一种硅片快速批量化烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅片生产领域的一种硅片快速批量化烘干装置，包括安装在地面上的支架，支架与地面之间设置有缓冲减震组件，支架上配合设置有输送组件，输送组件配合设置有进口和出口；输送组件的中部位置安装有烘干箱体组件，输送组件贯穿烘干箱体组件设置；烘干箱体组件的底部配合安装有抽吸设备，烘干箱体组件内交错设置有烘干管路，烘干管路直接对着输送组件设置；烘干箱体组件上开设有若干门体；本实用新型专利技术结构简单，能够实现对硅片进行快速批量化的烘干的起到较好的杂志过滤抽吸作用，提高生产的工作效率，也降低成本，减少了工作强度，避免二次返工。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片快速批量化烘干装置
本技术涉及硅片生产领域，具体而言涉及一种烘干装置。
技术介绍
在硅片生产工艺过程中，需要对切好的硅片进行洗净烘干，由于硅片外表面具有杂质和水分，现有烘干设备在对硅片进行烘干时，无法使硅片上的杂质去除，影响后续硅片的生产质量，同时硅片烘干效率低，增加了生产成本。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅片快速批量化烘干装置，本技术结构简单，能够实现对硅片进行快速批量化的烘干的起到较好的杂志过滤抽吸作用，提高生产的工作效率，也降低成本，减少了工作强度，避免二次返工。一种硅片快速批量化烘干装置，包括安装在地面上的支架，支架与地面之间设置有缓冲减震组件，所述支架上配合设置有输送组件，所述输送组件配合设置有进口和出口；输送组件的中部位置安装有烘干箱体组件，所述输送组件贯穿烘干箱体组件设置；所述烘干箱体组件的底部配合安装有抽吸设备，所述烘干箱体组件内交错设置有烘干管路，烘干管路直接对着输送组件设置；所述烘干箱体组件上开设有若干门体。进一步的实施例中，为了保证烘干箱体组件保温本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片快速批量化烘干装置，包括安装在地面上的支架，支架与地面之间设置有缓冲减震组件，其特征在于，所述支架上配合设置有输送组件，所述输送组件配合设置有进口和出口；/n输送组件的中部位置安装有烘干箱体组件，所述输送组件贯穿烘干箱体组件设置；/n所述烘干箱体组件的底部配合安装有抽吸设备，所述烘干箱体组件内交错设置有烘干管路，烘干管路直接对着输送组件设置；/n所述烘干箱体组件上开设有若干门体。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片快速批量化烘干装置，包括安装在地面上的支架，支架与地面之间设置有缓冲减震组件，其特征在于，所述支架上配合设置有输送组件，所述输送组件配合设置有进口和出口；
输送组件的中部位置安装有烘干箱体组件，所述输送组件贯穿烘干箱体组件设置；
所述烘干箱体组件的底部配合安装有抽吸设备，所述烘干箱体组件内交错设置有烘干管路，烘干管路直接对着输送组件设置；
所述烘干箱体组件上开设有若干门体。


2.根据权利要求1所述的一种硅片快速批量化烘干装置，其特征在于：所述烘干箱体组件设置有双层并包括内层和外层，烘干箱体组件的内层和外层之间设有间隙；内层为保温层，外层为隔热层。


3.根据权利要求1所述的一种硅片快速批量化烘干装置，其特征在于：所述输送组件包括输送辊筒，输送辊筒设置有两层，相邻的输送辊筒之间设有间隙，相邻的输送辊筒通过链条带动。


4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐爱阳，
申请(专利权)人：扬州荣兴达光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32