一种新型真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型真空镀膜机，包括镀膜釜体，镀膜釜体内设有旋转的旋转台，旋转台包括底台和旋转的多个工件转架；镀膜釜体包括第一半釜体、第二半釜体和移动组件，移动组件包括中空筒、第一导向杆、第二导向杆和设有齿轮的螺旋杆；螺旋杆在第一电机的驱动下带动与其齿啮合的第一导向杆和第二导向杆相向或相背移动，使第一半釜体和第二半釜体闭合和分离，第一半釜体的边沿设有与第一电机连接的压力传感器；通过公转的旋转台和旋转台上自转的工件转架，提高了装炉量以及生产效率；另外通过移动组件提升了大型镀膜釜体分离和闭合的便利性。

【技术实现步骤摘要】
一种新型真空镀膜机
本技术涉及镀膜设备，特别是一种新型真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类在较高真空度下对工件进行镀膜的设备。在真空条件下，通入惰性气体，惰性气体在高电压电场作用下电离为离子，离子轰击靶材，从而将靶材材料溅射到工件表面，形成薄膜。但目前真空镀膜机的装炉量小，导致生产效率低；但一旦将釜体的体积增大以提高装炉量，过大的釜体不便于打开和闭合，不利于形成真空的镀膜室腔。
技术实现思路
本技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种新型真空镀膜机，具有装炉量大和大釜体易于闭分的特点。本技术解决其问题所采用的技术方案是：一种新型真空镀膜机，包括镀膜釜体，所述镀膜釜体的内壁设有靶材；所述镀膜釜体内设置有绕自身中心轴旋转的旋转台，所述旋转台包括底台和绕自身中心轴旋转的多个工件转架，多个所述工件转架绕所述底台的侧边设置；所述镀膜釜体包括第一半釜体、第二半釜体和移动组件，所述移动组件包括中空筒、第一导向杆、第二导向杆和螺旋杆；所述第一导向杆的一端与所述第一半釜体连接，另一端从所述中空筒的一侧插本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型真空镀膜机，其特征在于，包括镀膜釜体，所述镀膜釜体的内壁设有靶材；所述镀膜釜体内设置有绕自身中心轴旋转的旋转台，所述旋转台包括底台和绕自身中心轴旋转的多个工件转架，多个所述工件转架绕所述底台的侧边设置；所述镀膜釜体包括第一半釜体、第二半釜体和移动组件，所述移动组件包括中空筒、第一导向杆、第二导向杆和螺旋杆；所述第一导向杆的一端与所述第一半釜体连接，另一端从所述中空筒的一侧插入；所述第二导向杆的一端与所述第二半釜体连接，另一端从所述中空筒的相对所述第一导向杆插入侧的另一侧插入；所述螺旋杆的一端设有齿轮，另一端连接有第一电机；所述齿轮分别与所述第一导向杆以及所述第二导向杆啮合；所述第一...

【技术特征摘要】
1.一种新型真空镀膜机，其特征在于，包括镀膜釜体，所述镀膜釜体的内壁设有靶材；所述镀膜釜体内设置有绕自身中心轴旋转的旋转台，所述旋转台包括底台和绕自身中心轴旋转的多个工件转架，多个所述工件转架绕所述底台的侧边设置；所述镀膜釜体包括第一半釜体、第二半釜体和移动组件，所述移动组件包括中空筒、第一导向杆、第二导向杆和螺旋杆；所述第一导向杆的一端与所述第一半釜体连接，另一端从所述中空筒的一侧插入；所述第二导向杆的一端与所述第二半釜体连接，另一端从所述中空筒的相对所述第一导向杆插入侧的另一侧插入；所述螺旋杆的一端设有齿轮，另一端连接有第一电机；所述齿轮分别与所述第一导向杆以及所述第二导向杆啮合；所述第一半釜体的边沿面向所述第二半釜体的位置设有与所述第一电机连接的压力传感器。


2.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：周磊，詹全委，
申请(专利权)人：珠海和泽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44