一种TiC靶材及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种TiC靶材及其制备方法，所述TiC靶材的密度为4.1

【技术实现步骤摘要】
一种TiC靶材及其制备方法


[0001]本专利技术涉及靶材领域，具体是一种TiC靶材及其制备方法。

技术介绍

[0002]TiC靶材是光学镀膜中普遍使用的一种靶材，在装饰镀膜中有广泛的应用前景，以前TiC 靶材的制备是通过烧结成型的方法制备，本专利技术首次采用等离子喷涂的方法制备TiC靶材， 成本低，适合直流溅射制备薄膜且溅射稳定。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题就是克服以上的技术缺陷，提供一种TiC靶材及其制备方法。
[0004]为了解决上述问题，本专利技术的技术方案为：一种TiC靶材及其制备方法，所述TiC靶材 的密度为4.1-4.6g/cm3，所述TiC靶材电阻率为0.1-3mΩ.cm。
[0005]一种TiC靶材的制备方法，其制备方法包括以下步骤：
[0006](1)将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；
[0007](2)使用热喷涂设备将TiC粉末喷涂在基体表面；
[0008](3)对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。
[0009]作为改进，所述步骤(1)中基体为合金管或不锈钢管。
[0010]作为改进，所述步骤(2)中对靶材进行喷涂时使用惰性气体做气氛保护，所述惰性气体 为氮气或氩气。
[0011]本专利技术与现有的技术相比的优点在于：由于使用了气氛保护进行喷涂，靶材氧含量低， 电阻率低，从而在镀膜的过程中溅射速率快。本专利技术采用等离子喷涂的方法制备TiC靶材， 成本低，适合直流溅射制备薄膜且溅射稳定。
具体实施方式
[0012]针对现有技术中的上述不足，本专利技术提供了一种鞋底用透气吸水性PU树脂的制备方法， 其制备简单，有效增强PU革的吸水透气性，同时本专利技术能够在保持PU革的手感的前提下， 有效提高PU革的耐磨性及环保性，且具有抗菌性。
[0013]实施例一
[0014]本实施例提供了一种旋转TiC靶材，所述旋转TiC靶材的密度为4.5g/cm3，电阻率为0.1m Ω.cm。
[0015]本实施例还提供一种旋转TiC靶材的制备方法，所述制备方法步骤如下：
[0016](1)将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；
[0017](2)使用热喷涂设备将TiC粉末或TiC丝喷涂在基体表面；
[0018](3)对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。
[0019]所述步骤(1)中基体为不锈钢管，所述步骤(2)中对靶材进行喷涂时使用氮气对靶
材 进行保护。
[0020]实施例二
[0021]本实施例提供了一种旋转TiC靶材，所述旋转TiC靶材的密度为4.48g/cm3，电阻率为 0.12MΩ.cm。
[0022]本实施例还提供一种旋转TiC靶材的制备方法，所述制备方法步骤如下：
[0023](1)将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；
[0024](2)使用热喷涂设备将TiC粉末或TiC丝喷涂在基体表面；
[0025](3)对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。
[0026]所述步骤(1)中基体为不锈钢管，所述步骤(2)中对靶材进行喷涂时使用氮气对靶材 进行保护。
[0027]以上所述仅为本专利技术专利的较佳实施例而已，并不用以限制本专利技术专利，凡在本专利技术专 利的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本专利技术专利的保护范 围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TiC靶材，其特征在于：所述TiC靶材的密度为4.1-4.6g/cm3，所述TiC靶材电阻率为0.1-3mΩ.cm。2.一种TiC靶材的制备方法，其特征在于，其制备方法包括以下步骤：(1)将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；(2)使用热喷涂设备将TiC粉末喷涂在基体表面；(3)对靶材表面进...

【专利技术属性】
技术研发人员：胥小勇，颜建师，涂培堤，杨文宏，杨娟娟，
申请(专利权)人：福建瓦能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：