实施方式涉及一种基板贴合装置、制造系统及半导体装置的制造方法。根据实施方式，提供一种具有第1吸附台、第2吸附台及对准部的基板贴合装置。第1吸附台吸附第1基板。第2吸附台与第1基板对向配置。第2吸附台吸附第2基板。对准部可插入第1吸附台与第2吸附台之间。对准部具有基座部、第1检测元件及第2检测元件。基座部具有第1主面及第2主面。第2主面为第1主面的相反侧的面。第1检测元件配置在第1主面。第2检测元件配置在第2主面。元件配置在第2主面。元件配置在第2主面。
【技术实现步骤摘要】
基板贴合装置、制造系统及半导体装置的制造方法
[0001][相关申请案][0002]本申请案享有在2019年9月5日提出申请的日本专利申请案2019-162027号的优先权的利益，该日本专利申请案的所有内容援引至本申请案中。
[0003]本实施方式涉及一种基板贴合装置、制造系统及半导体装置的制造方法。
技术介绍
[0004]基板贴合装置将2块基板吸附在2个吸附台，并将2块基板贴合。此时，较理想为使2块基板精度良好地贴合。
技术实现思路
[0005]实施方式提供一种能够使2块基板精度良好地贴合的基板贴合装置、制造系统及半导体装置的制造方法。
[0006]根据本实施方式，提供一种具有第1吸附台、第2吸附台及对准部的基板贴合装置。第1吸附台吸附第1基板。第2吸附台与第1基板对向配置。第2吸附台吸附第2基板。对准部可插入第1吸附台与第2吸附台之间。对准部具有基座部、第1检测元件及第2检测元件。基座部具有第1主面及第2主面。第2主面为第1主面的相反侧的面。第1检测元件配置在第1主面。第2检测元件配置在第2主面。
附图说明
[0007]图1是表示实施方式的基板贴合装置的构成的俯视图。
[0008]图2是表示实施方式的基板贴合装置的构成的侧视图。
[0009]图3是表示实施方式中的对准部的构成的俯视图。
[0010]图4是表示实施方式中的对准部的构成的放大剖视图。
[0011]图5是表示实施方式的基板贴合装置的动作的流程图。
[0012]图6A～图6C是表示实施方式的基板贴合装置的动作的图。
[0013]图7A及图7B是表示实施方式的基板贴合装置的动作的图。
[0014]图8A及图8B是表示实施方式的基板贴合装置的动作的图。
[0015]图9是表示包含实施方式的变化例的基板贴合装置的制造系统的构成的俯视图。
具体实施方式
[0016]以下，参考附图详细地对实施方式的基板贴合装置进行说明。此外，本专利技术并不由该实施方式限定。
[0017](实施方式)
[0018]对实施方式的基板贴合装置进行说明。基板贴合装置将2块基板(例如，2块晶圆)
9按照控制器60的控制，在校准执行位置对校准台50上的基准标记进行拍摄。各检测元件23-1～23-9也可包含CCD影像传感器或CMOS影像传感器等摄像机。
[0030]轨道27在XY俯视下通过基座部21的中央部在Y方向上延伸,+Y侧的端部与-Y侧的端部分别连接在上部基座211的上升部。多个检测元件22-1～22-9可以在轨道27上滑动。轨道27为与轨道24不同的构件,多个检测元件22-1～22-9可与多个检测元件23-1～23-9独立地在主面21a上移动。
[0031]轨道24在XY俯视下通过基座部22的中央部在Y方向上延伸,+Y侧的端部与-Y侧的端部分别连接在下部基座212的上升部。多个检测元件23-1～23-9可以在轨道24上滑动。轨道24为与轨道27不同的构件,多个检测元件23-1～23-9可与多个检测元件22-1～22-9独立地在主面21b上移动。
[0032]多个驱动机构25-1～25-3按照控制器60的控制,使多个检测元件22-1～22-9沿着轨道27滑动。多个驱动机构25-1～25-3与多个驱动机构26-1～26-3独立地控制多个检测元件22-1～22-9的驱动。由此,与多个检测元件23-1～23-9不同地驱动多个检测元件22-1～22-9。
[0033]驱动机构25-1按照控制器60的控制,使检测元件22-1、22-4、22-7沿着轨道27滑动。驱动机构25-2按照控制器60的控制，使检测元件22-2、22-5、22-8沿着轨道27滑动。驱动机构25-3按照控制器60的控制，使检测元件22-3、22-6、22-9沿着轨道27滑动。各驱动机构25-1～25-3例如具有线性马达。各驱动机构25-1～25-3具有设置在检测元件22-1～22-9与轨道27中的一者的可动元件及设置在另一者的固定元件。可动元件与固定元件中的一者具有永久磁铁，另一者具有电磁铁。
[0034]此外，在多个检测元件22-1～22-9的相对位置关系预先准确地对准的情况下，也可通过1个驱动机构25一起驱动多个检测元件22-1～22-9。
[0035]多个驱动机构26-1～26-3按照控制器60的控制使多个检测元件23-1～23-9沿着轨道24滑动。多个驱动机构26-1～26-3与多个驱动机构25-1～25-3独立地控制多个检测元件23-1～23-9的驱动。由此，与多个检测元件22-1～22-9不同地驱动多个检测元件23-1～23-9。
[0036]驱动机构26-1按照控制器60的控制，使检测元件23-1、23-4、23-7沿着轨道24滑动。驱动机构26-2按照控制器60的控制，使检测元件23-2、23-5、23-8沿着轨道24滑动。驱动机构26-3按照控制器60的控制，使检测元件23-3、23-6、23-9沿着轨道24滑动。各驱动机构26-1～26-3例如具有线性马达。各驱动机构26-1～26-3具有设置在检测元件23-1～23-9与轨道24中的一者的可动元件及设置在另一者的固定元件。可动元件与固定元件中的一者具有永久磁铁，另一者具有电磁铁。
[0037]此外，在多个检测元件23-1～23-9的相对位置关系预先准确地对准的情况下，也可通过1个驱动机构26一起驱动多个检测元件23-1～23-9。
[0038]引导部30以对准部20能够移行的方式构成。引导部30引导对应于吸附台11及吸附台12的位置(对准执行位置)与对应于校准台40及校准台50的位置(校准执行位置)之间的对准部20的移动。引导部30具有导轨31、导轨32、支撑臂33、驱动机构34、驱动机构35、及驱动机构36。
[0039]导轨31以将对应于吸附台11及吸附台12的位置(对准执行位置)与对应于校准台
40及校准台50的位置(校准执行位置)之间连接的方式在Y方向上延伸。导轨31具有与导轨32大致相同的Z高度。导轨31配置在吸附台11及吸附台12的-X侧，且配置在校准台40及校准台50的-X侧。
[0040]导轨32以将对准执行位置与校准执行位置之间连接的方式在Y方向上延伸。导轨32具有与导轨31大致相同的Z高度。导轨32配置在吸附台11及吸附台12的+X侧，且配置在校准台40及校准台50的+X侧。
[0041]支撑臂33在XY俯视下与导轨31及导轨32交叉配置。支撑臂33中，-X侧的端部可沿着导轨31滑动，+X侧的端部可沿着导轨32滑动。另外，支撑臂33以能够在X方向上滑动对准部20(基座部21)的方式支撑在导轨31及导轨32之间。
[0042]驱动机构34按照控制器60的控制，使基座部21沿着支撑臂33在X方向上滑动。驱动机构34例如具有线性马达。驱动机构34具有设置在基座部21与支撑臂33中的一者的可动元件及设置在另一者的固定元件本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板贴合装置，具备：第1吸附台，吸附第1基板；第2吸附台，与所述第1基板对向配置，吸附第2基板；以及对准部，可插入所述第1吸附台与所述第2吸附台之间；且所述对准部具有：基座部，具有第1主面及所述第1主面的相反侧的第2主面；第1检测元件，配置在所述第1主面；以及第2检测元件，配置在所述第2主面。2.根据权利要求1所述的基板贴合装置，其中所述对准部构成为所述第1检测元件及所述第2检测元件可相互独立地移动。3.根据权利要求2所述的基板贴合装置，还具备：控制器，将所述第1检测元件的第1光轴与所述第2检测元件的第2光轴对准，并于存在所述第1光轴及所述第2光轴的状态下，将所述对准部插入所述第1吸附台与所述第2吸附台之间。4.根据权利要求3所述的基板贴合装置，其中所述对准部在插入所述第1吸附台与所述第2吸附台之间的状态下，通过所述第1检测元件获得所述第1基板的图像，通过所述第2检测元件获得所述第2基板的图像，所述控制器根据所述获得的所述第1基板的图像及所述第2基板的图像，来修正所述第1基板与所述第2基板的位置偏移，以此方式控制所述第1吸附台及所述第2吸附台。5.根据权利要求2所述的基板贴合装置，其中所述对准部还具有：第1驱动机构，可沿着所述第1主面移动所述第1检测元件；以及第2驱动机构，可沿着所述第2主面移动所述第2检测元件；所述基板贴合装置还具有：第1校准台，相对于所述基座部配置在所述第1主面侧，且包含第1基准标记；以及第2校准台，相对于所述基座部配置在所述第2主面侧，且包含第2基准标记。6.根据权利要求5所述的基板贴合装置，其中所述对准部还具有：第1轨道，在所述第1主面侧连接在所述基座部，且可供所述第1检测元件滑动；以及第2轨道，在所述第2主面侧连接在所述基座部，且可供所述第2检测元件滑动；所述第1驱动机构使所述第1检测元件沿着所述第1轨道滑动，所述第2驱动机构使所述第2检测元件沿着所述第2轨道滑动。7.根据权利要求5所述的基板贴合装置，还具备：控制器，以如下方式控制所述第1驱动机构及所述第2驱动机构：在所述对准部位于所述第1校准台及所述第2校准台之间的校准执行位置的状态下，将所述第1检测元件的第1光轴对准所述第1基准标记，将所述第2检测元件的第2光轴对准所述第2基准标记。8.根据权利要求5所述的基板贴合装置，还具备：引导部，引导所述对准部在所述第1校准台及所述第2校准台之间的校准执行位置、与所述第1吸附台及所述第2吸附台之间的对准执行位置之间移动。
9.根据权利要求8所述的基板贴合装置，其中所述引导部在所述对准部位于所述校准执行位置时，可将所述对准部翻转。10.根据权利要求8所述的基板贴合装置，其中所述引导部具有：第1导轨，从所述校准执行位置延伸至所述对准执行位置；支撑臂，支撑所述基座部，可沿着所述第1导轨滑动；第3驱动...
【专利技术属性】
技术研发人员：川田原奨，
申请(专利权)人：铠侠股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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