构，定位机构设置于两侧向固定板的上方，电磁锁与抽屉限位连接；料仓机构，料仓机构包括固接在两侧向固定板上方的安装板，安装板上周向设置有若干支撑组件，若干支撑组件构成圆形并与静电纸适配，支撑组件与静电纸滑动连接，若干支撑组件内分别滑动连接有毛刷，毛刷用于筛选静电纸。本技术主要应用于晶圆盒包装机，能够实现晶圆盒内静电纸的自动放取，并具有抽屉伸缩功能，实现及时、精确地补充静电纸，提升机台效率和通用性。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体器件，尤其涉及一种晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置。

技术介绍

1、半导体制造行业中，晶圆是指制作硅半导体积体电路所使用的硅晶片，其形状为圆形，故称为晶圆。在晶圆的加工制造过程中，对于污染物的管控尤其重要，因为污染物往往会造成晶圆的缺陷。因此，为减少晶圆受到外部环境中粉尘等污染物的影响，通常需使用晶圆盒包装机将晶圆包装以进行存储。

2、目前对晶圆片进行包装的过程中一般都是采用人工包装，包装需要用到静电纸，现有的采用人工手动完成，生产效率低，自动化程度低，因此，亟需一种晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本技术提出了一种晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置。

2、为实现上述目的，本技术提供了一种晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置，包括：

3、储存机构，所述储存机构包括两个侧向固定板，两所述侧向固定板平行设置，两所述侧向固定板之间滑动连接有抽屉，所述抽屉用于放置静电纸；

4、定位机构，所述定位机构设置于两所述侧向固定板的上方，用于锁定所述抽屉；

5、料仓机构，所述料仓机构包括固接在两所述侧向固定板上方的安装板，所述安装板上周向设置有若干支撑组件，若干所述支撑组件构成圆形并与所述静电纸适配，所述支撑组件与静电纸滑动连接，若干所述支撑组件内分别滑动连接有毛刷，所述毛刷用于筛选静电纸。

6、优选的，所述支撑组件包括与所述安装板固接的两个导向杆和一个固定柱，两所述导向杆和所述固定柱呈三角形布置，两所述导向杆与静电纸滑动连接，所述固定柱上固接所述毛刷，两所述导向杆和所述固定柱的顶端固接有顶板，若干所述顶板相对侧呈弧形，若干所述顶板构成圆形并与静电纸适配。

7、优选的，两所述侧向固定板上分别固接有滑轨，两所述滑轨之间滑动连接有所述抽屉。

8、优选的，所述定位机构包括抽屉连接板，所述抽屉连接板与两所述侧向固定板的一端固接，所述抽屉连接板上固接有精定位接近传感器，所述抽屉连接板上固接有电磁锁，所述电磁锁与所述抽屉限位连接。

9、优选的，两所述侧向固定板上分别固接有若干限位块，若干所述限位块的顶端与所述安装板固接，所述限位块靠近所述滑轨的一侧固接有压簧，所述压簧的另一端固接有定位块，所述抽屉上固接有凸轮随动轮，所述凸轮随动轮与所述定位块接触。

10、优选的，所述安装板位于所述抽屉连接板的上方，所述安装板开设有开口，所述开口与所述精定位接近传感器和所述电磁锁对应。

11、与现有技术相比，本技术具有如下优点和技术效果：

12、抽屉内用于放置需要使用的静电纸，起到一定的储存作用；需要用到静电纸时，将一部分静电纸取出，放置到安装板上，利用外部的吸盘组件对静电纸进行吸附，以便后续的包装工序正常运作，在静电纸向上运动的过程中，毛刷给静电纸运动带来阻力，筛选掉重叠在一起的静电纸，只保留一张静电纸。

13、本技术主要应用于晶圆盒包装机，能够实现晶圆盒内静电纸的自动放取，并具有抽屉伸缩功能，实现及时、精确地补充静电纸，提升机台效率和通用性。

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【技术保护点】

1.一种晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置，其特征在于：所述支撑组件包括与所述安装板固接的两个导向杆(5)和一个固定柱(2)，两所述导向杆(5)和所述固定柱(2)呈三角形布置，两所述导向杆(5)与静电纸滑动连接，所述固定柱(2)上固接所述毛刷(3)，两所述导向杆(5)和所述固定柱(2)的顶端固接有顶板(6)，若干所述顶板(6)相对侧呈弧形，若干所述顶板(6)构成圆形并与静电纸适配。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置，其特征在于：两所述侧向固定板(9)上分别固接有滑轨(13)，两所述滑轨(13)之间滑动连接有所述抽屉(4)。

4.根据权利要求1所述的晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置，其特征在于：所述定位机构包括抽屉连接板(7)，所述抽屉连接板(7)与两所述侧向固定板(9)的一端固接，所述抽屉连接板(7)上固接有精定位接近传感器(10)，所述抽屉连接板(7)上固接有电磁锁(11)，所述电磁锁(11)与所述抽屉(4)限位连接。

5.根据权利要求3所述的晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置，其特征在于：两所述侧向固定板(9)上分别固接有若干限位块(8)，若干所述限位块(8)的顶端与所述安装板(1)固接，所述限位块(8)靠近所述滑轨(13)的一侧固接有压簧(14)，所述压簧(14)的另一端固接有定位块(15)，所述抽屉(4)上固接有凸轮随动轮(12)，所述凸轮随动轮(12)与所述定位块(15)接触。

6.根据权利要求4所述的晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置，其特征在于：所述安装板(1)位于所述抽屉连接板(7)的上方，所述安装板(1)开设有开口，所述开口与所述精定位接近传感器(10)和所述电磁锁(11)对应。

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【技术特征摘要】

1.一种晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置，其特征在于：所述支撑组件包括与所述安装板固接的两个导向杆(5)和一个固定柱(2)，两所述导向杆(5)和所述固定柱(2)呈三角形布置，两所述导向杆(5)与静电纸滑动连接，所述固定柱(2)上固接所述毛刷(3)，两所述导向杆(5)和所述固定柱(2)的顶端固接有顶板(6)，若干所述顶板(6)相对侧呈弧形，若干所述顶板(6)构成圆形并与静电纸适配。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置，其特征在于：两所述侧向固定板(9)上分别固接有滑轨(13)，两所述滑轨(13)之间滑动连接有所述抽屉(4)。

4.根据权利要求1所述的晶圆盒包装机精确定位抽屉料仓装置，其特征在于：所述定位机构包括抽屉连接板(7)，所述抽屉连接板(7...

【专利技术属性】
技术研发人员：任潮群，陈泳，韦国强，崔建敏，崔国江，杨冬野，
申请(专利权)人：苏州芯慧联半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：