线切割装置及硅棒加工设备制造方法及图纸

技术编号:27471951 阅读:18 留言:0更新日期:2021-03-02 17:37
本申请公开一种的线切割装置及硅棒加工设备;线切割装置的线切割单元中包括至少一移位机构用于驱动所述至少一过渡轮沿第二方向移动,以使所述至少一过渡轮中经切割缠绕的当前导线槽在第二方向上从对应于所述切割轮的第一线槽移动至对应于所述切割轮的第二线槽;线切割装置在可藉由所述至少一移位机构在换槽过程中无需调整切割线绕于导线槽的槽位,换槽后可省去对过渡轮的调整、校准等操作;同时,所述过渡轮可采用单槽过渡轮即可实现换槽,在实际场景中,还可将过渡轮设置为可更换式的消耗性过渡轮,当过渡轮的导线槽磨损后直接更换过渡轮即可,使得对切割造成的设备磨损的设备维护过程化简。维护过程化简。维护过程化简。

【技术实现步骤摘要】
线切割装置及硅棒加工设备


[0001]本申请涉及硅棒加工
,尤其涉及一种线切割装置及硅棒加工设备。

技术介绍

[0002]光伏发电领域中,通常的晶体硅太阳能电池是在高质量硅片上制成的,这种硅片由太阳能硅材料通过线锯切割而成。目前,以金刚线为代表的线切割技术由于具有生产效率高、作业成本低、作业精度高等特点,被广泛应用于硅材料切割生产中,所述硅材料可例如为单晶硅材料或多晶硅材料,所述硅材料切割作业则包括但不限于截断作业、开方作业、切片作业等。
[0003]以线切割技术应用于单晶硅棒的开方作业为例,先将待切割硅棒竖直放置并予以定位,再利用线切割装置从待切割硅棒的顶部进入且沿硅棒长度方向向下进给直至待切割硅棒的底部后穿出,从而在硅棒周向上切割出四个两两平行的轴切面,其中,常用的线切割装置包括单线切割装置和多线切割装置。
[0004]在相关的线切割装置中,多个切割轮多是要么分别设置在转轴上后通过安装支架固定要么是其中的数个切割轮设置在同一主轴上后通过安装支架固定,一般地,一旦安装到位,各个切割轮的位置及相互关系就不会轻易变动,因此,当其中一个切割轮的线槽磨损后,需整体更换线槽,并且更换线槽需调整切割轮或其他部件(例如过渡轮等)的位置并还需再做校准,整个过程十分繁琐且效率低下。
[0005]为此,业界相继提供了能实现切割轮更换线槽的设计,例如,在安装切割轮时提供了调整垫片(如中国专利文献CN205588494U和CN205522032U)其中,所述调整垫片的厚度与相邻两个线槽的间距相等,如此,通过增加或减少调整垫片来实现更换线槽,例如,增加或减少一个调整垫片,则可实现由当前线槽更换为相邻的下一个线槽。不过,在该种结构中,仍需要例如松开螺丝、加上或者拿走调整垫片、重新拧紧螺丝、最后校准等步骤,仍存在操作繁琐及效率不高等问题。

技术实现思路

[0006]鉴于以上所述相关技术的缺点,本申请的目的在于提供一种线切割装置及硅棒加工设备,以解决现有技术中存在线切割装置磨损后换槽过程繁琐、效率不高的问题。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的,本申请公开了一种硅棒加工设备的线切割装置,所述硅棒加工设备包括机座,具有硅棒加工平台;硅棒承载装置,设于所述硅棒加工平台上,用于承载待切割硅棒;所述线切割装置包括:切割架,设于所述机座;至少一线切割单元,活动设于所述切割架;所述线切割单元包括:沿第一方向依序设置的多个切割轮,每一个切割轮上具有至少两个切割线槽;至少一过渡轮,每一个所述过渡轮具有导线槽;切割线,顺次绕于所述多个切割轮和过渡轮以形成至少一切割线锯;至少一移位机构,用于驱动所述至少一过渡轮沿第二方向移动,以使所述至少一过渡轮中经切割缠绕的当前导线槽在第二方向上从对应于所述切割轮的第一线槽移动至对应于所述切割轮的第二线槽。
[0008]本申请在第二方面还公开了一种硅棒加工设备,包括:机座,具有硅棒加工平台;硅棒承载装置,设于所述硅棒加工平台上,用于承载待切割硅棒;如本申请第一方面任一实施方式所述的线切割装置。
[0009]综上所述,本申请的线切割装置及硅棒加工设备,具有如下有益效果:
[0010]本申请提供的硅棒加工设备的线切割装置,其线切割单元中包括至少一移位机构用于驱动所述至少一过渡轮沿第二方向移动,以使所述至少一过渡轮中经切割缠绕的当前导线槽在第二方向上从对应于所述切割轮的第一线槽移动至对应于所述切割轮的第二线槽;线切割装置在可藉由所述至少一移位机构在换槽过程中无需调整切割线绕于导线槽的槽位,换槽后可省去对过渡轮的调整、校准等操作;同时,所述过渡轮可采用单槽过渡轮即可实现换槽,在实际场景中,还可将过渡轮设置为可更换式的消耗性过渡轮,当过渡轮的导线槽磨损后直接更换过渡轮即可,使得对切割造成的设备磨损的设备维护过程化简。
附图说明
[0011]本申请所涉及的技术的具体特征如所附权利要求书所显示。通过参考下文中详细描述的示例性实施方式和附图能够更好地理解本申请所涉及技术的特点和优势。对附图简要说明如下:
[0012]图1显示为本申请的硅棒装卸装置在一实施例中的结构示意图。
[0013]图2a显示为硅棒装卸装置在一实施例中夹持待切割硅棒状态下的部分结构示意图。
[0014]图2b显示为硅棒装卸装置在一实施例中夹持待切割硅棒状态下的部分结构仰视图。
[0015]图3a显示为硅棒装卸装置在一实施例中夹持已切割硅棒状态下的部分结构示意图。
[0016]图3b显示为硅棒装卸装置在一实施例中夹持已切割硅棒状态下的部分结构仰视图。
[0017]图4显示为本申请的硅棒装卸装置在一实施例中的一硅棒夹持件的结构示意图。
[0018]图5显示为本申请的硅棒装卸装置在一实施例中的结构示意图。
[0019]图6显示为本申请的硅棒装卸装置在一实施例中的升降驱动机构的结构示意图。
[0020]图7a-7b显示为硅棒装卸装置在一实施例中的升降驱动机构在不同状态的结构示意图。图8a-8d显示为本申请的硅棒装卸装置在一实施例中处于不同转运状态的示意图。
[0021]图9显示为本申请的硅棒加工设备的硅棒运动装置在一实施例中的结构示意图。
[0022]图10显示为本申请的硅棒加工设备的弹性推杆结构在一实施例中结构示意图。
[0023]图11显示为本申请的硅棒加工设备的硅棒运送装置在一实施例中的部分结构示意图。
[0024]图12显示为本申请的硅棒加工设备的硅棒运送装置在一实施例中的结构示意图。
[0025]图13显示为本申请的硅棒压紧装置在一实施例中的结构示意图。
[0026]图14a显示为本申请的硅棒压紧装置在一实施例中的结构示意图。
[0027]图14b-14c显示为图14a中B在不同锁紧状态下的放大示意图。
[0028]图15显示为图13中A处放大示意图。
[0029]图16显示为本申请的线切割装置在一实施例中的结构示意图。
[0030]图17实现为本申请的线切割装置在一实施例中应用于硅棒开方设备中的结构示意图。
[0031]图18显示为本申请的线切割装置在一实施例中应用于硅棒开方设备中的结构示意图。
[0032]图19显示为本申请的线切割装置中线切割单元在一实施例中的结构示意图。
[0033]图20显示为线切割装置在一实施例中的中间切割轮和其旁侧的过渡轮的结构示意图。
[0034]图21显示为本申请的为硅棒截断设备的硅棒加工设备在一实施例中的部分结构示意图。图22显示为硅棒切磨一体机的硅棒加工设备在一实施例中的部分结构示意图。
[0035]图23显示为本申请的线切割装置在一实施例中的结构示意图。
[0036]图24显示本申请的线切割装置在一实施例中的过渡轮及支架的结构示意图。
[0037]图25显示为图23中C处的放大示意图。
[0038]图26显示为图17中D处的放大示意图。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒加工设备的线切割装置,其特征在于,所述硅棒加工设备包括机座,具有硅棒加工平台;硅棒承载装置,设于所述硅棒加工平台上,用于承载待切割硅棒;所述线切割装置包括:切割架,设于所述机座;至少一线切割单元,活动设于所述切割架;所述线切割单元包括:沿第一方向依序设置的多个切割轮,每一个切割轮上具有至少两个切割线槽;至少一过渡轮,每一个所述过渡轮具有导线槽;切割线,顺次绕于所述多个切割轮和过渡轮以形成至少一切割线锯;至少一移位机构,用于驱动所述至少一过渡轮沿第二方向移动,以使所述至少一过渡轮中经切割缠绕的当前导线槽在第二方向上从对应于所述切割轮的第一线槽移动至对应于所述切割轮的第二线槽。2.根据权利要求1所述的硅棒加工设备的线切割装置,其特征在于,所述过渡轮为单导线槽过渡轮。3.根据权利要求1所述的硅棒加工设备的线切割装置,其特征在于,属于同一线切割单元中的多个切割轮以两两配对的方式形成至少两个切割轮组,在相邻两个切割轮组中相邻两个切割轮之间还设有过渡轮,所述过渡轮具有至少两个导线槽,所述切割线顺次绕于所述切割轮和过渡轮上以在每一个切割轮组中的两个切割轮之间形成一个切割线锯,其中,所述切割线在绕于所述相邻两个切割轮组中相邻两个切割轮时由前一个切割轮组中在后的一个切割轮的切割线槽穿出并经由所述过渡轮的导线槽之后穿进后一个切割轮组中在前的一个切割轮的切割线槽。4.根据权利要求1所述的硅棒加工设备的线切割装置,其特征在于,属于同一线切割单元中的多个切割轮包括首切割轮、尾切割轮、以及位于所述首切割轮和尾切割轮之间的至少一中间切割轮,在所述至少一中间切割轮的旁侧还设有过渡轮,所述过渡轮具有至少两个导线槽,所述切割线顺次缠绕于所述切割轮和过渡轮以在任意相邻的两个切割轮上形成一个切割线锯,其中,所述切割线在缠绕于所述中间切割轮时,由所述中间切割轮上至少两个切割线槽中的一切割线槽穿出并经由旁侧的所述过渡轮之后由所述中间切割轮上至少两个切割线槽中的另一切割线槽穿进,从而使得任意相邻两个切割线锯之间在第二方向上具有一切割偏移量,所述切割偏移量对应于相关的两个切割线槽之间的间距。5.根据权利要求1所述的硅棒加工设备的线切割装置,其特征在于,每一个所述过渡轮设于支架上,所述支架通过所述至少一移位机构带着所述过渡轮沿第二方向移动。6.根据权利要求5所述的硅棒加工设备的线切割装置,其特征在于,所述至少一过渡轮配置有相互独立的移位机构上,每一过渡轮由对应的一移位机构驱动沿第二方向移动;或,所述至少一过渡轮的支架通过连接梁连接在一起,所述连接梁通过所述至少一移位机构带着所述至少一过渡轮沿第二方向移动。7.根据权利要求6所述的硅棒加工设备的线切割装置,其特征在于,所述移位机构包括:移位导轨,沿第二方向设置;动力源,用于驱动所述至少一过渡轮沿移位导轨移动。8.根据权利要求7所述的硅棒加工设备的线切割装置,其特征在于,所述动力源为气缸
组件,包括:气缸或液压泵;伸缩杆,连接至所述过渡轮的支架或所述连接梁。9.根据权利要求7所述的硅棒加工设备的线切割装置,其特征在于,所述动力源包括:丝杆,连接至所述过渡轮的支架或所述连接梁;驱动源。10.根据权利要求1所述的硅棒加工设备的线切割装置,其特征在于,还包括:至少一调距机构,设于所述至少一线切割单元上,用于驱动所述至...

【专利技术属性】
技术研发人员:苏静洪朱勤超张王锋潘雪明曹奇峰钱春军卢建伟
申请(专利权)人:天通日进精密技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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