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一种高效减排镀膜机制造技术
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文档序号:26452431
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本实用新型公开了一种高效减排镀膜机,包括外壳,外壳的内壁设有靶材;外壳内设置有旋转台,旋转台包括底台和多个工件转架,底台设置有多个第一电机,每个工件转架通过旋转轴与第一电机对应连接,底台下设有用于驱动底台旋转的第二电机;外壳设有进气口和出气...
该专利属于珠海和泽科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海和泽科技有限公司授权不得商用。
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