溅射装置制造方法及图纸

本公开的一形态的溅射装置具有：处理容器，其收容基板；狭缝板，其在所述处理容器内的所述基板的上方与所述基板的表面平行地配置，并具有在板厚方向上贯通的开口部；以及受热用板，其在相对于所述狭缝板倾斜设置的靶材的下方载置于所述狭缝板之上，由耐热性比所述狭缝板的耐热性高的材料形成。板的耐热性高的材料形成。板的耐热性高的材料形成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】溅射装置


[0001]本公开涉及一种溅射装置。

技术介绍

[0002]已知一种溅射装置，其使溅射粒子从相对于基板的表面倾斜配置的靶材向基板发射，使溅射粒子穿过设于靶材与基板之间的狭缝板的开口部，而在基板形成膜(例如，参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2015-67856号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]本公开提供一种能够抑制狭缝板的热变形的技术。
[0008]用于解决问题的方案
[0009]本公开的一技术方案的溅射装置具有：处理容器，其收容基板；狭缝板，其在所述处理容器内的所述基板的上方与所述基板的表面平行地配置，并具有在板厚方向上贯通的开口部；以及受热用板，其在相对于所述狭缝板倾斜设置的靶材的下方载置于所述狭缝板之上，由耐热性比所述狭缝板的耐热性高的材料形成。
[0010]专利技术的效果
[0011]采用本公开，能够抑制狭缝板的热变形。
附图说明
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种溅射装置，其中，该溅射装置具有：处理容器，其收容基板；狭缝板，其在所述处理容器内的所述基板的上方与所述基板的表面平行地配置，并具有在板厚方向上贯通的开口部；以及受热用板，其在相对于所述狭缝板倾斜设置的靶材的下方载置于所述狭缝板之上，由耐热性比所述狭缝板的耐热性高的材料形成。2.根据权利要求1所述的溅射装置，其中，所述受热用板配置于包括所述靶材投影于所述狭缝板而得到的投影图像整体的区域。3.根据权利要求1所述的溅射装置，其中，所述受热用板具有凸部，该凸部用于在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：武井纯一，渡边直树，曽根浩，铃木直行，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：