温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种靶材背板，包括：背板主体，正面设置有靶材，背面设置有流道，流道具有进液口和出液口，流道可供冷却液流动；盖板，设置于背板主体的背面并遮盖流道；密封圈，设置于盖板与所述流道之间，用于密封所述流道。使用时，可将靶材设置于背板主体的...
该专利属于珠海和泽科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海和泽科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。