本发明属于半导体设备技术领域，且公开了一种半导体设备大面积高精密导热板，包括电子元器件，电子元器件的上方设置有安装板，安装板的上方一侧安装有散热风扇，安装板的上方另一侧由下往上依次等距设置有多个散热组件，多个散热组件均包括两个主导热板，...

公开了一种静电吸盘表面陶瓷材料的制备方法及其系统。其首先将多个预定时间点的热红外图像分别通过包含第一图像编码器和第二图像编码器的双分支结构以得到多个多尺度粒度分布温度特征图，接着，将所述多个多尺度粒度分布温度特征图进行特征图展开以得到多...

本实用新型公开了一种用于固定金属掩膜板的CNC夹具，用于固定金属掩膜板的CNC夹具包括底板、两块以上的真空板和抽空组件。底板的上半部分开设有空腔，底板内部设置有气体通道，气体通道的一端与底板上的空腔连通，气体通道的另一端则与底板的侧端面...

本实用新型公开了一种导杆清洁装置，包括第一清理机构，第一清理机构包括：第一进气部、第二进气部、固定部和毛刷；第一进气部设置有第一进气通道和第一出气孔，第一进气通道与第一出气孔连通；第二进气部设置有第二进气通道和第二出气孔，第二进气通道与...

本实用新型公开了一种金属掩膜板，包括中部镂空的掩膜板体，所述掩膜板体的上表面设置有若干凸部。真空镀膜机为基体镀膜前，先将掩膜板体设置在真空镀膜机上靠近待镀基体的区域，从而将该区域遮住并使得基体放置于掩膜板体镂空的中部；真空镀膜机为产品镀...

本实用新型公开了一种防变形风刀结构，包括：固定座；风刀组件，由塑胶材料制成并设置于所述固定座上，所述风刀组件设置有出风缝隙，所述出风缝隙沿所述风刀组件的长度方向延伸，所述出风缝隙与气源相连通；支撑板，沿所述风刀组件的长度方向固定于所述风...

本实用新型公开了一种真空波纹管，包括波纹管管体、第一连接部和第二连接部，其中，第一连接部设置有第一圆形通孔，第一连接部的第一面的边沿设置有第一环状凸缘，第一环状凸缘与第一圆形通孔同心，波纹管管体的一端与第一环状凸缘的内壁相焊接；第二连接...

本实用新型公开了一种靶材背板，包括：背板主体，正面设置有靶材，背面设置有流道，所述流道具有进液口和出液口，所述流道可供冷却液流动；盖板，设置于所述背板主体的背面并遮盖所述流道；密封圈，设置于所述盖板与所述流道之间，用于密封所述流道。使用...

本实用新型公开了一种玻璃基板吸取装置，包括：基架，包括多个相互连接的支撑杆；多个吸盘，分布于多个支撑杆上，吸盘与负压源相连接，多个吸盘的吸附面均处于同一平面，吸盘用于吸取玻璃基板；多个顶针，分布于多个支撑杆上，多个顶针的端部均与多个吸盘...

本实用新型公开了一种磁板，包括：磁铁板，沿磁铁板的宽度方向依次包括左侧区域、中部区域及右侧区域，左侧区域和右侧区域的宽度均占中部区域的1/6至1/8；多组磁钢组件，每组磁钢组件由多个沿磁铁板长度方向排列的磁钢组成，多个磁钢的长度方向均与...

本发明公开了一种液晶面板托盘及其制作方法，液晶面板托盘的制作方法包括以下步骤：加工板材得到多个切割件和多个弯折件；对切割件和弯折件进行平面度校正；将弯折件和切割件焊接在一起得到焊接件；对焊接件进行平面度校正；组装焊接件、弯折件和切割件得...

本发明公开了一种靶材背板，包括：背板主体，正面设置有靶材，背面设置有流道，流道具有进液口和出液口，流道可供冷却液流动；盖板，设置于背板主体的背面并遮盖流道；密封圈，设置于盖板与所述流道之间，用于密封所述流道。使用时，可将靶材设置于背板主...

本实用新型公开了一种快速干燥箱，包括箱体，箱体内设置有多块向上倾斜的放置板，放置板并列地连接在箱体的左侧壁和右侧壁上，左侧壁的放置板与右侧壁的放置板相互错开且间隔以形成通风道；箱体内设置有风扇，风扇位于箱体的左侧壁和右侧壁的内部；箱体的...

本实用新型公开了一种气缸联动夹紧结构，包括基板和气缸，基板上设置有多个夹紧部件，夹紧部件包括固定轴、绕固定轴旋转的旋转件、套在固定轴上的弹簧和夹板；弹簧至少一个末端插入至基板中，弹簧设有引动部，夹板位于旋转件和引动部之间；多个夹紧部件通...

本实用新型公开了一种多用圆腔体加工夹具，包括至少三个绕中心均匀地圆周分布的夹持组件，夹持组件包括气缸推杆、安装在气缸推杆上的连接杆和安装在连接杆上的夹持杆；连接杆内设有旋转电机，旋转电机的输出轴与夹持杆连接并驱动夹持杆绕连接杆旋转；夹持...

本实用新型公开了一种新型圆腔体加工夹具，包括至少三个绕中心均匀地圆周分布的夹持组件，夹持组件包括气缸推杆、安装在气缸推杆上的夹持杆和铰接在夹持杆的前端的夹持头；夹持头的一端为真空吸盘，另一端为三角块；真空吸盘通过气管与真空发生器连接。通...

本实用新型公开了一种用于电路板生产的干燥箱，包括箱体和与箱体铰接的箱门；箱体的内壁设置有通风管，通风管的上侧设置有吸气扇，通风管的下侧设置有排气扇，通风管的左右两侧均设置有发热体；通风管的两侧和下侧内壁连接有U型的干燥管，干燥管的内壁两...

本实用新型公开了一种涡轮发动机，包括外壳、涡轮转子、燃烧器和轴承座；涡轮转子包括涡轮轴、涡轮盘和多片叶片，叶片的叶尖外缘处开设有至少两个开口由小到大的豁口，叶片的内部通气空腔；燃烧器包括外筒部件、内筒部件、室顶和锥盘，外筒部件、内筒部件...

本实用新型公开了一种镀膜夹装载具，包括镀膜板，镀膜板上设有多条平行的安装板，每两条安装板之间滑动连接有多个夹装组件；夹装组件包括底板和与底板滑动连接的两个夹爪，夹爪的顶部设有凸出的爪勾，两个夹爪的爪勾相向；夹爪包括底部和与底部铰接的爪柄...

本实用新型公开了一种高效减排镀膜机，包括外壳，外壳的内壁设有靶材；外壳内设置有旋转台，旋转台包括底台和多个工件转架，底台设置有多个第一电机，每个工件转架通过旋转轴与第一电机对应连接，底台下设有用于驱动底台旋转的第二电机；外壳设有进气口和...