显影液盛滚筒湿润及清理装置制造方法及图纸

一种显影液盛滚筒湿润及清理装置，包含：显影室；液盛滚筒，其用以驱动基板进入显影室；显影槽，储存显影液；至少一个喷嘴，位于显影室的底部，其用以将显影槽的显影液喷洒至液盛滚筒；以及压力控制器，其用以控制喷嘴喷洒的流量及压力，以此使液盛滚筒通过喷嘴喷洒的显影液而保持湿润，不会因停滞过久产生结晶物。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种显影液盛滚筒湿润及清理装置，位于一显影室的底部，并且通过一液盛滚筒驱动一基板进入该显影室，该显影液盛滚筒湿润及清理装置包含：　　　　至少一个喷嘴，其用以将显影液喷洒至该液盛滚筒，以避免在该液盛滚筒上残留结晶物；以及　　　　一压力控制器，其用以控制该喷嘴的流量及压力。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈维绮，颜骏翔，涂锦识，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]