一种自适应晶托制造技术

本实用新型专利技术涉及一种自适应晶托，包括支撑球座、调节球瓦、拉紧球头、端面板、拉紧杆和拉紧气缸。支撑球座顶部具有球形槽，支撑球座具有竖直孔，竖直孔与球形槽相连通；调节球瓦呈球面形，调节球瓦外球面与球形槽面相配合，调节球瓦具有与竖直孔相连通的过孔；拉紧球头呈半球形，拉进球头的外球面与调节球瓦内球面相配合；端面板设置在调节球瓦和拉紧球头上方，且端面板与调节球瓦可拆卸连接；拉紧杆的上部依次穿过竖直孔和过孔且与拉进球头相连接，拉紧杆的底部与拉紧气缸相连接。本实用新型专利技术可以适应或者补偿不同晶棒的未知的端面垂直度，保证晶棒放上去后晶棒轴线始终是处于竖直状态，为下一步切方作业做好准备。为下一步切方作业做好准备。为下一步切方作业做好准备。

【技术实现步骤摘要】
一种自适应晶托


[0001]本申请涉及技术硅单晶棒切割、切方领域，尤其涉及一种自适应晶托。

技术介绍

[0002]硅片是单晶硅太阳能电池的重要原料，单晶硅片的生产工序包括长晶、去头尾、切断、切方、磨抛、切片等。目前，由于太阳能电池低成本的要求，单晶硅棒切方普遍采用高效、低成本和高精度的金刚线切割，并以自动化的方式进行。
[0003]硅单晶是一种半导体材料，同时具有金属和非金属的某些物理性质，通过掺入特定的微量元素，可提高其导电性能，主要应用于太阳能电池，同时也是芯片、半导体制冷等行业的重要材料。人类的生存和发展离不开能源，传统的煤、石油、天然气、核能均为不可再生资源，且对环境有较大污染，或存在一定的环境风险，难以维持人类的长期发展。水力发电、风能、太阳能等均为理想的可再生清洁能源，由于沙漠、屋顶、社区、荒地等空间的广泛存在，以及硅太阳能技术的进步和环保的需求，硅太阳能行业这几年发展非常迅猛，各大厂商都在大规模扩产，这对单晶硅材料的加工技术又提出了新的要求。太阳能光伏发电的最基本元件-太阳能电池(片)，是光伏发电系统成本重要组成部分。
[0004]硅单晶棒加工成本是太阳能硅片生产成本的重要组成部分，硅片生产厂商近年来一直致力于先进产能的大规模扩产，降低硅单晶棒的加工成本，从而降低硅片的销售价格以获得竞争优势。自动化技术是降低硅单晶棒加工成本的重要手段，将去头尾、切断、切方、晶棒磨抛等工序实现自动化，并通过自动线将各个工序联接起来，实现工序间的材料自动输送。传统的硅单晶棒切方机一次可切割多根(如：一次切割16根、25根)，其缺点是难以完全实现单机自动化，更无法实现不同工序之间的自动化联线，因而发展出可以实现单机自动化和不同工序之间自动化联线的卧式单根硅单晶棒切方机和立式单晶硅棒切方机。传统切方机的晶托为一中间开避让线槽的固定平面，无法适应晶棒端面倾斜。其他厂家卧式切方机的晶托只是从原理上草草说了晶托的作用，并未给出具体的结构及实施方式。
[0005]目前立式切方机的晶托只是从原理上草草说明了晶托的作用，并没有具体的结构及具体实施方式。其还存在如下缺点：第一，从现有资料看其不具备灵活适应晶棒端面不同方向、大小的垂直度的作用。晶棒为长圆柱状形态的晶体，首先要去头尾，其次要对长圆柱体晶棒进行切断，然后才能进入切方工序。在切断的过程中，切断面与晶棒的轴线之间存在一定的垂直度偏差，其偏差角度及方向是未知的。为了保证切方的过程中，晶棒的轴线始终是竖直状态，要求晶棒的下端面的晶托能适应或者补偿不同的端面垂直度。第二，不能保证切割线在切透晶体的瞬间，边皮与晶棒本体之间不产生相对位移及偏转角度，从而会引起崩边现象。

技术实现思路

[0006]本申请提供了一种自适应晶托，以解决传统切方机的晶托为不具备灵活适应晶棒端面不同方向、大小的垂直度的问题。
[0007]本申请采用的技术方案如下：
[0008]本技术提供了一种自适应晶托，包括支撑球座、调节球瓦、拉紧球头、端面板、拉紧杆和拉紧气缸；
[0009]所述支撑球座顶部具有球形槽，所述支撑球座具有竖直孔，所述竖直孔与所述球形槽相连通；
[0010]所述调节球瓦呈球面形，所述调节球瓦外球面与所述球形槽面相配合，所述调节球瓦具有与所述竖直孔相连通的过孔；
[0011]所述拉紧球头呈半球形，所述拉紧球头的外球面与调节球瓦内球面相配合；
[0012]所述端面板设置在调节球瓦和拉紧球头上方，且所述端面板与所述调节球瓦可拆卸连接；
[0013]所述拉紧杆的上部依次穿过所述竖直孔和所述过孔且与所述拉紧球头相连接，所述拉紧杆的底部与所述拉紧气缸相连接。
[0014]进一步地，还包括轴承座、中心轴和电磁刹车器，
[0015]所述中心轴具有通孔，所述中心轴通过所述通孔套设在所述拉紧杆上；
[0016]所述中心轴至少部分设置在所述轴承座内，
[0017]所述中心轴的上部略伸出所述轴承座，所述中心轴的上部与所述支撑球座相连接，
[0018]所述中心轴的下部略伸出所述轴承座，所述电磁刹车器套设在所述中心轴的下部。
[0019]进一步地，所述中心轴的上部形成有外螺纹部，所述竖直孔内壁形成有内螺纹，所述外螺纹部旋在所述竖直孔内；
[0020]所述中心轴的下部形成有光轴部，所述电磁刹车器套设在所述光轴部上。
[0021]进一步地，还包括轴承，所述轴承套设在所述中心轴上，且所述轴承位于所述轴承座内。
[0022]进一步地，还包括基座，所述基座上开设有凹槽，所述拉紧气缸和所述电磁刹车器均位于所述凹槽底部。
[0023]进一步地，还包括顶托机构，所述顶托机构包括自锁气缸和边皮顶杆，
[0024]所述自锁气缸具有多个，所述自锁气缸均设置在所述基座上且所述自锁气缸分布在所述轴承座的外周侧，
[0025]所述自锁气缸竖直设置，所述自锁气缸具有四组，每组所述自锁气缸至少具有三个，
[0026]每个所述自锁气缸的活塞杆均连接有所述边皮顶杆。
[0027]进一步地，每组所述自锁气缸具有三个，相邻的三个自锁气缸为一组，且形成三角形。
[0028]采用本申请的技术方案的有益效果如下：
[0029]本技术的一种自适应晶托，若硅棒底部倾斜，调节球瓦可倾斜活动以适应硅棒的倾斜度，硅棒放好后，拉紧气缸收缩，拉紧球头下移，拉紧球头稳定住调节球瓦的位置，进而保证硅棒在自适应晶托上部始终保持竖直状态；可以适应或者补偿不同晶棒的未知的端面垂直度，保证晶棒放上去后晶棒轴线始终是处于竖直状态，为下一步切方作业做好准
备。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本申请的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1为本技术实施例的一种自适应晶托的结构示意图；
[0032]图2是图1的俯视图；
[0033]图示说明：
[0034]其中，1-基座；2-自锁气缸；3-边皮顶杆；4-轴承座；5-支撑球座；6-调节球瓦；7-拉紧球头；8-拉紧杆；9-端面板；10-中心轴；11-轴承；12-电磁刹车器；13-拉紧气缸。
具体实施方式
[0035]下面将详细地对实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下实施例中描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。仅是与权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的系统和方法的示例。
[0036]参见图1，为一种自适应晶托的结构示意图。
[0037]本申请提供的一种自适应晶托，包括支撑球座5、调节球瓦6、拉紧球头7、端面板9、拉紧杆8和拉紧气缸13。
[0038]具体来说：
[0039]支撑球座5顶部具有球形槽，支撑球座5具有竖本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自适应晶托，其特征在于，包括支撑球座、调节球瓦、拉紧球头、端面板、拉紧杆和拉紧气缸；所述支撑球座顶部具有球形槽，所述支撑球座具有竖直孔，所述竖直孔与所述球形槽相连通；所述调节球瓦呈球面形，所述调节球瓦外球面与所述球形槽面相配合，所述调节球瓦具有与所述竖直孔相连通的过孔；所述拉紧球头呈半球形，所述拉紧球头的外球面与调节球瓦内球面相配合；所述端面板设置在调节球瓦和拉紧球头上方，且所述端面板与所述调节球瓦可拆卸连接；所述拉紧杆的上部依次穿过所述竖直孔和所述过孔且与所述拉紧球头相连接，所述拉紧杆的底部与所述拉紧气缸相连接。2.根据权利要求1所述的自适应晶托，其特征在于，还包括轴承座、中心轴和电磁刹车器，所述中心轴具有通孔，所述中心轴通过所述通孔套设在所述拉紧杆上；所述中心轴至少部分设置在所述轴承座内，所述中心轴的上部略伸出所述轴承座，所述中心轴的上部与所述支撑球座相连接，所述中心轴的下部略伸出所述轴承座，所述电磁刹车器套设在所述中心轴的下部。3.根据权利要求2...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐永亮，张红臣，吴智洪，廖德元，汪海波，
申请(专利权)人：浙江昀丰新材料科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：