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本实用新型涉及硅片生产领域的一种硅片快速批量化烘干装置，包括安装在地面上的支架，支架与地面之间设置有缓冲减震组件，支架上配合设置有输送组件，输送组件配合设置有进口和出口；输送组件的中部位置安装有烘干箱体组件，输送组件贯穿烘干箱体组件设置；烘...
该专利属于扬州荣兴达光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州荣兴达光电科技有限公司授权不得商用。

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