管状工件镀膜机制造技术

本发明专利技术公开一种管状工件镀膜机，管状工件镀膜机包括内部具有镀膜腔的镀膜仓、滑动设置在所述镀膜腔内的工件架以及与所述工件架连接以驱动所述工件架沿所述镀膜仓的长度方向滑动的第一驱动电机，所述工件架上承载有至少一管状工件，沿所述镀膜仓的长度方向上间隔设置有多个阴极，所述管状工件镀膜机还包括设置在所述镀膜腔内的第二驱动电机，所述第二驱动电机与所述工件架连接以驱动所述工件架饶其自身轴线旋转。本发明专利技术提供了一种适用于管状工件的镀膜机。件的镀膜机。件的镀膜机。

【技术实现步骤摘要】
管状工件镀膜机


[0001]本专利技术涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种管状工件镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜是目前较为前沿的镀膜技术，而真空镀膜中的磁控溅射镀膜法采用通过通电阳极放出电子，并使电子在电场的加速作用下与真空腔内的气体分子碰撞，从而使气体分子电离，而电离的气体分子又在电场的作用下轰击阴极上的金属粒子，使金属粒子电离溅射，并使得电离出来的金属离子沉积于靶材表面形成薄膜，其中为了使电子能够更加高效的与气体分子进行碰撞，从而提高气体分子电离率，采用在阴极内部装入磁铁形成磁控阴极，因此电子在电场及磁场的共同作用下，将会在真空腔内形成螺旋式轨迹来增加电子与气体分子的碰撞概率。
[0003]然而在针对管状工件镀膜时，由于在将其水平放置且处于真空环境镀膜时，难以将其旋转使其镀膜更为均匀，并且由于管状工件长度较长，会产生变形，因而会导致在针对管状工件镀膜时，可能镀膜半个圆周后，需要再次取出更换为另外半个圆周面进行镀膜，极大地降低了管状工件的镀膜效率。

技术实现思路

[0004]本专利技术的主要目的是提供一种管状工件镀膜机，旨在提高管状工件的镀膜效率。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提出的一种管状工件镀膜机包括内部具有镀膜腔的镀膜仓、滑动设置在所述镀膜腔内的工件架以及与所述工件架连接以驱动所述工件架沿所述镀膜仓的长度方向滑动的第一驱动电机，所述工件架上承载有至少一管状工件，沿所述镀膜仓的长度方向上间隔设置有多个阴极，所述管状工件镀膜机还包括设置在所述镀膜腔内的第二驱动电机，所述第二驱动电机与所述工件架连接以驱动所述工件架饶其自身轴线旋转。
[0006]在一实施例中，所述工件架包括上安装板以及下安装板，所述上安装板安装在所述镀膜仓的内部顶壁上，所述下安装板安装在所述镀膜仓的内部底壁上，所述管状工件的上下两端分别与所述上安装板和所述下安装板的相对两内壁面抵靠。
[0007]在一实施例中，所述管状工件镀膜机包括滑动组件，所述滑动组件包括上滑轨以及下滑轨，所述上滑轨设置在所述镀膜仓的内部顶壁和所述上安装板之间，所述下滑轨设置在所述镀膜仓的内部底壁和所述下安装板之间，所述第一驱动电机与所述上安装板或所述下安装板连接，以驱动所述上安装板和所述下安装板分别在所述上滑轨和所述下滑轨上滑动。
[0008]在一实施例中，所述滑动组件还包括两个直线滑轨，其中一所述直线滑轨设置在所述上滑轨和所述上安装板之间，另外一所述直线滑轨设置在所述下滑轨和所述下安装板之间。
[0009]在一实施例中，所述管状工件镀膜机包括旋转轴，所述第二驱动电机与所述旋转
轴连接以驱动所述旋转轴饶其自身轴线旋转，所述旋转轴的上下两端分别卡持在所述上安装板和所述下安装板上，以通过所述第二驱动电机驱动所述旋转轴饶其自身轴线旋转带动所述工件架旋转。
[0010]在一实施例中，所述旋转组件还包括轴承座，所述轴承座套装在所述旋转轴的外壁面上，所述轴承座上安装有多个轴承。
[0011]在一实施例中，所述管状工件镀膜机还包括旋转组件，所述旋转组件包括第三驱动电机以及安装夹具，所述第三驱动电机与所述安装夹具分别安装在所述旋转轴的相对两侧面上，所述第三驱动电机穿设所述旋转轴与所述安装夹具连接以驱动所述安装夹具绕所述第三驱动电机的输出轴的延伸方向旋转，所述管状工件的端部卡持在所述安装夹具上。
[0012]在一实施例中，所述管状工件镀膜机还包括真空抽取系统，所述真空抽取系统与所述镀膜仓的镀膜腔连通以抽取所述镀膜腔内的气体。
[0013]本专利技术的技术方案中，当工件架承载管状工件并进入镀膜仓时，可以通过第一驱动电机驱动工件架沿着镀膜仓的长度方向进行移动，在移动的过程中，沿镀膜仓饿长度方向上间隔设置有多个阴极，令阴极对管状工件进行镀膜，而在工件架沿着镀膜仓的长度方向移动的过程中，第二驱动电机可同时驱动工件架饶其自身轴线运动，从而使得管状工件能够将整个圆周均暴露在阴极前，使管状工件在一次镀膜过程实现整个圆周的镀膜，以保证管状工件的镀膜均匀程度，同时也显著减少了管状工件的镀膜时间，提高了镀膜效率。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0015]图1为本专利技术实施例的管状工件镀膜机的结构示意图；
[0016]图2为本专利技术实施例的管状工件镀膜机部分结构示意图。
[0017]附图标号说明：10、镀膜仓；11、镀膜腔；12、内部顶壁；13、内部底壁；20、工件架；21、上安装板；22、下安装板；23、上滑轨；24、下滑轨；25、直线滑轨；26、旋转轴；27、轴承座；28、第三驱动电机；29、安装夹具；30、第一驱动电机；40、管状工件；50、阴极。
[0018]本专利技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0019]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0020]需要说明，本专利技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0021]另外，在本专利技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为
指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0022]并且，本专利技术各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本专利技术要求的保护范围之内。
[0023]本专利技术提供一种管状工件镀膜机。
[0024]如图1-2所示，本专利技术实施例提供的管状工件镀膜机包括内部具有镀膜腔11的镀膜仓10、滑动设置在所述镀膜腔11内的工件架20以及与所述工件架20连接以驱动所述工件架20沿所述镀膜仓10的长度方向滑动的第一驱动电机30，所述工件架20上承载有至少一管状工件40，沿所述镀膜仓10的长度方向上间隔设置有多个阴极50，所述管状工件镀膜机还包括设置在所述镀膜腔11内的第二驱动电机，所述第二驱动电机与所述工件架20连接以驱动所述工件架20饶其自身轴线旋转。
[0025本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管状工件镀膜机，其特征在于，所述管状工件镀膜机包括内部具有镀膜腔的镀膜仓、滑动设置在所述镀膜腔内的工件架以及与所述工件架连接以驱动所述工件架沿所述镀膜仓的长度方向滑动的第一驱动电机，所述工件架上承载有至少一管状工件，沿所述镀膜仓的长度方向上间隔设置有多个阴极，所述管状工件镀膜机还包括设置在所述镀膜腔内的第二驱动电机，所述第二驱动电机与所述工件架连接以驱动所述工件架饶其自身轴线旋转。2.根据权利要求1所述的管状工件镀膜机，其特征在于，所述工件架包括上安装板以及下安装板，所述上安装板安装在所述镀膜仓的内部顶壁上，所述下安装板安装在所述镀膜仓的内部底壁上，所述管状工件的上下两端分别与所述上安装板和所述下安装板的相对两内壁面抵靠。3.根据权利要求2所述的管状工件镀膜机，其特征在于，所述管状工件镀膜机包括滑动组件，所述滑动组件包括上滑轨以及下滑轨，所述上滑轨设置在所述镀膜仓的内部顶壁和所述上安装板之间，所述下滑轨设置在所述镀膜仓的内部底壁和所述下安装板之间，所述第一驱动电机与所述上安装板或所述下安装板连接，以驱动所述上安装板和所述下安装板分别在所述上滑轨和所述下滑轨上滑动。4.根据权利要求3所述的管状工件镀膜机，其特征在于，所述滑动组件还包括两个直...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐洪波，左莉，黄乐，祝海生，孙桂红，黄国兴，
申请(专利权)人：湘潭宏大真空技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：