一种高效减排镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高效减排镀膜机，包括外壳，外壳的内壁设有靶材；外壳内设置有旋转台，旋转台包括底台和多个工件转架，底台设置有多个第一电机，每个工件转架通过旋转轴与第一电机对应连接，底台下设有用于驱动底台旋转的第二电机；外壳设有进气口和出气口，进气口连接有气泵，气泵连接储气罐，出气口连接有压缩泵，压缩泵通过连接管与储气罐连接，连接管设有排气阀。通过转动使工件的镀膜效果更佳，自转的工件转架使装炉量更大，镀膜效率更高；通过压缩泵将外壳内的惰性气体泵回储气罐循环利用，节约成本。

【技术实现步骤摘要】
一种高效减排镀膜机
本技术涉及镀膜设备，特别是一种高效减排镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类在较高真空度下对工件进行镀膜的设备。在真空条件下，通入惰性气体，惰性气体在高电压电场作用下电离为离子，离子轰击靶材，从而将靶材材料溅射到工件表面，形成薄膜。但由于目前的真空镀膜机的工件转架的不合理设置，导致真空镀膜机的装炉量少，生产效率低；同时惰性气体在使用后会被直接排放到大气中，造成浪费，提高了生产成本。
技术实现思路
本技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种高效减排镀膜机。本技术解决其问题所采用的技术方案是：一种高效减排镀膜机，包括外壳，所述外壳的内壁设有靶材；所述外壳内设置有旋转台，所述旋转台包括底台和绕所述底台的侧边设置的多个工件转架，所述底台设置有多个第一电机，每个所述工件转架通过旋转轴与所述第一电机对应连接，所述底台下设有用于驱动所述底台旋转的第二电机；所述外壳设有进气口和出气口，所述进气口连接有气泵，所述气泵连接储气罐，所述出气口连接有压缩泵，所述压缩泵通过连接管与所述储气罐连接，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效减排镀膜机，其特征在于，包括外壳，所述外壳的内壁设有靶材；所述外壳内设置有旋转台，所述旋转台包括底台和绕所述底台的侧边设置的多个工件转架，所述底台设置有多个第一电机，每个所述工件转架通过旋转轴与所述第一电机对应连接，所述底台下设有用于驱动所述底台旋转的第二电机；所述外壳设有进气口和出气口，所述进气口连接有气泵，所述气泵连接储气罐，所述出气口连接有压缩泵，所述压缩泵通过连接管与所述储气罐连接，所述连接管设有排气阀。/n

【技术特征摘要】
1.一种高效减排镀膜机，其特征在于，包括外壳，所述外壳的内壁设有靶材；所述外壳内设置有旋转台，所述旋转台包括底台和绕所述底台的侧边设置的多个工件转架，所述底台设置有多个第一电机，每个所述工件转架通过旋转轴与所述第一电机对应连接，所述底台下设有用于驱动所述底台旋转的第二电机；所述外壳设有进气口和出气口，所述进气口连接有气泵，所述气泵连接储气罐，所述出气口连接有压缩泵，所述压缩泵通过连接管与所述储气罐连接，所述连接管设有排气阀。


2.根据权利要求1所述的一种高效减排镀膜机，其特征在于，所述连接管外螺旋地绕有冷却水管。
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【专利技术属性】
技术研发人员：周磊，詹全委，
申请(专利权)人：珠海和泽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44