本实用新型专利技术提供了一种有毛刷的线性蒸发源蒸镀装置，包括真空腔体（1）、设在真空腔体（1）内的蒸镀基板（2）、蒸发源盖板（3）和线性蒸发源（8）；所述的蒸镀基板（2）设在真空腔体（1）内部上方；所述的蒸发源盖板（3）设在蒸镀基板（2）下方；所述的线性蒸发源（8）设在蒸发源盖板（3）下方；还包括气缸传动柱（6）与气缸（7）；所述的蒸发源盖板（3）上安装有用于清理喷嘴堵口的毛刷结构（4）。本实用新型专利技术具有如下技术效果：1、在本实用新型专利技术的线性蒸发源盖板结构中，蒸发源盖板上设置毛刷结构，使蒸发源盖板在打开关闭过程中可以接触到蒸发源喷嘴，实时有效的解决了蒸发源喷嘴堵口的技术问题。了蒸发源喷嘴堵口的技术问题。了蒸发源喷嘴堵口的技术问题。
【技术实现步骤摘要】
一种有毛刷的线性蒸发源蒸镀装置
[0001]本技术涉及OLED蒸镀设备线性蒸发源领域，具体涉及一种可清除蒸发源喷嘴有机材料堵口的线性蒸发源蒸镀装置。
技术介绍
[0002]有机发光器件（Organic Light Emitting Diode，OLED）是一种极具发展前景的平板显示技术，以其节能、健康、轻薄、环保、自发光、响应时间短、结构简单、可实现柔性等优势，在照明和显示领域受到越来越多的关注，其发展前景广阔。
[0003]有机发光器件的构造一般包括一个基板，在基板上制作了两个薄膜电极，在两个电极之间制作了多层有机薄膜，在正负电极间通电后器件发光。根据OLED器件的光的出射方向的不同，分为底发射型OLED器件和顶发射型OLED器件。如果从器件基板方向出射光，称为底发射型OLED器件；如果从器件背向基板的方向出射光，称为顶发射型OLED器件。OLED是有机半导体材料和发光材料在电场驱动下，通过电子空穴注入和复合导致发光的现象。其原理是在一定电压驱动下，电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子传输层和空穴传输层，电子和空穴分别经过电子传输层和空穴传输层迁移到发光层，并在发光层中复合，形成激子并使发光材料的发光分子激发，经过辐射发出可见光。
[0004]OLED膜层进行制备时，通常采用真空蒸镀技术，即在真空腔室中通过加热蒸发源坩埚内的有机材料使其蒸发成分子状态并沉积在玻璃基板上，并利用石英晶体微天平系统来控制膜厚。目前基板尺寸小于或等于370
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470cm的真空蒸镀设备使用的是点蒸发源，通常称为点源，蒸镀方式为点源固定，基板位于点源上方匀速旋转，其主要缺点有材料利用率低，约1-5%，均匀性较差，均匀性≤3%。相对应基板尺寸大于或等于370
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470cm的真空蒸镀设备使用的是线性蒸发源，通常称为线源，蒸镀方式有线源固定基板匀速移动和基板固定线源匀速移动两种，线源主要优点为材料利用率高，约30%，均匀性较好，均匀性≤2%，可蒸镀大尺寸基板，工艺时间短。线源通常由四个部分组成，从上往下依次是喷嘴，分流管，导流管和坩埚，成T型结构。目前线源相对于点源具有材料利用率高，成膜均匀性高，生产效率高等优点。
[0005]线源在降温过程中，分流管中充满了有机材料，降温过程中没有足够气压将有机材料全部从喷嘴排出，导致有机材料在喷嘴降温过程中凝结在喷嘴出口，从而形成喷嘴堵口。堵口的有机材料在升温后亦不会自行蒸发出去，而有生长趋势。试图使用分梯度延迟时间降温的方法缓解堵口问题，方法为优先对坩埚降温，依次向上对导流管、分流管降温，最后进行喷嘴降温，此方法能缓解部分有机材料堵口问题，但依然有部分有机材料会形成堵口。
[0006]在蒸镀过程中，因蒸发速率过大、材料本身特性、喷嘴内部粗糙或加热不均匀等原因，很容易发生喷嘴堵口现象，此现象极大影响了成膜的均匀性。由于OLED器件必须在真空环境下连续完成有机材料的蒸镀，而一旦出现堵口现象，蒸镀工艺将无法继续完成，严重影响生产、实验进度。同时，在生产线的蒸镀设备现有情况下需要打开蒸镀腔室，手动清理蒸
发源喷嘴的堵口，打开蒸镀腔室之前需要将全部有机材料降温，然后开腔手动清除堵口并重新抽真空，待恢复到工艺所用真空度，一般共需要6~8小时，对生产的连贯性和效率带来很大的影响。
[0007]中国专利CN201720248015.9，名称为“一种蒸镀机的蒸发源盖板结构”,提供了一种蒸发源盖板本体表面覆设双层网状编织结构来吸附在蒸镀过程中沉积的有机材料，来解决喷嘴被堵口的问题。此方法在生产过程中可以起到预防堵口作用，但没有清除堵口的功能。蒸镀过程中有机材料从喷嘴口散射喷出，在真空腔室做直线运动，接触到任何挡板都会沉积在上面。而在大速率长时间连续蒸发下，喷嘴两边设置的双层网状编织结构会吸附大量的有机材料，过多的有机材料反而会发生脱落现象，从而增加了堵口的隐患。此方法不适用长时间连续蒸镀生产的情况，而且无实时清除堵口的功能。
[0008]中国专利CN201720099135.7，名称为“线性蒸发源堵口疏通装置
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,提供了一种线性蒸发源堵口疏通装置，方法为对堵口喷嘴充入高压氮气，以此达到疏通堵口的效果。其不足之处在于生产过程中如需清理堵口，实施方式是必须先停止生产，使用高压氮气疏通，待真空泵抽气后才能继续生产。而真空腔室对腔体压力要求极高，少量的高压氮气就会破坏腔体真空环境，加热状态下的蒸发源和有机材料对真空要求也极高，所以在实施之前需要对有机材料进行降温，而上文提到在降温过程中，易发生堵口现象。同时，有机材料降温、高压氮气疏通并抽真空，所用时间相当长，影响生产连贯性，由于器件制作中断，器件性能也会受到一定程度的影响，影响产品质量。此专利无法在生产过程中实时有效的解决线性蒸发源堵口的技术问题。
技术实现思路
[0009]为解决上述现有技术的不足之处，提供一种有毛刷的线性蒸发源蒸镀装置，包括设有毛刷结构的线性蒸发源盖板，能够在生产过程中实时对蒸发源喷嘴堵口的有机材料进行清扫操作，极大延长了蒸发源连续使用时间，提高了产品良率，并提高了蒸镀设备的稼动率。
[0010]本技术的蒸发源盖板上安装有毛刷，此毛刷能够接触到蒸发源喷嘴，通过蒸发源盖板的打开和关闭操作，能够对蒸发源喷嘴进行实时清扫操作，从而解决蒸发源喷嘴堵口的技术问题。
[0011]本技术的技术方案如下：
[0012]一种有毛刷的线性蒸发源蒸镀装置，包括真空腔体（1）、设在真空腔体（1）内的蒸镀基板（2）、蒸发源盖板（3）和线性蒸发源（8）；
[0013]所述的蒸镀基板（2）设在真空腔体（1）内部上方；
[0014]所述的蒸发源盖板（3）设在蒸镀基板（2）下方；
[0015]所述的线性蒸发源（8）设在蒸发源盖板（3）下方；所述的线性蒸发源（8）包括蒸发源喷嘴（81）、蒸发源分流管（82）、蒸发源导流管（83）和坩埚（84）；
[0016]还包括气缸传动柱（6）与气缸（7）；
[0017]所述的蒸发源盖板（3）上安装有用于清理喷嘴堵口的毛刷结构（4）；
[0018]所述的蒸发源盖板（3）两侧固定有用于带动蒸发源盖板（3）转动的蒸发源盖板构件（5）；
[0019]所述的蒸发源盖板构件（5）与气缸传动柱（6）连接；所述的气缸传动柱（6）伸出真空腔体（1）外与气缸（7）连接；
[0020]所述的蒸发源盖板构件（5）上端固定连接蒸发源盖板（3），下端固定于真空腔体（1）且可转动。
[0021]优选地，
[0022]所述的毛刷结构（4）向下安装于蒸发源盖板（3）的长边一侧，为蒸发源盖板（3）关闭过程中经过蒸发源喷嘴（81）上方的一侧。
[0023]所述的毛刷结构（4）包括毛刷架和设置在毛刷架侧面的开口滑槽，所述的毛刷架下方设置有长条形毛刷，蒸发源盖板（3）长边一侧安装于毛刷结构（4）开口滑槽中，便于毛刷结构（4）单独拆装。
[0024]所述的毛刷结构（4）的毛刷长度为在本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种有毛刷的线性蒸发源蒸镀装置，包括真空腔体（1）、设在真空腔体（1）内的蒸镀基板（2）、蒸发源盖板（3）和线性蒸发源（8）；所述的蒸镀基板（2）设在真空腔体（1）内部上方；所述的蒸发源盖板（3）设在蒸镀基板（2）下方；所述的线性蒸发源（8）设在蒸发源盖板（3）下方；所述的线性蒸发源（8）包括蒸发源喷嘴（81）、蒸发源分流管（82）、蒸发源导流管（83）和坩埚（84）；其特征在于，还包括气缸传动柱（6）与气缸（7）；所述的蒸发源盖板（3）上安装有用于清理喷嘴堵口的毛刷结构（4）；所述的蒸发源盖板（3）两侧固定有用于带动蒸发源盖板（3）转动的蒸发源盖板构件（5）；所述的蒸发源盖板构件（5）与气缸传动柱（6）连接；所述的气缸传动柱（6）伸出真空腔体（1）外与气缸（7）连接；所述的蒸发源盖板构件（5）上端固定连接蒸发源盖板（3），下端固定于真空腔体（1）且可转动。2.根据权利要求1所述的有毛刷的线性蒸发源蒸镀装置，其特征在于，所述的毛刷结构（4）向下安装于蒸发源盖板（3）的长边一侧，为蒸发源盖板（3）关闭过程中经过蒸发源喷嘴（81）上方的一侧。3.根据权利要求1所述的有毛刷的线性蒸发源蒸镀装置，其特征在于，所述的毛刷结构（4）包括毛刷架和设置在毛刷...
【专利技术属性】
技术研发人员：周希伟，卢泓，徐亚晨，谢发飞，叶子云，
申请(专利权)人：江苏壹光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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