一种SiAlCr靶材及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种SiAlCr靶材及其制备方法，所述SiAlCr靶材包括30％

【技术实现步骤摘要】
一种SiAlCr靶材及其制备方法


[0001]本专利技术涉及靶材及制备领域，具体是一种SiAlCr靶材及其制备方法。

技术介绍

[0002]SiAlCr靶材是不锈钢装饰镀膜中普遍使用的一种新兴靶材，在不锈钢上镀SiAlCr系膜层可代替瓷砖；而通过喷涂的办法制备SiAlCr靶材在镀膜过程中溅射稳定，膜层品质高等优点。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题就是克服以上的技术缺陷，提供一种SiAlCr靶材及其制备方法。
[0004]为了解决上述问题，本专利技术的技术方案为：一种SiAlCr靶材，所述SiAlCr靶材包括30％-90％的Cr和0-5％的铝，所述SiAlCr靶材的相对密度为85-98％，所述SiAlCr靶材的氧含量≤15000ppm，所述SiAlCr靶材的氮含量≤1000ppm。
[0005]一种SiAlCr靶材的制备方法，包括以下步骤：
[0006](1)将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；
[0007](2)使用等离子喷涂的方法，将SiAlCr合金或混合粉末喷涂在基体表面；
[0008](3)对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。
[0009]作为改进，所述步骤(1)中的基体为合金管或不锈钢管。
[0010]作为改进，所述步骤(2)中对靶材进行喷涂时使用惰性气体做气氛保护，所述惰性气氛为氮气或氩气。
[0011]本专利技术与现有的技术相比的优点在于：本专利技术中通过靶材在制备过程中使用了气体保护的方法制备，保护气体为氮气或氩气：由于使用了气氛保护进行喷涂，氧含量低，电阻率低，从而在镀膜的过程中溅射速率快，热喷涂方法对SiAlCr靶材进行制备，提高制备效率，并且减少制备成本。
具体实施方式
[0012]以下通过具体实施例进一步描述本专利技术，但本专利技术不仅仅限于以下实施例。在本专利技术的范围内或者在不脱离本专利技术的内容、精神和范围内，对本专利技术进行的变更、组合或替换，对于本领域的技术人员来说是显而易见的，且包含在本专利技术的范围之内。
[0013]实施例一
[0014]本实施例提供了一种旋转SiAlCr靶材，所述旋转SiAlCr靶材的铬含量为40％，铝含量为 5％的密度为2.99g/cm3(相对密度94.6％)，氧含量为10500ppm，氮含量为600ppm。
[0015]本实施例还提供一种旋转SiAlCr靶材的制备方法，所述制备方法步骤如下：
[0016](1)将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；
[0017](2)使用热喷涂设备将SiAlCr粉末喷涂在基体表面；
[0018](3)对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。
[0019]所述步骤(2)中对靶材进行喷涂时使用氮气对靶材进行保护，所述步骤(1)中基体为不锈钢管。
[0020]实施例二
[0021]本实施例提供了一种旋转SiAlCr靶材，所述旋转SiAlCr靶材的铬含量为80％，铝含量为 1％的密度为4.6g/cm3(相对密度91.3％)，氧含量为5800ppm，氮含量为300ppm。
[0022]本实施例还提供一种旋转SiAlCr靶材的制备方法，所述制备方法步骤如下；
[0023](1)将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；
[0024](2)使用热喷涂设备将SiAlCr粉末喷涂在基体表面；
[0025](3)对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。
[0026]所述步骤(2)中对靶材进行喷涂时使用氮气对靶材进行保护，所述步骤(1)中基体为不锈钢管。
[0027]以上所述仅为本专利技术专利的较佳实施例而已，并不用以限制本专利技术专利，凡在本专利技术专利的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本专利技术专利的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种SiAlCr靶材，其特征在于：所述SiAlCr靶材包括30％-90％的Cr和0-5％的铝，所述SiAlCr靶材的相对密度为85-98％，所述SiAlCr靶材的氧含量≤15000ppm，所述SiAlCr靶材的氮含量≤1000ppm。2.一种SiAlCr靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；(2)使用等离子喷涂的方法，将...

【专利技术属性】
技术研发人员：胥小勇，颜建师，涂培堤，杨文宏，杨娟娟，
申请(专利权)人：福建瓦能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：