光敏树脂组合物、使用光敏树脂组合物的感光性元件、蚀刻图形的制法及印刷线路板的制法制造技术

一种光敏树脂组合物，其包括：（Ａ）含有羧基的粘合剂聚合物，其中含有苯乙烯或苯乙烯衍生物作为共聚组分，（Ｂ）光聚合引发剂，以及（Ｃ）光聚合性化合物，其分子内至少有一个可聚合的不饱和烯键，并含有通式（Ⅰ）表示的化合物作为必要组分。式中，Ｒ↑［１］表示氢原子或甲基，Ａ表示烯化氧基，Ｚ↑［１］表示卤原子、烷基、环烷基、芳基、氨基、烷氨基、二烷氨基、硝基、氰基、巯基、烷巯基、烯丙基、羟烷基、羧烷基、酰基、烷氧基、或含杂环的基团，ｍ是４～２０的整数，ｎ是０～５的整数。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光敏树脂组合物、使用光敏树脂组合物的感光性元件、光致蚀刻图形的制法及印刷线路板的制造。
技术介绍
以往在印刷线路板制造领域中，由光敏树脂组合物及其支承体和保护膜制得的感光性元件广泛用作蚀刻、电镀等的光致蚀刻材料。印刷线路板的制法如下在铜基板上层合感光性元件，图形曝光后用显影液除去未曝光部分，再实施蚀刻或电镀处理，形成电路图形，然后从基板上剥离去硬化部分。用于除去未曝光部分的显影液以使用碳酸钠溶液等碱性显象型为主，只要显影液具有一定程度溶解光敏树脂组合物层的能力，就可尽量反复使用，使用时，光敏树脂组合物溶解或分散在显影液中。近年来，随着印刷线路板的高密度化，使铜基板和形成图形的光敏树脂组合物层之间的接触面积变小，这就要求感光性元件在显象、蚀刻或电镀处理工序中显示出优良的粘着性、析象清晰度、压痕可靠性、耐化学品性等。溶解或分散光敏树脂组合物的显影液中会发生凝聚物问题，当显影液用喷射泵等再次喷射时，分散在显影液中的凝聚物会粘附在显象后的印刷线路板上，这是导致在下一步的蚀刻或电镀工序中产生不合要求的缺陷的原因，为了防止所述缺陷的发生，光敏树脂组合物必须在显影液中具有良好的分散稳定性。作为提高耐化学品性的蚀刻剂，例如，含有苯乙烯系单体的共聚物的蚀刻剂揭示在特公昭55-38961号公报、特公昭54-25957号公报、特开平2-289607号公报、特开平4-347859号公报、特开平4-285960号公报等。然而，这种蚀刻剂存在着最少显影时间长，析象清晰度差的问题。为了提高耐化学品性，使用具有异氰酸酯环的光聚合性化合物的方法揭示在特开昭60-77844号公报、特开昭62-290705号公报、特开昭60-14212号公报、特开昭59-222480号公报、特开平1-14190号公报、特开昭57-55914号公报、特开平5-216224号公报、特开平5-273754号公报等。然而，这种方法存在着硬化膜硬而脆的缺点。在特开平7-128851号公报中揭示了一种含有乙烯基氨基甲酸乙酯化合物的光敏树脂组合物作为压痕可靠性良好的光敏树脂组合物。但是，近年来随着印刷线路板的线路高密度化、高精度化的要求逐年提高，使用只含有乙烯基氨基甲酸乙酯化合物的光敏树脂组合物存在着不能进一步提高析象清晰度的问题。据推测这是由于含有氨基甲酸乙酯键的异氰酸酯残基部分的显象性较差引起的。在特开平-179503号公报中揭示了一种光敏树脂组合物，这是通过使用在分子中含有乙烯氧基和丙烯氧基的嵌段化基的特定的氨基甲酸乙酯化合物作为烯性不饱和化合物，制得生物化学耗氧量和化学耗氧量低，光敏树脂组合物在显影液中的凝聚性小的光敏树脂组合物，但是，显象过度时存在粘着性、最少显象时间缩短的问题。在特开平5-232699号公报中揭示了一种含有丙烯酸酯化合物的光敏树脂组合物，由于含有亲水性极高的聚亚烷基二醇链，它可得到优良的显象性和高的析象清晰度，但是，在单独含有聚乙二醇链时，会出现光致蚀刻图形差，以及蚀刻时发生蚀刻线成锯齿状等问题，而在单独含有聚丙二醇链时，在碱性显影液中易分离，引起泡沫的发生，如果附着在基板上，会导致短路和断线。专利技术的揭示本专利技术的目的是提供一种粘着性极佳，出现泡沫性极低的光敏树脂组合物。本专利技术提供的光敏树脂组合物包括(A)含有羧基的粘合剂聚合物，其中含苯乙烯或苯乙烯衍生物作为共聚组分(B)光聚合引发剂，以及(C)光聚合性化合物，其分子内至少有一个可聚合的不饱和烯键，包含通式(I)所示的化合物作为必要成分 式中，R1表示氢原子或甲基，A表示2～6个碳原子的烯化氧基，Z1表示卤原子、1～20个碳原子的烷基、3～10个碳原子的环烷基、6～14个碳原子的芳基、氨基、1～10个碳原子的烷氨基、2～20个碳原子的二烷氨基、硝基、氰基、巯基、1～10个碳原子的烷巯基、烯丙基、1～20个碳原子的羟烷基、烷基的碳原子数为1～10个的羧烷基、烷基的碳原子数为1～10个的酰基、1～20个碳原子的烷氧基、或含杂环的基团，m是4～20的整数，n是0～5的整数。在的光敏树脂组合物中，(B)组分的光聚合引发剂以2，4，5-三芳基咪唑二聚物为宜，由此构成的光敏树脂组合物具有非常好的粘着性，感光性也极佳。在本专利技术的光敏树脂组合物中，(C)组分是一种光聚合性化合物，较适宜的是在其分子内至少有一个可聚合的不饱和烯键，并含有前述通式(I)所示化合物以及通式(II)所示化合物作为必要成分 式中，R2和R3各自独立地表示氢原子或1-6个碳原子的烷基，B1和B2各自独立地表示和前述通式(I)中A的含义相同，Z2表示1～16个碳原子的二价烃基，s和t各自独立地表示1～28的整数。由此构成的光敏树脂组合物具有极佳的粘着性。在本专利技术的光敏树脂组合物中，(A)组分是一种含有羧基的粘合剂聚合物，较适宜的是其中含有苯乙烯或苯乙烯衍生物作为共聚组分，其共聚组分的配比通常以15～35重量％的甲基丙烯酸、10～35重量％的苯乙烯或苯乙烯衍生物、及30～75重量％通式(III)表示的单体为宜。由此构成的光敏树脂组合物具有极佳粘着性。 式中，R5表示氢原子或甲基，R6表示1～12个碳原子的烷基。在本专利技术的光敏树脂组合物中，(A)组分是一种含有羧基的粘合剂聚合物，较适宜的是其中含有苯乙烯或苯乙烯衍生物作为共聚组分，其重均分子量为30,000～80,000。由此构成的光敏树脂组合物具有极佳的涂膜性和析象清晰度。在本专利技术的光敏树脂组合物中，较适宜的(A)组分、(B)组分和(C)组分的配比为以(A)组分和(C)组分的总量100重量份为基准，(A)组分是40～70重量份，(B)组分是0.1～10重量份，(C)组分是30～60重量份。由此构成的光敏树脂组合物具有极佳的粘着性和特别低的泡沫形成性。本专利技术还提供一种光敏树脂组合物，其包含(A’)粘合剂聚合物，(B)光聚合引发剂，以及(C’)光聚合性化合物，在其分子内至少有一个可聚合的不饱和烯键，并含有通式(V)所示化合物作为必要成分。 式中，R1表示氢原子或甲基，B表示烯化氧基，Z1表示卤原子、1～20个碳原子的烷基、3～10个碳原子的环烷基、6～14个碳原子的芳基、氨基、1～10个碳原子的烷氨基、2～20个碳原子的二烷氨基、硝基、氰基、巯基、1～10个碳原子的烷巯基、烯丙基、1～20个碳原子的羟烷基、烷基的碳原子数为1～10个的羧烷基、烷基的碳原子数为1～10个的酰基、1～20个碳原子的烷氧基、或含杂环的基团，m是4～20的整数，n是0～5的整数。本专利技术又提供一种光敏树脂组合物，其包含(A’)粘合剂聚合物，(B)光聚合引发剂，以及(C″)光聚合性化合物，在其分子内至少有一个可聚合的不饱和烯键，并含有通式(VI)所示化合物作为必要成分， 式中，R1表示氢原子或甲基，A表示2～6个碳原子的烯化氧基，Z4表示1～20个碳原子的烷基，m是4～20的整数，a是1～5的整数。本专利技术的另一个目的是提供一种粘着性、低泡沫形成性、以及操作性都非常好的感光性元件。即本专利技术提供一种感光性元件，它是通过把本专利技术的光敏树脂组合物涂布在支承体上，经干燥后形成光敏树脂组合物层而制得的。本专利技术感光元件的一种形态是在光敏树脂组合物层上敷贴保护膜。本专利技术的又一个目的是提供一种用粘着性、低泡沫形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光敏树脂组合物，其包含：（Ａ）含有羧基的粘合剂聚合物，其中含苯乙烯或苯乙烯衍生物作为共聚组分，（Ｂ）光聚合引发剂，以及（Ｃ）光聚合性化合物，其分子内至少有一个可聚合的不饱和烯键，包含通式（Ⅰ）所示化合物作为必要成分，＊＊ ＊ （Ⅰ）式中，Ｒ↑［１］表示氢原子或甲基，Ａ表示２－６个碳原子的烯化氧基，Ｚ↑［１］表示卤原子、１～２０个碳原子的烷基、３～１０个碳原子的环烷基、６～１４个碳原子的芳基、氨基、１－１０个碳原子的烷氨基、２～２０个碳原子的二烷氨基、硝基 、氰基、巯基、１－１０个碳原子的烷巯基、烯丙基、１～２０个碳原子的羟烷基、烷基的碳原子数为１～１０个的羧烷基、烷基的碳原子数为１～１０个的酰基、１～２０个碳原子的烷氧基、或含杂环的基团，ｍ是４～２０的整数，ｎ是０～５的整数。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：大桥武志，石川力，
申请(专利权)人：日立化成工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]