一种多晶硅靶材制造技术

本实用新型专利技术属于靶材技术领域，尤其为一种多晶硅靶材，包括框体、第三铜基板和第四铜基板，所述框体的内壁开设有凹槽，且凹槽的内侧安装有卡块，所述卡块的左侧安装有第一铜基板，且第一铜基板的外壁安装有螺纹板，所述螺纹板的内侧设置有固定杆，且固定杆的底端设置有螺纹套，所述螺纹套的外侧设置有第二铜基板，且第二铜基板的右侧安装有固定块，并且固定块的中部设置有螺纹杆，所述第三铜基板安装于第二铜基板的底端，且第三铜基板的外壁安装有连接块，所述连接块的顶端安装有活动轴，且活动轴的外侧安装有衔接板，所述第四铜基板安装于第三铜基板的底部。该多晶硅靶材装置组装拆卸更换便捷程度高，成本消耗小，板块之间衔接稳定性强。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅靶材
本技术涉及靶材
，具体为一种多晶硅靶材。
技术介绍
多晶硅是一种重要的溅射靶材材料，使用磁控溅射方法制备SiO2等薄膜层，可以使基体材料具备更好的光学、介电及抗蚀性能，被广泛应用到触摸屏、光学等行业中。在靶材的生产中，多晶硅靶材的纯度要比单晶硅靶材高，但却几乎没有导电性，需要采用导电的铟或者锡作为粘合剂和靶材结合，一方面能够增加靶材的导电性，另一方面也能够节省靶材的消耗，节省用户的资金。现在市面上的靶材存在靶材面积大，损耗材料多，靶材与基板之间为一体化焊接连接的缺点，导致组装拆卸更换便捷程度低，成本消耗大，板块之间衔接稳定性不强的问题，需要具有组装拆卸更换便捷程度高，成本消耗小，板块之间衔接稳定性强的新型靶材装置。针对上述问题，急需在原有靶材的基础上进行创新设计。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种多晶硅靶材，以解决上述
技术介绍
中提出的同类产品靶材面积大，损耗材料多，靶材与基板之间为一体化焊接连接的缺点，导致组装拆卸更换便捷程度低，成本消耗大，板块之间衔接稳定性不强的问题。为本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅靶材，包括框体（1）、第三铜基板（11）和第四铜基板（15），其特征在于：所述框体（1）的内壁开设有凹槽（2），且凹槽（2）的内侧安装有卡块（3），所述卡块（3）的左侧安装有第一铜基板（4），且第一铜基板（4）的外壁安装有螺纹板（5），所述螺纹板（5）的内侧设置有固定杆（6），且固定杆（6）的底端设置有螺纹套（7），所述螺纹套（7）的外侧设置有第二铜基板（8），且第二铜基板（8）的右侧安装有固定块（9），并且固定块（9）的中部设置有螺纹杆（10），所述第三铜基板（11）安装于第二铜基板（8）的底端，且第三铜基板（11）的外壁安装有连接块（12），所述连接块（12）的顶端安装有活动...

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅靶材，包括框体（1）、第三铜基板（11）和第四铜基板（15），其特征在于：所述框体（1）的内壁开设有凹槽（2），且凹槽（2）的内侧安装有卡块（3），所述卡块（3）的左侧安装有第一铜基板（4），且第一铜基板（4）的外壁安装有螺纹板（5），所述螺纹板（5）的内侧设置有固定杆（6），且固定杆（6）的底端设置有螺纹套（7），所述螺纹套（7）的外侧设置有第二铜基板（8），且第二铜基板（8）的右侧安装有固定块（9），并且固定块（9）的中部设置有螺纹杆（10），所述第三铜基板（11）安装于第二铜基板（8）的底端，且第三铜基板（11）的外壁安装有连接块（12），所述连接块（12）的顶端安装有活动轴（13），且活动轴（13）的外侧安装有衔接板（14），所述第四铜基板（15）安装于第三铜基板（11）的底部，且第四铜基板（15）的外侧设置有套筒（16）。


2.根据权利要求1所述的一种多晶硅靶材，其特征在于：所述卡块（3）通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨小岗，
申请(专利权)人：陕西欧凯利靶材股份有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61