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本实用新型涉及硅片生产领域的一种硅片缺陷检测装置，包括固定在地面上的底座，底座上配合设置有主框架，主框架的四周配合设置有挡板；主框架包括上层工作部和下层工作部，下层工作部密封设置；上层工作部分别配合设置有进口和出口，上层工作部的进口和出口处...
该专利属于扬州荣兴达光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州荣兴达光电科技有限公司授权不得商用。

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