一种光刻机投影物镜安装调平装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光刻机投影物镜安装调平装置，用于调平带有安装法兰的投影物镜。它包括安装基板，三个柔性块，安装件和固定件。柔性块前端通过固定件与投影物镜的安装法兰连接，柔性块底座通过安装件安装在安装基板；柔性块前端中部开有第一狭长槽，柔性块后端与第一狭长槽相向方向开有第二狭长槽，柔性块后端装有一调节杆。该调平装置采用三个等圆周均布的柔性块，调节柔性块的调节杆实现柔性块前端的翘起和压下以调节投影物镜水平度，并利用两狭长槽形成的弹性支点避免外界的振动和冲击给投影物镜带来的损害。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻机的安装调平装置领域，尤其涉及可用于调平光刻机投影 物镜的使用柔性块的调平装置。
技术介绍
对大规模集成电路的制造工艺过程来说，投影光刻是最为关键的工艺，需 要用到投影光刻机，而投影物镜就是投影光刻机的核心，其性能直接决定了光 刻的图形传递能力。为保证投影物镜拥有良好的图形传递能力，那么相应对投 影物镜就会有很高的安装精度要求。对投影物镜的安装要求包括对投影物镜顶 平面的调平精度要求。通常对投影物镜顶平面的调平采用机械安装工艺的方法。此方法可以采用 修磨垫片的方法来实现调平。先通过高分辨力的水平测量仪测出被测量基准面 的水平度，随后把测量出的水平度与期望值进行比较，确定安装基准面下相应 的各个垫片的修磨量，经过修磨后使水平度达到期望值。采用这种方式可达到 比较高的水平度要求，但是整个调平过程也比较繁瑣。为实现这些高精密部件 的安装，机械上也常采用螺紋双向调节的方式，同样先是通过高分辨力的水平 测量仪测出被测量基准面的水平度，随后装配人员根据测出值与期望值之间的 偏移量来调节相应的螺紋结构，以达到期望的水平度要求。这种方式虽然不需 像修磨垫片方法那样重复加工-安装-加工-安装的调平过程，可以实时在线地调 出所要求的水平度要求，但是需要提供具有螺紋调节装置的安装底板，结构设 计上相对比较复杂。上述的两种投影物镜的安装方法，不能为投影物镜提供抗 外界振动或冲击的作用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光刻机投影物镜安装调平装置，可克服修磨垫 片的调平装置存在的繁瑣的调平过程的问题和螺紋双向调节的调平装置存在的镜面腐蚀雕刻凹版工艺 技术领域本专利技术涉及一种印刷凹版的制造工艺，尤其涉及一种镜面腐蚀雕刻凹 版工艺。
技术介绍
现有的印刷雕刻凹版制造方法通常有传统手工雕刻、塑料焊拼凹版 制作工艺该工艺耗时达数月之久，要求有高素质的雕刻师，成本高昂。 醇洗版雕刻凹版制作工艺该工艺设备与材料依靠进口，并且还要制作中 间过桥版，再通过电铸制作上机版。相比本工艺，它们的缺点是工艺流 程复杂，工艺周期长，成本高。应用领域本专利技术涉及一种雕刻凹印的制版工艺中，尤其涉及一种f竟面腐t虫雕亥U 凹版工艺。
技术实现思路
本专利技术的目的是一种印刷凹版的制造工艺，它通过在版材表面进行丝 印感光油墨，再使用腐蚀液腐蚀制造出凹纹，这种工艺在保证凹版质量的 前提下可大大縮短雕刻凹版的制造周期并降低制造成本。本专利技术是这样来实现的，其工艺流程为挑选版材后进行表面抛光； 在版材表面丝印感光油墨；通过晒版后再进行显影及烤版；检修后进行腐 蚀，产生凹纹；再进行脱胶处理脱去版面所有药膜和漆片；然后进行凹版 镀铬；最后对版材进行检修及裁切；根据图纹的结构层次，可分次套晒腐 蚀；根据图纹线条的粗细，进行底部加网处理；晒版及底部加网程序均需 进行设计与出片。丝印感光油墨过程中先利用丝印机将感光油墨满版印刷在版材表面， 再将涂有感光油墨的版材进行烘烤。晒版即是按照印刷机型要求，确定版 面规距、咬口位置，软片的药膜面与版的墨层相贴合，晒版抽气，利用紫 外线灯进行晒版。显影是利用弱碱性水溶液作为显影剂，并配合羊毛刷轻 轻擦拭，直至未见光部位完全裸露出铜层；用清水冲洗显好的印版，将版 面的残胶洗去，擦净版面水份并吹干；再经老化处理，增强感光胶与版基 的结合力，同时提高感光胶的抗腐蚀能力。检修是在腐蚀前检査测量版面 规格、镜检版纹还原性、有图文有无发闷及多次套晒的吻合情况。检査版 面图纹缺损情况，有无断线、少线、多线，用虫胶或稀释后的感光油墨进请参阅附图说明图1,本专利技术的光刻机投影物镜安装调平装置，用于调平带有安装法兰的投影物镜2。该调平装置包括安装基板1，柔性块3、固定件和安装件。柔 性块3前端通过固定件与投影物镜2的安装法兰刚性联接，柔性块3底座通过 安装件安装在安装基板1上。柔性块3详细的结构图请参阅图2。柔性块3前端 中部轴向开有第一狭长槽21，柔性块3后端与第一狭长槽31相向方向开有第二 狭长槽32。柔性块3还包括自柔性块后端面延伸出的两个凸出的受力块33和 34，还有一个可控制柔性块3前端翘起和压下的调节杆。柔性块3的调节杆安 装在两个受力块33和34上。固定件为若干投影物镜固定螺钉4，安装件为若干 柔性块安装螺4丁5。柔性块3上调节杆由一双头螺柱6， 一对前端翘起调节螺母 7， 一对前端压下调节螺母8组成。 一对翘起调节螺母7安装在双头螺柱6的两 端，位于两个调节受力块33和34的外側， 一对前端压下调节螺母8安装在一 对前端翘起螺母7之间，位于两个受力块33和34的内侧。如上所述柔性块3 和投影物镜2以及安装基板1之间的连接均属于刚性连接，如果柔性块前端发 生变形，不仅会使投影物镜2安装法兰Rx、 Ry发生变动，同时也会改变投影物 镜2投影中心的X、 Y位置。在柔性块3前端上表面纵向开一凹槽9，凹槽9的 横截面为半圆形，这样可形成一弹性支点来解决柔性块3与安装基板1和投影 物镜2的安装法兰之间刚性连接带来过约束的弊端。为实现简单的调平结构， 采用机械设计中最基本的三点调平结构。请参阅图1，这样该调平装置包括三个 柔性块2，三个柔性块2等圆周均布地固定在^R影物4竟2的安装法兰和安装基板 l上。在对投影物镜2顶平面进行调平时，通过高分辨力的水平测量仪测出投影 物镜2测量基准面的水平度并与期望的水平度值进行比对后，旋动双头螺柱6 两端的前端翘起调节螺母7,使得对受力块23和24产生压缩其间距的作用力， 从而柔性块3前端翘起。由柔性块3前端的翘起使得投影物镜2产生相应的Z 方向上正位移；旋动双头螺柱6上的前端压下调节螺母8，使得对受力块23和 24产生增大其间距的作用力，从而使柔性块3前端压下。由柔性块3前端的压 下使得投影物镜2产生相应的Z方向上的负位移。为精确控制由受力块23和24 的受力引起的柔性块3前端的位移可通过调节柔性块3的四个参数值Lp L2、 D，、 D2来进行优化，请参阅图3。通过调节调平装置的三个柔性块3的调节杆使得投影物镜2的顶平面平面度达到期望值要求。柔性块3前端开有第一狭长 槽21，柔性块3后端与第一狭长槽31相向方向开有第二狭长槽32，狭长槽31 和32既可作为受力块33和34受力时的弹性支点，同时可作为减振结构避免外 界的振动和冲击干扰给投影物镜带来的损害。权利要求1、一种光刻机投影物镜安装调平装置，用于调平带有安装法兰的投影物镜，其特征在于，所述调平装置包括安装基板，若干柔性块，安装件和固定件，所述柔性块前端通过固定件与所述投影物镜的安装法兰连接，所述柔性块底座通过安装件安装在所述安装基板上；所述柔性块前端开有第一狭长槽，所述柔性块后端与第一狭长槽相向方向开有第二狭长槽；所述柔性块还包括自所述柔性块后端面延伸出的两个凸出的受力块和一个可控制所述柔性块前端翘起和压下的调节杆，所述调节杆安装在所述两个受力块上。2、 如权利要求1所述的光刻机投影物镜安装调平装置，其特征在于，它包括三 个柔性块，所述三个柔性块等圆周均布地固定在所述投影物镜的安装法兰和所 述安装基板上。3、 如权利要求1所述的光刻机投影物镜安装调平装置，其特征在于，所述柔性 块前端上表面纵向开有一凹槽。4、 如权利要求3所述的光刻机投影物镜安装调平装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光刻机投影物镜安装调平装置，用于调平带有安装法兰的投影物镜，其特征在于，所述调平装置包括安装基板，若干柔性块，安装件和固定件，所述柔性块前端通过固定件与所述投影物镜的安装法兰连接，所述柔性块底座通过安装件安装在所述安装基板上；所述柔性块前端开有第一狭长槽，所述柔性块后端与第一狭长槽相向方向开有第二狭长槽；所述柔性块还包括自所述柔性块后端面延伸出的两个凸出的受力块和一个可控制所述柔性块前端翘起和压下的调节杆，所述调节杆安装在所述两个受力块上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：唐海明，朱岳彬，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]