一种批量化硅片运送装置制造方法及图纸

技术编号:27412468 阅读:24 留言:0更新日期:2021-02-21 14:28
本实用新型专利技术涉及硅片生产领域的一种批量化硅片运送装置,包括下框架,下框架通过若干组立柱进行支撑,下框架上设置有下部工作台面,下框架上配合设置有上框架,上框架上安装有上部工作台面;下框架和上框架的侧面配合设置有纵向运送装置,纵向运送装置直接安装在下框架的下部工作台面上;下部工作台面上设置有下部运送组件,上部工作台面上设置有上部运送组件;下部运送组件和上部运送组件通过纵向运送装置连通;下框架的四周还配合设置有护板;本实用新型专利技术自动化程度高,在实际运用的过程中能够节约使用的空间,提高工作效率,降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种批量化硅片运送装置


[0001]本技术涉及硅片生产领域,具体而言涉及一种硅片运送装置。

技术介绍

[0002]传统的硅片生产流程是将周转箱中的硅片取出并放入片夹,它主要依赖人工完成,即通过人工将周转箱搬运至操作桌,再通过人工依次取出单位规格的硅片放入片夹中;首先,装有硅片的周转箱很重,操作人员在搬运周转箱时很容易受伤,且容易造成周转箱被摔,进而导致硅片受损;其次,因不熟悉硅片特性或疲劳等人为因素,操作人员在直接抓取硅片时,容易造成对硅片的损伤,人工操作效率低,这样工作方式产生的硅片成品良莠不齐,废片率高,需要耗费大量的时间和成本。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种批量化硅片运送装置,本技术自动化程度高,在实际运用的过程中能够节约使用的空间,提高工作效率,降低成本。
[0004]一种批量化硅片运送装置,包括下框架,下框架通过若干组立柱进行支撑,下框架上设置有下部工作台面,下框架上配合设置有上框架,上框架上安装有上部工作台面;
[0005]所述下框架和上框架的侧面配合设置有纵向运送装置,纵向运送装置直接安装在下框架的下部工作台面上;
[0006]所述下部工作台面上设置有下部运送组件,所述上部工作台面上设置有上部运送组件;
[0007]所述下部运送组件和上部运送组件通过纵向运送装置连通;
[0008]所述下框架的四周还配合设置有护板。
[0009]进一步的实施例中,为了保证放置台面能够正常稳定的进行上下滑动;所述纵向输送装置包括纵向轨道,配合纵向轨道设置有驱动气缸组件,设置在纵向轨道和驱动气缸组件之间的放置台面,安装在放置台面上的运送组件以及放置在运送组件上的硅片放置装置;所述驱动气缸组件驱动放置台面在纵向轨道上进行上下移动。
[0010]进一步的实施例中,为了保证硅片放置部能够稳定的放置硅片,而且便于输送出去;所述硅片放置装置包括盒体,斜向设置在盒体内的硅片放置部,相邻的硅片放置部之间间隔一段距离设置,每个硅片放置部中部位置均设置有用于固定硅片的硅片固定块;所述硅片放置部呈30
°-
70
°
设置。
[0011]进一步的实施例中,为了保证运送组件能够快速的运送硅片;所述运送组件包括前侧转轮、后侧转轮,设置在前侧转轮和后侧转轮之间的输送带,输送带的外侧还配合设置有斜向凸起;所述斜向凸起角度呈30
°-
70
°
设置。
[0012]进一步的实施例中,为了避免硅片在运送过程中损坏;所述斜向凸起采用橡胶材料制成。
[0013]进一步的实施例中,为了保证硅片能够稳定的被固定住;所述硅片固定块分别设
置在硅片放置部的两侧位置,所述硅片固定块通过前后伸缩对硅片进行固定。
[0014]进一步的实施例中,为了保证输送带能够将硅片一片一片的快速输送出去;所述硅片放置部的底部对应输送带的斜向凸起设置。
[0015]本技术在实际工作时,上部运送组件将放满有硅片的盒体进行输送并运送到放置台面上,放置台面下降并使得运送组件与下部运送组件平齐;然后运送组件的前侧转轮和后侧转轮开始工作并带动输送带进行转动并逐渐使得斜向凸起慢慢靠近最外面的第一片硅片,然后硅片固定块松开,第一片硅片下降到输送带上再被斜向凸起朝前刮开并逐渐平放在输送带上,再通过下部运送组件被运输出去;接下来下一个斜向凸起也慢慢靠近第二片硅片,用于固定第二片硅片的固定块松开,第二片硅片下降到输送带上再被第二个斜向凸起朝前刮开并逐渐平放在输送带上,再通过下部运送组件被运输出去,接下来的过程依次进行运输,全部运送完毕后,再升起放置台面将盒体运输出去,新的放满有硅片的盒体通过上部运送组件再运送到放置台面上再继续工作。
[0016]本技术的有益效果为,该装置自动化程度高,在实际运用的过程中能够节约使用的空间,提高工作效率,降低成本。
附图说明
[0017]为了便于本领域技术人员理解,下面结合附图对本技术作进一步的说明:
[0018]图1为本技术的主视图。
[0019]图2为运送组件及硅片放置部截面图。
[0020]其中,1下框架、2下部工作台面、3下部运送组件、4上框架、5上部运送组件、6上部工作台面、7护板、8驱动气缸组件、9纵向轨道、10硅片放置装置、11运送组件、12盒体、13硅片放置部、14硅片固定块、15前侧转轮、16后侧转轮、17输送带、18斜向凸起。
具体实施方式
[0021]如图1-2所示,本技术包括下框架1,下框架1通过若干组立柱进行支撑,下框架1上设置有下部工作台面2,下框架1上配合设置有上框架4,上框架4上安装有上部工作台面6;所述下框架1和上框架4的侧面配合设置有纵向运送装置,纵向运送装置直接安装在下框架1的下部工作台面2上;所述下部工作台面2上设置有下部运送组件3,所述上部工作台面6上设置有上部运送组件5;所述下部运送组件3和上部运送组件5通过纵向运送装置连通;所述下框架1的四周还配合设置有护板7;所述纵向输送装置包括纵向轨道9,配合纵向轨道9设置有驱动气缸组件8,设置在纵向轨道9和驱动气缸组件8之间的放置台面,安装在放置台面上的运送组件11以及放置在运送组件11上的硅片放置装置10;所述驱动气缸组件8驱动放置台面在纵向轨道9上进行上下移动;所述硅片放置装置10包括盒体12,斜向设置在盒体12内的硅片放置部13,相邻的硅片放置部13之间间隔一段距离设置,每个硅片放置部13中部位置均设置有用于固定硅片的硅片固定块14;所述硅片放置部13呈30
°-
70
°
设置;所述运送组件11包括前侧转轮15、后侧转轮16,设置在前侧转轮15和后侧转轮16之间的输送带17,输送带17的外侧还配合设置有斜向凸起18;所述斜向凸起18角度呈30
°-
70
°
设置;所述斜向凸起18采用橡胶材料制成;所述硅片固定块14分别设置在硅片放置部13的两侧位置,所述硅片固定块14通过前后伸缩对硅片进行固定;所述硅片放置部13的底部对应输送
带17的斜向凸起18设置。
[0022]本技术在实际工作时,上部运送组件5将放满有硅片的盒体12进行输送并运送到放置台面上,放置台面下降并使得运送组件11与下部运送组件3平齐;然后运送组件11的前侧转轮15和后侧转轮16开始工作并带动输送带17进行转动并逐渐使得斜向凸起18慢慢靠近最外面的第一片硅片,然后硅片固定块14松开,第一片硅片下降到输送带17上再被斜向凸起18朝前刮开并逐渐平放在输送带17上,再通过下部运送组件3被运输出去;接下来下一个斜向凸起18也慢慢靠近第二片硅片,用于固定第二片硅片的固定块松开,第二片硅片下降到输送带17上再被第二个斜向凸起18朝前刮开并逐渐平放在输送带17上,再通过下部运送组件3被运输出去,接下来的过程依次进行运输,全部运送完毕后,再升起放置台面将盒体12运输出去,新的放满有硅本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种批量化硅片运送装置,其特征在于,包括下框架,下框架通过若干组立柱进行支撑,下框架上设置有下部工作台面,下框架上配合设置有上框架,上框架上安装有上部工作台面;所述下框架和上框架的侧面配合设置有纵向运送装置,纵向运送装置直接安装在下框架的下部工作台面上;所述下部工作台面上设置有下部运送组件,所述上部工作台面上设置有上部运送组件;所述下部运送组件和上部运送组件通过纵向运送装置连通;所述下框架的四周还配合设置有护板。2.根据权利要求1所述的一种批量化硅片运送装置,其特征在于:所述纵向运送装置包括纵向轨道,配合纵向轨道设置有驱动气缸组件,设置在纵向轨道和驱动气缸组件之间的放置台面,安装在放置台面上的运送组件以及放置在运送组件上的硅片放置装置;所述驱动气缸组件驱动放置台面在纵向轨道上进行上下移动。3.根据权利要求2所述的一种批量化硅片运送装置,其特征在于:所述硅片放置装置包括盒体,斜向设置在盒体内的硅片放置...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐爱阳
申请(专利权)人:扬州荣兴达光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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