一种单手臂双片叉交换机构制造技术

本技术公开一种单手臂双片叉交换机构，包括机械手臂，机械手臂的顶端固定安装有安装台，安装台的上方设置有双片叉,双片叉用于插取晶圆，双片叉与机械手臂传动配合，安装台远离机械手臂的一端固定安装有接片台，接片台沿周向等间距开设有三个通孔，通孔内均滑动安装有支柱，支柱顶端固定连接有导向块，导向块用于对晶圆进行支撑限位，支柱底部固定安装有升降机构，升降机构用于调整导向块的高度，晶圆的直径小于相邻两支柱之间的直线距离。本技术通过双片叉的旋转与导向块升降配合，进而实现对晶圆的交换，从而实现操作人员无接触作业，避免晶圆被污染或划伤；同时还缩短了作业时间，从而达到提高生产效率，降低生产成本的目的。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体器件的制造，尤其涉及一种单手臂双片叉交换机构。

技术介绍

1、半导体制造行业中，晶圆不仅需要在各个工艺设备间流转，还需要在同一个设备的不同腔体间进行传输。由于气密性的要求高，通常真空工艺腔体的晶圆进出口为同一个，需要高效的晶圆交换机构来保证设备整体的生产效率。目前常用的晶圆交换机构为多手臂多片叉的形式，体积庞大，动作控制复杂，既占用空间又浪费作业时间，增加制造成本。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种单手臂双片叉交换机构，以解决上述现有技术存在的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供了一种单手臂双片叉交换机构，包括机械手臂，所述机械手臂的顶端固定安装有安装台，所述安装台的上方设置有双片叉,所述双片叉用于插取晶圆，所述双片叉与所述机械手臂传动配合，所述安装台远离所述机械手臂的一端固定安装有接片台，所述接片台沿周向等间距开设有若干个通孔，所述通孔的数量不少于三个，若干个所述通孔内均滑动安装有支柱，所述支柱顶端固定连接有导向块，所述导向块用于对所述晶圆进行支撑限位，所述支柱底部固定安装有升降机构，所述升降机构用于调整所述导向块的高度，所述晶圆的直径小于相邻两所述支柱之间的直线距离。

3、优先的，所述升降机构顶端固定连接有连接轴，所述连接轴顶端固定连接有基板，若干个所述支柱底端均固定安装在所述基板上。

4、优先的，所述双片叉包括沿竖直方向对应设置的上片叉、下片叉，所述上片叉、所述下片叉的同一端均开设有连接孔，所述上片叉、所述下片叉通过所述连接孔与所述机械手臂传动连接，所述上片叉与所述下片叉之间固定设置有若干个连接块，所述上片叉、所述下片叉远离所述连接孔的一端均设置有插取槽。

5、优先的，所述上片叉与所述下片叉之间的距离不小于5mm。

6、优先的，所述机械手臂包括固定连接在所述安装台上的安装板，所述安装板的底端固定安装有驱动电机，所述安装板上方设置有凸轮，所述凸轮与所述驱动电机的输出轴传动配合，所述凸轮上方设置有转动板，所述转动板两端均嵌设有调整电机，所述凸轮的末端通过一所述调整电机与所述转动板一端传动配合，所述转动板另一端与所述双片叉通过另一所述调整电机传动配合。

7、优先的，所述导向块远离所述支柱一端设置有限位槽，所述晶圆的底面与所述限位槽接触。

8、优先的，所述导向块为塑料块。

9、与现有技术相比，本技术具有如下优点和技术效果：

10、本技术提供的单手臂双片叉交换机构，具有执行动作简单，可实现对晶圆的取放，实现操作人员无接触作业，避免晶圆被污染或划伤；本技术结构简单，后期维护保养成本低；本技术还具有体积小，不仅减少了占地面积，同时还缩短了作业时间，从而达到提高生产效率，降低生产成本的目的。

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【技术保护点】

1.一种单手臂双片叉交换机构，包括机械手臂(5)，其特征在于，所述机械手臂(5)的顶端固定安装有安装台(6)，所述安装台(6)的上方设置有双片叉(1),所述双片叉(1)用于插取晶圆，所述双片叉(1)与所述机械手臂(5)传动配合，所述安装台(6)远离所述机械手臂(5)的一端固定安装有接片台(2)，所述接片台(2)沿周向等间距开设有若干个通孔，所述通孔的数量不少于三个，若干个所述通孔内均滑动安装有支柱(3-2)，所述支柱(3-2)顶端固定连接有导向块(3-1)，所述导向块(3-1)用于对所述晶圆进行支撑限位，所述支柱(3-2)底部固定安装有升降机构(4)，所述升降机构(4)用于调整所述导向块(3-1)的高度，所述晶圆的直径小于相邻两所述支柱(3-2)之间的直线距离。

2.根据权利要求1所述的单手臂双片叉交换机构，其特征在于，所述升降机构(4)顶端固定连接有连接轴(3-4)，所述连接轴(3-4)顶端固定连接有基板(3-3)，若干个所述支柱(3-2)底端均固定安装在所述基板(3-3)上。

3.根据权利要求1所述的单手臂双片叉交换机构，其特征在于，所述双片叉(1)包括沿竖直方向对应设置的上片叉(1-1)、下片叉(1-2)，所述上片叉(1-1)、所述下片叉(1-2)的同一端均开设有连接孔，所述上片叉(1-1)、所述下片叉(1-2)通过所述连接孔与所述机械手臂(5)传动连接，所述上片叉(1-1)与所述下片叉(1-2)之间固定设置有若干个连接块(1-3)，所述上片叉(1-1)、所述下片叉(1-2)远离所述连接孔的一端均设置有插取槽。

4.根据权利要求3所述的单手臂双片叉交换机构，其特征在于，所述上片叉(1-1)与所述下片叉(1-2)之间的距离不小于5mm。

5.根据权利要求1所述的单手臂双片叉交换机构，其特征在于，所述机械手臂(5)包括固定连接在所述安装台(6)上的安装板(5-1)，所述安装板(5-1)的底端固定安装有驱动电机(5-2)，所述安装板(5-1)上方设置有凸轮(5-3)，所述凸轮(5-3)与所述驱动电机(5-2)的输出轴传动配合，所述凸轮(5-3)上方设置有转动板(5-5)，所述转动板(5-5)两端均嵌设有调整电机(5-4)，所述凸轮(5-3)的末端通过一所述调整电机(5-4)与所述转动板(5-5)一端传动配合，所述转动板(5-5)另一端与所述双片叉(1)通过另一所述调整电机(5-4)传动配合。

6.根据权利要求1所述的单手臂双片叉交换机构，其特征在于，所述导向块(3-1)远离所述支柱(3-2)一端设置有限位槽，所述晶圆的底面与所述限位槽接触。

7.根据权利要求6所述的单手臂双片叉交换机构，其特征在于，所述导向块(3-1)为塑料块。

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【技术特征摘要】

1.一种单手臂双片叉交换机构，包括机械手臂(5)，其特征在于，所述机械手臂(5)的顶端固定安装有安装台(6)，所述安装台(6)的上方设置有双片叉(1),所述双片叉(1)用于插取晶圆，所述双片叉(1)与所述机械手臂(5)传动配合，所述安装台(6)远离所述机械手臂(5)的一端固定安装有接片台(2)，所述接片台(2)沿周向等间距开设有若干个通孔，所述通孔的数量不少于三个，若干个所述通孔内均滑动安装有支柱(3-2)，所述支柱(3-2)顶端固定连接有导向块(3-1)，所述导向块(3-1)用于对所述晶圆进行支撑限位，所述支柱(3-2)底部固定安装有升降机构(4)，所述升降机构(4)用于调整所述导向块(3-1)的高度，所述晶圆的直径小于相邻两所述支柱(3-2)之间的直线距离。

2.根据权利要求1所述的单手臂双片叉交换机构，其特征在于，所述升降机构(4)顶端固定连接有连接轴(3-4)，所述连接轴(3-4)顶端固定连接有基板(3-3)，若干个所述支柱(3-2)底端均固定安装在所述基板(3-3)上。

3.根据权利要求1所述的单手臂双片叉交换机构，其特征在于，所述双片叉(1)包括沿竖直方向对应设置的上片叉(1-1)、下片叉(1-2)，所述上片叉(1-1)、所述下片叉(1-2)的同一端均开设有连接孔，所述上片叉(1-1)、所述下片叉(1-2)通过所述连...

【专利技术属性】
技术研发人员：任潮群，陈泳，何忠华，崔建敏，崔国江，杨冬野，
申请(专利权)人：苏州芯慧联半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：