一种真空腔体结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空腔体结构，包括：母腔体和子腔体；所述子腔体位于所述母腔体内一侧，并置于所述母腔体的侧壁上；所述母腔体包括：母腔体抽真空管路；所述母腔体抽真空管路与所述母腔体连接；所述子腔体包括：密封门、可视门、载台、坩埚加热装置和子腔体抽真空管路；所述载台置于所述子腔体内，且所述坩埚加热装置于所述载台上方，用于加热坩埚；所述子腔体抽真空管路与所述子腔体连接；所述可视门活动设置于所述子腔体与所述母腔体共用的腔壁上；所述密封门活动设置于所述子腔体顶部。发生异常时，子腔体、母腔体可单独破真空并开腔处理，减少宕机时间。以此提高蒸镀质量，同时提高蒸镀机产能。时提高蒸镀机产能。时提高蒸镀机产能。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体结构


[0001]本技术涉及OLED真空蒸镀
，尤其涉及一种真空腔体结构。

技术介绍

[0002]近年来，随着OLED技术的飞速发展，越来越多得液晶显示面板被OLED 面板取代，OLED屏幕，在色域、对比度有着绝对优势，而蒸镀是OLED的核心工艺之一。目前采用真空蒸镀方式制备OLED器件，真空蒸镀是将待成膜的物质(蒸镀材料)置于高真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基板表面析出的过程，高真空下成膜是因为OLED器件的有机薄膜及金属薄膜遇水或空气后会立即氧化，使器件性能迅速下降，并且在非真空状态下由于空气分子碰撞阻挡，难以形成均匀连续的薄膜(真空压力越低，材料分子或原子平均自由径越长，材料分子或原子可以更好的找到最低位置停留，可得较佳成膜效果)，所以保持腔内真空环境是非常必要的。现有的蒸镀腔体不可避免的要定期开腔进行坩埚加料、晶振片更换、防著板、角度板更换等动作，频繁开关腔会对腔内环境造成很大影响，并且大型腔体从大气状态抽至高真空耗时较久从而影响产能。

技术实现思路

[0003]为此，需要提供一种真空腔体结构，提高蒸镀质量，同时提高产能。
[0004]为实现上述目的，本申请提供了一种真空腔体结构，包括：母腔体和子腔体；所述子腔体位于所述母腔体内一侧，并置于所述母腔体的侧壁上；
[0005]所述母腔体包括：母腔体抽真空管路；所述母腔体抽真空管路与所述母腔体连接；
[0006]所述子腔体包括：密封门、可视门、载台、坩埚加热装置和子腔体抽真空管路；所述载台置于所述子腔体内，且所述坩埚加热装置于所述载台上方，用于加热坩埚；所述子腔体抽真空管路与所述子腔体连接；所述可视门活动设置于所述子腔体与所述母腔体共用的腔壁上；所述密封门活动设置于所述子腔体顶部。
[0007]进一步地，所述子腔体还包括：压力传感器，所述压力传感器设置于所述载台上，且位于所述坩埚加热装置一侧。
[0008]进一步地，所述子腔体还包括：多个降温系统；其中一个所述降温系统位于所述载台与所述坩埚加热装置之间，其中一个所述降温系统位于所述载台远离所述坩埚加热装置的一侧；其中一个所述降温系统位于所述子腔体的内壁上。
[0009]进一步地，所述降温系统为冷却循环水系统。
[0010]进一步地，在所述母腔体抽真空管路与所述母腔体的连接处上以及所述子腔体抽真空管路与所述子腔体连接处上分别设置有滤网，所述滤网用于防止杂物进入所述母腔体和所述子腔体内部。
[0011]进一步地，所述子腔体还包括：机械臂；所述机械臂一端与所述载台连接，另一端与所述子腔体底部连接，所述机械臂用于移动所述载台。
[0012]进一步地，所述密封门为DV门。
[0013]进一步地，还包括：低温泵，所述低温泵分别置于所述母腔体和所述子腔体内，且所述低温泵分别与所述母腔体抽真空管路、子腔体抽真空管路连接。
[0014]进一步地，还包括：主百叶窗；所述主百叶窗位于所述母腔体内，且设置于所述子腔体上方，所述主百叶窗的开口朝所述子腔体的方向设置。
[0015]进一步地，还包括：掩膜板；所述掩膜板窗位于所述母腔体内，且置于所述主百叶窗上方。
[0016]区别于现有技术，上述技术方案通过所述母腔体、子腔体的设置，可分别控制所述母腔体、子腔体内的真空环境，可在需要时单独控制所述母腔体或子腔体破真空，再通过分别连接的真空泵进行抽真空。所述密封门根据需要进行开关，使所述母腔体、子腔体处于相互独立或联通的状态。本专利技术在于能减少两腔体抽高真空所用时间、减少开腔导致的腔内水氧含量提高器件寿命，且可减少PM时长及异常或破片处理时间，减少宕机时间。其中所述子腔体空间较小，抽高真空速率更快，频繁开腔的操作如坩埚加料、晶振片更换等动作均可在所述子腔体内完成，所述母腔体仍可保持高真空从而减少腔内水气，当所述母腔发生异常(如：主百叶窗异物卡顿或破片等问题)时，所述子腔体无需降温(节约降温时间)，母腔体可单独破真空并开腔处理，减少宕机时间。以此提高蒸镀质量，同时提高蒸镀机产能。
附图说明
[0017]图1为一种真空腔体结构的结构图。
[0018]附图标记说明：
[0019]1、母腔体；2、掩膜板；3、密封门；4、子腔体；5、压力传感器；6、坩埚；7、坩埚加热装置；8、载台；9、降温系统；10、子腔体抽真空管路； 11、滤网；12、机械臂；13、母腔体抽真空管路；14、主百叶窗；15、可视门。
具体实施方式
[0020]为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。
[0021]请参阅图1，本实施例提供了一种真空腔体结构，其特征在于，包括：母腔体1、子腔体4；所述子腔体4位于所述母腔体1内一侧，并置于所述母腔体1的侧壁上；所述母腔体1包括：主百叶窗14、母腔体抽真空管路13、掩膜板2；在某些实施例中，主百叶窗14和掩膜板2可以被省略。所述主百叶窗14位于所述母腔体1内，且设置于所述子腔体4上方，所述主百叶窗14 的开口朝所述子腔体4的方向设置；所述掩膜板2窗位于所述母腔体1内，且置于所述主百叶窗14上方，所述母腔体抽真空管路13与所述母腔体1连接；所述子腔体4包括：密封门3、可视门15、载台8、坩埚加热装置7、子腔体抽真空管路10；所述载台8置于所述子腔体4内，且所述坩埚加热装置 7于所述载台8上方，用于加热坩埚6；所述子腔体抽真空管路10与所述子腔体4连接；所述可视门15活动设置于所述子腔体4与所述母腔体1共用的腔壁上；所述子腔体4顶部上还设置有导轨，所述密封门3活动设置于所导轨上。需要说明的是，所述坩埚加热装置7可以为电热丝升温装置，即，电热丝螺旋绕设在所述坩埚6的侧壁上，且与坩埚6设有间距；当然，所述坩埚加热装置7还可以为石墨烯坩埚加热装置7等。所述可视门15位于所述子腔体4与所述母腔体1公用的腔壁上；即，所述可视门15打开后，所述子腔体4与外界是
连通的。操作员可以通过所述可视门15向所述子腔体4内添加蒸镀材料或者维修所述子腔体4内的设备；所述可视门15处于闭合状态时，也可以通过可视门15查看所述子腔体4内部情况；所述可视门15采用透明材质制作。所述密封门3用于控制所述子腔体4与所述母腔体1间独立、连通状态；即，需要单独开启某个腔体时，关闭所述密封门3即可；在本实施中，所述子腔体4顶部上还设置有导轨，所述密封门3滑动设置于导轨上；当然，所述密封门3可以通过转轴，可转动的设置于所述子腔体4的顶部。在某些实施例中，所述密封门3为DV门，且采用双向密封圈，防止单方向气压过大损坏DV门；通过腔壁及DV门使所述子腔体4达到密封环境，且在子腔体4安装真空管路用于低温泵抽真空，在整体腔室进行抽或破真空动作时，子腔体4DV门打开，母腔体1与子腔体4互通，抽真空或破真空速率更快并降低压差，只需子腔体4单独作业时，DV门关闭，子腔体4单独抽、破真空，母腔体1单独作业时与之同理。所述主百叶窗14的开口位于所述子腔体4的上方或者所述开口方向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空腔体结构，其特征在于，包括：母腔体和子腔体；所述子腔体位于所述母腔体内一侧，并置于所述母腔体的侧壁上；所述母腔体包括：母腔体抽真空管路；所述母腔体抽真空管路与所述母腔体连接；所述子腔体包括：密封门、可视门、载台、坩埚加热装置和子腔体抽真空管路；所述载台置于所述子腔体内，且所述坩埚加热装置于所述载台上方，用于加热坩埚；所述子腔体抽真空管路与所述子腔体连接；所述可视门活动设置于所述子腔体与所述母腔体共用的腔壁上；所述密封门活动设置于所述子腔体顶部。2.根据权利要求1所述一种真空腔体结构，其特征在于，所述子腔体还包括：压力传感器，所述压力传感器设置于所述载台上，且位于所述坩埚加热装置一侧。3.根据权利要求1所述一种真空腔体结构，其特征在于，所述子腔体还包括：多个降温系统；其中一个所述降温系统位于所述载台与所述坩埚加热装置之间，其中一个所述降温系统位于所述载台远离所述坩埚加热装置的一侧；其中一个所述降温系统位于所述子腔体的内壁上。4.根据权利要求3所述一种真空腔体结构，其特征在于，所述降温系统为冷却循环水系...

【专利技术属性】
技术研发人员：张铭今，孙玉俊，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：