【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工设备，具体涉及一种晶锭截断机。
技术介绍
1、线切割技术是目前硅材料加工技术之一，它的原理是由高速运行的钢线带动附着在钢线上的切割刃料或者直接采用金刚线对待加工工件进行摩擦，从而达到线切割的目的。在切割过程中，钢线或金刚线通过导线轮引导，在切割辊上形成一根切割线锯或者一张线网，而待加工工件通过工作台的上升下降或切割线锯或线网的上升下降实现工件的进给，在压力泵的作用下，装配在设备上的冷却水自动喷洒装置将冷水喷洒至钢线或金刚线和加工件的切削部位，由钢线或金刚线往复运行产生切削，以将待加工材料一次同时切割为多块。
2、例如cn206748777u中公开的双层线切割设备，包括工件承载系统和线切割系统，线切割系统包括切割架结构及设于切割架结构上的上层切割网和下层切割网，此类切割设备切割线布置复杂且固定，切割效率存在不足，且难以应对不同规格的特别是柱状的晶锭的切割。
技术实现思路
1、本专利技术是为了避免现有技术存在的不足之处，提供了一种高效率且适用规格范围大的晶锭截断机。
2、本专利技术解决技术问题采用如下技术方案：一种晶锭截断机，包括：
3、机身；
4、设置在机身内的至少一个放置平台，所述放置平台用以放置晶锭，所述放置平台可带动晶锭进行前后的直线位移以及转动；
5、设置在机身上的水路组件，所述水路组件用以喷出水体；
6、设置在机身内的至少一个切割机构，所述切割机构包括切割绳体、驱动轮组、张力调整
7、在数个实施方式中，所述切割升降机构还包括防水罩壳、安装座、安装板以及拖链，所述直线模组设置在防水罩壳内，所述安装座设置在直线模组上并由直线模组驱动进行直线运动，所述导向轮设置在安装座上，所述安装板与机身相连接且贴近防水罩壳，所述拖链设置在安装座与安装板之间。
8、在数个实施方式中，所述放置平台包括第一丝杆传动机构、旋转座以及放置座，所述旋转座设置在第一丝杆传动机构上，所述放置座设置在旋转座上，所述放置座用以设置晶锭，所述放置座可随第一丝杆传动机构进行直线位移以及随旋转座进行转动。
9、在数个实施方式中，所述卷绕组件包括卷筒、卷筒驱动电机、底座以及第二丝杆传动机构，所述底座设置在第二丝杆传动机构上并用以支撑卷筒驱动电机，所述卷筒驱动电机用以驱动卷筒转动。
10、在数个实施方式中，所述张力调整组件包括张力驱动电机、摆臂、看线轮组、第一张紧轮以及多个第二张紧轮，所述张力驱动电机通过摆臂与第一张紧轮相连接，多个所述第二张紧轮设置在第一张紧轮一侧，所述看线轮组设置在第二张紧轮下方并用以检测切割绳体的前后位移，所述第二丝杆传动机构通过看线轮组检测到的位移信息控制卷筒进行相应的前后位移。
11、在数个实施方式中，所述切割组件具有两个，所述切割组件并列设置且共用一个设置在两者之间的驱动轮组，所述切割绳体从一个卷绕组件开始依次经过张力调整组件、切割升降机构、驱动轮组之后依次进入另一个切割升降机构、张力调整组件以及卷绕组件。
12、在数个实施方式中，所述水路组件包括主管路、连接管路、两个第一支管路以及两个第二支管路，所述连接管路与主管路相连接，所述第一支管路、第二支管路均与连接管路相连接，两个所述第一支管路分别延伸至两个放置平台的上方，两个所述第二支管路分别延伸至两个放置平台的后方，所述第二支管路的底部具有喷水口。
13、在数个实施方式中，所述第一支管路的两个出水口均与软水管相连接，所述软水管与喷水头相连接，所述喷水头设置在安装板上且朝向放置平台。
14、在数个实施方式中，所述安装板上设置有喷气头，所述喷气头朝向放置平台。
15、在数个实施方式中，所述机身包括框架以及设置在框架上的多个围板以及推拉门。
16、本专利技术的有益效果在于：
17、本专利技术通过双工位单金刚线的切割结构，可实现双工位的晶锭的切割加工，提高切割效率。
18、本专利技术通过切割升降机构，实现金刚线上下摆动式的切割加工，提高对晶锭的切割效果。
19、本专利技术通过张力调整组件的结构，可实现对金刚线位置的自动调整，提高切割效率以及切割精度。
20、本专利技术通过水路组件，实现切割加工时的冷却以及加工工位的清洁。
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1.一种晶锭截断机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶锭截断机，其特征在于，所述切割升降机构还包括防水罩壳、安装座、安装板以及拖链，所述直线模组设置在防水罩壳内，所述安装座设置在直线模组上并由直线模组驱动进行直线运动，所述导向轮设置在安装座上，所述安装板与机身相连接且贴近防水罩壳，所述拖链设置在安装座与安装板之间。
3.根据权利要求2所述的一种晶锭截断机，其特征在于，所述放置平台包括第一丝杆传动机构、旋转座以及放置座，所述旋转座设置在第一丝杆传动机构上，所述放置座设置在旋转座上，所述放置座用以设置晶锭，所述放置座可随第一丝杆传动机构进行直线位移以及随旋转座进行转动。
4.根据权利要求3所述的一种晶锭截断机，其特征在于，所述卷绕组件包括卷筒、卷筒驱动电机、底座以及第二丝杆传动机构，所述底座设置在第二丝杆传动机构上并用以支撑卷筒驱动电机，所述卷筒驱动电机用以驱动卷筒转动。
5.根据权利要求4所述的一种晶锭截断机，其特征在于，所述张力调整组件包括张力驱动电机、摆臂、看线轮组、第一张紧轮以及多个第二张紧轮，所述张力驱动电机通
6.根据权利要求5所述的一种晶锭截断机，其特征在于，所述切割组件具有两个，所述切割组件并列设置且共用一个设置在两者之间的驱动轮组，所述切割绳体从一个卷绕组件开始依次经过张力调整组件、切割升降机构、驱动轮组之后依次进入另一个切割升降机构、张力调整组件以及卷绕组件。
7.根据权利要求6所述的一种晶锭截断机，其特征在于，所述水路组件包括主管路、连接管路、两个第一支管路以及两个第二支管路，所述连接管路与主管路相连接，所述第一支管路、第二支管路均与连接管路相连接，两个所述第一支管路分别延伸至两个放置平台的上方，两个所述第二支管路分别延伸至两个放置平台的后方，所述第二支管路的底部具有喷水口。
8.根据权利要求7所述的一种晶锭截断机，其特征在于，所述第一支管路的两个出水口均与软水管相连接，所述软水管与喷水头相连接，所述喷水头设置在安装板上且朝向放置平台。
9.根据权利要求8所述的一种晶锭截断机，其特征在于，所述安装板上设置有喷气头，所述喷气头朝向放置平台。
10.根据权利要求1所述的一种晶锭截断机，其特征在于，所述机身包括框架以及设置在框架上的多个围板以及推拉门。
...【技术特征摘要】
1.一种晶锭截断机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶锭截断机，其特征在于，所述切割升降机构还包括防水罩壳、安装座、安装板以及拖链，所述直线模组设置在防水罩壳内，所述安装座设置在直线模组上并由直线模组驱动进行直线运动，所述导向轮设置在安装座上，所述安装板与机身相连接且贴近防水罩壳，所述拖链设置在安装座与安装板之间。
3.根据权利要求2所述的一种晶锭截断机，其特征在于，所述放置平台包括第一丝杆传动机构、旋转座以及放置座，所述旋转座设置在第一丝杆传动机构上，所述放置座设置在旋转座上，所述放置座用以设置晶锭，所述放置座可随第一丝杆传动机构进行直线位移以及随旋转座进行转动。
4.根据权利要求3所述的一种晶锭截断机，其特征在于，所述卷绕组件包括卷筒、卷筒驱动电机、底座以及第二丝杆传动机构，所述底座设置在第二丝杆传动机构上并用以支撑卷筒驱动电机，所述卷筒驱动电机用以驱动卷筒转动。
5.根据权利要求4所述的一种晶锭截断机，其特征在于，所述张力调整组件包括张力驱动电机、摆臂、看线轮组、第一张紧轮以及多个第二张紧轮，所述张力驱动电机通过摆臂与第一张紧轮相连接，多个所述第二张紧轮设置在第一张紧轮一侧，所述看线轮组设置在第二张紧轮下方并用以检测切割绳体的...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴张琪，裴忠，韩鸣明，范雨烨，周丽佳，徐海刚，
申请(专利权)人：天通日进精密技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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