一种新型真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型真空镀膜机，包括镀膜釜体，镀膜釜体内设有旋转的旋转台，旋转台包括底台和旋转的多个工件转架；镀膜釜体包括第一半釜体、第二半釜体和移动组件，移动组件包括中空筒、第一导向杆、第二导向杆和设有齿轮的螺旋杆；螺旋杆在第一电机的驱动下带动与其齿啮合的第一导向杆和第二导向杆相向或相背移动，使第一半釜体和第二半釜体闭合和分离，第一半釜体的边沿设有与第一电机连接的压力传感器；通过公转的旋转台和旋转台上自转的工件转架，提高了装炉量以及生产效率；另外通过移动组件提升了大型镀膜釜体分离和闭合的便利性。

【技术实现步骤摘要】
一种新型真空镀膜机
本技术涉及镀膜设备，特别是一种新型真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类在较高真空度下对工件进行镀膜的设备。在真空条件下，通入惰性气体，惰性气体在高电压电场作用下电离为离子，离子轰击靶材，从而将靶材材料溅射到工件表面，形成薄膜。但目前真空镀膜机的装炉量小，导致生产效率低；但一旦将釜体的体积增大以提高装炉量，过大的釜体不便于打开和闭合，不利于形成真空的镀膜室腔。
技术实现思路
本技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种新型真空镀膜机，具有装炉量大和大釜体易于闭分的特点。本技术解决其问题所采用的技术方案是：一种新型真空镀膜机，包括镀膜釜体，所述镀膜釜体的内壁设有靶材；所述镀膜釜体内设置有绕自身中心轴旋转的旋转台，所述旋转台包括底台和绕自身中心轴旋转的多个工件转架，多个所述工件转架绕所述底台的侧边设置；所述镀膜釜体包括第一半釜体、第二半釜体和移动组件，所述移动组件包括中空筒、第一导向杆、第二导向杆和螺旋杆；所述第一导向杆的一端与所述第一半釜体连接，另一端从所述中空筒的一侧插入；所述第二导向杆的一端与所述第二半釜体连接，另一端从所述中空筒的相对所述第一导向杆插入侧的另一侧插入；所述螺旋杆的一端设有齿轮，另一端连接有第一电机；所述齿轮分别与所述第一导向杆以及所述第二导向杆啮合；所述第一半釜体的边沿面向所述第二半釜体的位置设有与所述第一电机连接的压力传感器。上述新型真空镀膜机至少具有以下有益效果：通过公转的旋转台和旋转台上自转的工件转架，使装载在工件转架上各处的工件均可旋转至与靶材相对的位置，从而使工件转架上的所有工件均可被均匀上膜，提高了装炉量以及生产效率；另外通过移动组件提升了大型镀膜釜体分离和闭合的便利性。进一步，所述第一导向杆位于所述螺旋杆的下方，所述第一导向杆的上侧设有齿；所述第二导向杆位于所述螺旋杆的上方，所述第二导向杆的下侧设有齿。进一步，所述旋转台的下方连接有用于驱动所述旋转台旋转的第二电机。进一步，所述工件转架的下方连接有用于驱动所述工件转架旋转的第三电机，所述第三电机位于所述旋转台内。进一步，所述镀膜釜体设有进气口，所述进气口连接有气泵，所述气泵连接装有惰性气体的储气罐。具体地，所述第一电机为双向电机。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明下面结合附图和实例对本技术作进一步说明。图1是本技术实施例一种新型真空镀膜机的结构图；图2是本技术实施例一种新型真空镀膜机中的移动组件的结构图。具体实施方式本部分将详细描述本技术的具体实施例，本技术之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本技术的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本技术保护范围的限制。在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。参照图1和图2，本技术的实施例提供了一种新型真空镀膜机，包括镀膜釜体100，镀膜釜体100的内壁设有靶材130；镀膜釜体100内设置有绕自身中心轴旋转的旋转台200，旋转台200包括底台210和绕自身中心轴旋转的多个工件转架220，多个工件转架220绕底台210的侧边设置；镀膜釜体100包括第一半釜体110、第二半釜体120和移动组件300，移动组件300包括中空筒330、第一导向杆310、第二导向杆320和螺旋杆340；第一导向杆310的一端与第一半釜体110连接，另一端从中空筒330的一侧插入；第二导向杆320的一端与第二半釜体120连接，另一端从中空筒330的相对第一导向杆310插入侧的另一侧插入；螺旋杆340的一端设有齿轮，另一端连接有第一电机410；齿轮分别与第一导向杆310以及第二导向杆320啮合；第一半釜体110的边沿面向第二半釜体120的位置设有与第一电机410连接的压力传感器420。在该实施例中，通过公转的旋转台200和旋转台200上自转的工件转架220，使装载在工件转架220上各处的工件均可旋转至与靶材130相对的位置，从而使工件转架220上的所有工件均可被均匀上膜，提高了装炉量以及生产效率。由于装炉量的增大，伴随而来的是镀膜釜体100的增大。通过移动组件300解决了大型镀膜釜体100分离和闭合的便利性问题。第一电机410驱动螺旋杆340旋转，螺旋杆340通过齿轮驱动第一导向杆310和第二导向杆320相向移动，从而带动第一半釜体110和第二半釜体120相向移动并闭合。第一半釜体110和第二半釜体120闭合时，触发压力传感器420，当压力传感器420检测到压力值到达阈值，压力传感器420向第一电机410发送停止信号，第一电机410停止。当然，压力传感器420也可以设置在第二半釜体120的边沿。参照图2，进一步，第一导向杆310位于螺旋杆340的下方，第一导向杆310的上侧设有齿；第二导向杆320位于螺旋杆340的上方，第二导向杆320的下侧设有齿。具体地，第一电机410为双向电机。在该实施例中，第一电机410带动螺旋杆340逆时针旋转，螺旋杆340同时驱动第一导向杆310和第二导向杆320移动，无需两个电机，节约能源；此时第一导向杆310与第二导向杆320相向移动，实现第一半釜体110和第二半釜体120闭合。第一电机410反方向旋转，带动螺旋杆340顺时针旋转，此时第一导向杆310与第二导向杆320相背移动，实现第一半釜体110和第二半釜体120分离。此设计提升了大型镀膜釜体100分离和闭合的便利性。参照图1，进一步，旋转台200的下方连接有第二电机211，第二电机211用于驱动旋转台200旋转，为旋转台200旋转提供动力源。进一步，工件转架220的下方连接有第三电机221，第三电机221位于旋转台200内；第三电机221用于驱动工件转架220旋转，为工件转架220旋转提供动力源。进一步，镀膜釜体100设有进气口，进气口连接有气泵510，气泵510连接装有惰性气体的储气罐520。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型真空镀膜机，其特征在于，包括镀膜釜体，所述镀膜釜体的内壁设有靶材；所述镀膜釜体内设置有绕自身中心轴旋转的旋转台，所述旋转台包括底台和绕自身中心轴旋转的多个工件转架，多个所述工件转架绕所述底台的侧边设置；所述镀膜釜体包括第一半釜体、第二半釜体和移动组件，所述移动组件包括中空筒、第一导向杆、第二导向杆和螺旋杆；所述第一导向杆的一端与所述第一半釜体连接，另一端从所述中空筒的一侧插入；所述第二导向杆的一端与所述第二半釜体连接，另一端从所述中空筒的相对所述第一导向杆插入侧的另一侧插入；所述螺旋杆的一端设有齿轮，另一端连接有第一电机；所述齿轮分别与所述第一导向杆以及所述第二导向杆啮合；所述第一半釜体的边沿面向所述第二半釜体的位置设有与所述第一电机连接的压力传感器。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型真空镀膜机，其特征在于，包括镀膜釜体，所述镀膜釜体的内壁设有靶材；所述镀膜釜体内设置有绕自身中心轴旋转的旋转台，所述旋转台包括底台和绕自身中心轴旋转的多个工件转架，多个所述工件转架绕所述底台的侧边设置；所述镀膜釜体包括第一半釜体、第二半釜体和移动组件，所述移动组件包括中空筒、第一导向杆、第二导向杆和螺旋杆；所述第一导向杆的一端与所述第一半釜体连接，另一端从所述中空筒的一侧插入；所述第二导向杆的一端与所述第二半釜体连接，另一端从所述中空筒的相对所述第一导向杆插入侧的另一侧插入；所述螺旋杆的一端设有齿轮，另一端连接有第一电机；所述齿轮分别与所述第一导向杆以及所述第二导向杆啮合；所述第一半釜体的边沿面向所述第二半釜体的位置设有与所述第一电机连接的压力传感器。


2.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：周磊，詹全委，
申请(专利权)人：珠海和泽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44