靶材背板及其制作方法技术

技术编号:27281804 阅读:32 留言:0更新日期:2021-02-06 11:49
本发明专利技术公开了一种靶材背板,包括:背板主体,正面设置有靶材,背面设置有流道,流道具有进液口和出液口,流道可供冷却液流动;盖板,设置于背板主体的背面并遮盖流道;密封圈,设置于盖板与所述流道之间,用于密封所述流道。使用时,可将靶材设置于背板主体的正面,使冷却液可从位于背板主体背面的流道进液口流入,从出液口流出,冷却液可将位于背板主体正面的靶材的热量带走,从而降低靶材在溅射镀膜过程中的温度,进而可提升镀膜质量。此外,设置于盖板与流道之间的密封圈可对流道起到密封作用。本发明专利技术还公开了一种靶材背板的制作方法,可以使最终得到的靶材背板尺寸更为精确,且可有效减小靶材背板长期使用后的变形量。小靶材背板长期使用后的变形量。小靶材背板长期使用后的变形量。

【技术实现步骤摘要】
靶材背板及其制作方法


[0001]本专利技术涉及溅射镀膜领域,特别涉及一种靶材背板及其制作方法。

技术介绍

[0002]靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料,最主要使用在微电子,显示器,存储器以及光学镀膜等产业上。
[0003]溅射镀膜是利用离子源产生的离子轰击在靶材表面,使靶原子离开靶被溅射出来,随后沉积在基体表面的过程。溅射镀膜具有以下显著的优点:膜层的结合力强,膜厚稳定性较好,而且膜层厚度不会变化,膜厚的稳定性可归结为膜厚良好的可控性和重复性。
[0004]目前,在进行靶材溅射镀膜时,高速度流的离子束流轰击靶材表面,会使靶材产生大量的热量,从而使靶材温度升高,会影响镀膜质量。

技术实现思路

[0005]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本专利技术提出一种靶材背板及其制作方法,能够降低靶材在溅射镀膜过程中的温度,提升镀膜质量。
[0006]根据本专利技术第一方面实施例的一种靶材背板,包括:背板主体,正面设置有靶材,背面设置有流道,所述流道具有进液口和出液口,所述流道可供冷却液本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.靶材背板,其特征在于,包括:背板主体(100),正面设置有靶材,背面设置有流道(110),所述流道(110)具有进液口(111)和出液口(112),所述流道(110)可供冷却液流动;盖板(200),设置于所述背板主体(100)的背面并遮盖所述流道(110);密封圈,设置于所述盖板(200)与所述流道(110)之间,用于密封所述流道(110)。2.根据权利要求1所述的靶材背板,其特征在于,所述流道(110)呈U型,所述进液口(111)和所述出液口(112)位于所述背板主体(100)的同一端。3.如权利要求1或2所述的靶材背板的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1、准备相应尺寸的背板主体(100),在所述背板主体(100)的背面加工出流道(110);步骤2、加工盖板(200),使所述盖板(200)可遮盖所述流道(110);步骤3、将密封圈设置于所述盖板(200)与所述流道(110)之间,对所述背板主体(100)及所述盖板(200)进行焊接,使所述背板主体(100)及所述盖板(200)组合为靶材背板半成品;步骤4、对以上组合后的所述靶材背板半成品进行调平;步骤5、对所述流道(110)进行测漏试验,以得到靶材背板。4.根据权利要求3所述的靶材背板的制作方法,其特征在于,在所述步骤1中,所述背板主体(100)上正面和背面的厚度均留有余量;在所述步骤...

【专利技术属性】
技术研发人员:周磊窦沛静张竞中
申请(专利权)人:珠海和泽科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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