一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构制造技术

本技术涉及半导体器件的制造技术领域，公开了一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，包括：外罩，内部设置有电动滑轨，电动滑轨上滑动连接有多个料仓盒；取料口，开设在外罩顶壁，并与多个料仓盒的滑动轨迹相对应；旋转气缸，设置在外罩顶面，旋转气缸传动连接有盖板，盖板与取料口可拆卸地相连接，本技术能够在一个取料口处实现所有料仓盒内仓储干燥剂的抓取，整个过程完全自动化进行，提高作业效率，降低了人工成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体器件的制造，尤其涉及晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构。

技术介绍

1、半导体制造行业中，晶圆是指制作硅半导体积体电路所使用的硅晶片，其形状为圆形，故称为晶圆。在晶圆的加工制造过程中，对于污染物的管控尤其重要，因为污染物往往会造成晶圆的缺陷。因此，为减少晶圆受到外部环境中粉尘等污染物的影响，通常需使用晶圆盒包装机将晶圆包装以进行存储，在对晶圆进行包装时需要应用到干燥剂，而干燥剂的存放方式会直接影响到晶圆包装效率。

2、现有技术中，干燥剂一般放置在干燥剂储存柜中，干燥剂存储柜一般被固定安装在某处，并由移动配送车或配送机器人运送，而可移动配送车或配送机器人上的料仓盒通常只有1组，或虽然由2组或2组以上仓体组成，但它们难以实现精确移动，导致有关干燥剂的存取作业有局限性。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本技术提出了一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，旨在解决或改善上述技术问题中的至少之一。

2、为实现上述目的，本技术提供了一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于，包括：

3、外罩，内部设置有电动滑轨，所述电动滑轨上滑动连接有多个料仓盒；

4、取料口，开设在所述外罩顶壁，并与多个所述料仓盒的滑动轨迹相对应；

5、旋转气缸，设置在所述外罩顶面，所述旋转气缸传动连接有盖板，所述盖板与所述取料口可拆卸地相连接。

6、可选的，所述外罩顶面设置有两轴承座，两所述轴承座位于所述取料口一侧，两所述轴承座之间转动连接有转轴，所述盖板设置在所述转轴上。

7、可选的，所述旋转气缸设置在任意所述轴承座上，且所述旋转气缸的输出轴与所述转轴的一端固接。

8、可选的，所述电动滑轨上滑动连接有基板，且所述基板与所述电动滑轨可拆卸地相连接，多个所述料仓盒并排设置在所述基板上。

9、可选的，所述基板上设置有磁吸和电磁插销，所述电磁插销与所述电动滑轨可拆卸地相连接，所述磁吸与所述电磁插销电性连接。

10、可选的，所述基板上设置有位置检测传感器，所述位置检测传感器与所述电动滑轨电性连接。

11、可选的，所述基板上设置有干燥机检测传感器，所述料仓盒内设置有缺料检测传感器，多个所述缺料检测传感器均与所述干燥机检测传感器电性连接。

12、可选的，所述外罩一端敞开，所述基板靠近所述外罩敞开端的一端固接有把手。

13、可选的，所述取料口边缘处周向包覆有密封圈。

14、与现有技术相比，本技术具有如下优点和技术效果：

15、本技术作为晶圆包装流水线中的一环，将外罩房子在晶圆盒包装机中的适宜位置，通过旋转气缸的旋转运动带动取料口，可实现盖板的90垂直打开关闭动作，并且配合电动滑轨带动多个料仓盒移动，保证外部取料机构在一个取料口处实现所有料仓盒内仓储干燥剂的抓取，整个过程完全自动化进行，提高作业效率，降低了人工成本。

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【技术保护点】

1.一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于：所述外罩(1)顶面设置有两轴承座(5)，两所述轴承座(5)位于所述取料口(2)一侧，两所述轴承座(5)之间转动连接有转轴(7)，所述盖板(4)设置在所述转轴(7)上。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于：所述旋转气缸(3)设置在任意所述轴承座(5)上，且所述旋转气缸(3)的输出轴与所述转轴(7)的一端固接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于：所述电动滑轨(10)上滑动连接有基板(9)，且所述基板(9)与所述电动滑轨(10)可拆卸地相连接，多个所述料仓盒(8)并排设置在所述基板(9)上。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于：所述基板(9)上设置有磁吸(12)和电磁插销(11)，所述电磁插销(11)与所述电动滑轨(10)可拆卸地相连接，所述磁吸(12)与所述电磁插销(11)电性连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于：所述基板(9)上设置有位置检测传感器(13)，所述位置检测传感器(13)与所述电动滑轨(10)电性连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于：所述基板(9)上设置有干燥机检测传感器(14)，所述料仓盒(8)内设置有缺料检测传感器，多个所述缺料检测传感器均与所述干燥机检测传感器(14)电性连接。

8.根据权利要求5所述的一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于：所述外罩(1)一端敞开，所述基板(9)靠近所述外罩(1)敞开端的一端固接有把手(15)。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于：所述取料口(2)边缘处周向包覆有密封圈(6)。

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【技术特征摘要】

1.一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于：所述外罩(1)顶面设置有两轴承座(5)，两所述轴承座(5)位于所述取料口(2)一侧，两所述轴承座(5)之间转动连接有转轴(7)，所述盖板(4)设置在所述转轴(7)上。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于：所述旋转气缸(3)设置在任意所述轴承座(5)上，且所述旋转气缸(3)的输出轴与所述转轴(7)的一端固接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于：所述电动滑轨(10)上滑动连接有基板(9)，且所述基板(9)与所述电动滑轨(10)可拆卸地相连接，多个所述料仓盒(8)并排设置在所述基板(9)上。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆盒包装机干燥剂移动仓储机构，其特征在于：所述基板(9)上设置有磁吸(12)和电...

【专利技术属性】
技术研发人员：任潮群，陈泳，韦国强，崔建敏，崔国江，杨冬野，
申请(专利权)人：苏州芯慧联半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：