一种硅片缺陷检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅片生产领域的一种硅片缺陷检测装置，包括固定在地面上的底座，底座上配合设置有主框架，主框架的四周配合设置有挡板；主框架包括上层工作部和下层工作部，下层工作部密封设置；上层工作部分别配合设置有进口和出口，上层工作部的进口和出口处设置有输送装置；上层工作部的内部配合设置有检测机构，检测机构对应输送装置的中心位置设置；输送装置位于进口处配合设置有限位装置；输送装置的中心位置处还配合设置有定位装置；输送装置还配合设置有用于固定硅片的托盘组件；本实用新型专利技术结构简单，紧凑，在对硅片进行检测之前可以实现对硅片位置的固定及限位，提高标注化，对操作人员的要求较低同时还能够提高检测的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片缺陷检测装置
本技术涉及硅片生产领域，具体而言涉及一种缺陷检测装置。
技术介绍
随着半导体特征尺寸的不断减小，半导体行业对于小型硅片的表面缺陷要求越来越高；半导体行业不仅对硅片正面的缺陷要求越来越高，而且对硅片背面缺陷和边缘缺陷的要求也越来越苛刻。这些缺陷例如包括污点、刮痕以及硅片边缘的缺口等，这些缺陷通常由人为通过检测装置发现；而且现有技术中还没有一些专用的设备对硅片表面的缺陷进行检测，及时检测都需要人工的干预或者对人工的要求比较高，不利于长期的使用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅片缺陷检测装置，本技术结构简单，紧凑，在对硅片进行检测之前可以实现对硅片位置的固定及限位，提高标注化，对操作人员的要求较低同时还能够提高检测的准确性。一种硅片缺陷检测装置，包括固定在地面上的底座，底座上配合设置有主框架，主框架的四周配合设置有挡板；所述主框架包括上层工作部和下层工作部，下层工作部密封设置；上层工作部分别配合设置有进口和出口，所述上层工作部的进口和出口处设置有输送装置；r>所述上层工作部的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片缺陷检测装置，包括固定在地面上的底座，底座上配合设置有主框架，主框架的四周配合设置有挡板；/n其特征在于，所述主框架包括上层工作部和下层工作部，下层工作部密封设置；/n上层工作部分别配合设置有进口和出口，所述上层工作部的进口和出口处设置有输送装置；/n所述上层工作部的内部配合设置有检测机构，所述检测机构对应输送装置的中心位置设置；/n所述输送装置位于进口处配合设置有限位装置；/n所述输送装置的中心位置处还配合设置有定位装置；/n所述输送装置还配合设置有用于固定硅片的托盘组件。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片缺陷检测装置，包括固定在地面上的底座，底座上配合设置有主框架，主框架的四周配合设置有挡板；
其特征在于，所述主框架包括上层工作部和下层工作部，下层工作部密封设置；
上层工作部分别配合设置有进口和出口，所述上层工作部的进口和出口处设置有输送装置；
所述上层工作部的内部配合设置有检测机构，所述检测机构对应输送装置的中心位置设置；
所述输送装置位于进口处配合设置有限位装置；
所述输送装置的中心位置处还配合设置有定位装置；
所述输送装置还配合设置有用于固定硅片的托盘组件。


2.根据权利要求1所述的一种硅片缺陷检测装置，其特征在于：所述输送装置为皮带输送机构，输送装置自上侧工作部的进口处一直延伸到上侧工作部的出口处。


3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐爱阳，
申请(专利权)人：扬州荣兴达光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32