本实用新型专利技术公开了一种承载晶圆的防翘曲装置，其结构包括晶圆盒、凹槽、放置槽、底板、通槽和调节定位装置，本实用新型专利技术通过将调节定位装置设置于通槽内侧中部，便可通过第一旋钮带动第一螺纹杆在螺纹座上进行转动，使得连接座上的固定夹沿着限位座进行前后滑动，实现对固定的直径距离进行调节，再对活动夹沿着横杆上的滑槽上进行左右滑动，并且通过第二旋钮带动第二螺纹杆进行螺纹固定，实现对固定的左右间距进行调节，便于调节，固定性强，通过横杆前端中部设置有限位槽，并且限位槽内径表面与活动夹进行滑动配合，便于进行限位滑动，保证滑动的稳定性。的稳定性。的稳定性。
【技术实现步骤摘要】
一种承载晶圆的防翘曲装置
[0001]本技术涉及半导体设备
，具体涉及一种承载晶圆的防翘曲装置。
技术介绍
[0002]晶圆在经过研磨工艺之后，由于自身的厚度减薄，尤其是边缘的厚度特别小，在将晶圆放入晶圆盒之后，会造成翘曲现象的发生，进而容易造成对晶圆的损坏，为了晶圆避免研磨后发生翘曲通过承载晶圆的防翘曲装置进行放置。
[0003]当需要对承载晶圆的防翘曲装置进行使用的情况下，由于现有防翘曲装置内径放置尺寸均为固定状，不同批次或者不同型号的晶圆直径尺寸步进相同，并且晶圆与内部放置槽难以紧密贴合放置，移动过程中容易出现晃动跑位，导致晶圆磕碰磨损。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]为了克服现有技术不足，现提出一种承载晶圆的防翘曲装置，解决了当需要对承载晶圆的防翘曲装置进行使用的情况下，由于现有防翘曲装置内径放置尺寸均为固定状，不同批次或者不同型号的晶圆直径尺寸步进相同，并且晶圆与内部放置槽难以紧密贴合放置，移动过程中容易出现晃动跑位，导致晶圆磕碰磨损的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]本技术通过如下技术方案实现：本技术提出了一种承载晶圆的防翘曲装置，包括晶圆盒、凹槽、放置槽和调节定位装置，所述晶圆盒顶端中部嵌入有凹槽，所述调节定位装置设置于通槽内侧中部，所述调节定位装置包括第一旋钮、第一螺纹杆、螺纹座、限位座、连接座、横杆、固定夹、滑槽和固定机构，所述第一旋钮前端中部与第一螺纹杆相连接，所述第一螺纹杆外径表面与螺纹座螺纹配合，所述螺纹座与限位座顶部后端相互固定，所述第一螺纹杆外侧前端与连接座转动配合，所述连接座与横杆后端中部紧密固定，所述横杆前端中部通过螺栓与固定夹锁紧固定，所述横杆左右两端内中部穿设有滑槽，所述滑槽内侧中部设置有固定机构，所述螺纹座与通槽内侧中部相互固定。
[0008]进一步的，所述凹槽内侧左右两端嵌入有放置槽，所述晶圆盒后端中部贯穿有通槽。
[0009]进一步的，所述固定机构包括第二旋钮、第二螺纹杆和活动夹，所述第二旋钮前端中部与第二螺纹杆相连接，所述第二螺纹杆与活动夹后端中部螺纹配合，所述第二螺纹杆沿着滑槽内径表面滑动配合。
[0010]进一步的，所述第一旋钮外部设置有橡胶套，并且橡胶套表面设置有防滑纹。
[0011]进一步的，所述滑槽和固定机构设置有两组，并且呈平行相对状分布。
[0012]进一步的，所述固定夹内侧中部设置有夹槽，并且夹槽内径表面呈光滑状。
[0013]进一步的，所述横杆前端中部设置有限位槽，并且限位槽内径表面与活动夹进行滑动配合。
[0014]进一步的，所述活动夹内侧中部设置有夹槽，并且夹槽内径表面呈光滑状。
[0015]进一步的，所述底板材质为PVC塑料。
[0016]进一步的，所述第一螺纹杆采用不锈钢材质。
[0017](三)有益效果
[0018]与现有技术相比，本技术提供了一种承载晶圆的防翘曲装置，具备以下有益效果：
[0019]优点一：通过将调节定位装置设置于通槽内侧中部，便可通过第一旋钮带动第一螺纹杆在螺纹座上进行转动，使得连接座上的固定夹沿着限位座进行前后滑动，实现对固定的直径距离进行调节，再对活动夹沿着横杆上的滑槽上进行左右滑动，并且通过第二旋钮带动第二螺纹杆进行螺纹固定，实现对固定的左右间距进行调节，便于调节，固定性强。
[0020]优点二：通过横杆前端中部设置有限位槽，并且限位槽内径表面与活动夹进行滑动配合，便于进行限位滑动，保证滑动的稳定性。
附图说明
[0021]图1为本技术的结构示意图；
[0022]图2为本技术调节定位装置的结构示意图；
[0023]图3为本技术调节定位装置俯视的结构示意图；
[0024]图4为本技术调节定位装置左视的结构示意图；
[0025]图5为本技术固定机构的结构示意图。
[0026]图中：晶圆盒-1、凹槽-2、放置槽-3、底板-4、通槽-5、调节定位装置-6、第一旋钮-61、第一螺纹杆-62、螺纹座-63、限位座-64、连接座-65、横杆-66、固定夹-67、滑槽-68、固定机构-69、第二旋钮-691、第二螺纹杆-692、活动夹-693。
具体实施方式
[0027]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0028]请参阅图1，本技术提供一种承载晶圆的防翘曲装置：包括晶圆盒1、凹槽2、放置槽3、底板4、通槽5和调节定位装置6。晶圆盒1顶端中部嵌入有凹槽2。凹槽2内侧左右两端嵌入有放置槽3，便于进行辅助放置。晶圆盒1后端中部贯穿有通槽5。调节定位装置6设置于通槽5内侧中部。
[0029]请参考图2，调节定位装置6包括第一旋钮61、第一螺纹杆62、螺纹座63、限位座64、连接座65、横杆66、固定夹67、滑槽68和固定机构69。第一旋钮61前端中部与第一螺纹杆62相连接，便于进行受力转动。第一螺纹杆62外径表面与螺纹座63螺纹配合。螺纹座63与限位座64顶部后端相互固定，第一螺纹杆62外侧前端与连接座65转动配合，便于进行固定转动。连接座65与横杆66后端中部紧密固定，横杆66前端中部通过螺栓与固定夹67锁紧固定。横杆66左右两端内中部穿设有滑槽68，滑槽68内侧中部设置有固定机构69，便于进行滑动调节。
[0030]结合参考图1和图2，螺纹座63与通槽5内侧中部相互固定。
[0031]请参考图2和图3，其中，所述固定机构69包括第二旋钮691、第二螺纹杆692和活动夹693，所述第二旋钮691前端中部与第二螺纹杆692相连接，便于进行受力转动，所述第二螺纹杆692与活动夹693后端中部螺纹配合，所述第二螺纹杆692沿着滑槽68内径表面滑动配合。
[0032]图4显示了调节定位装置6的侧面示意图，显示了螺纹座63与限位座64顶部后端相互固定。
[0033]其中，所述第一旋钮61外部设置有橡胶套，并且橡胶套表面设置有防滑纹(具有相应凹槽，如图2至图5中所示)，避免使用时造成手滑。
[0034]其中，所述滑槽68和固定机构69设置有两组，并且呈平行相对状分布，保证固定的范围，如图2中所示，并且，两组滑槽68和固定机构69分别设置在固定夹67两侧。
[0035]其中，所述固定夹67内侧中部设置有夹槽(未标注，可参考图2)，并且夹槽内径表面呈光滑状，便于进行插入定位。
[0036]其中，所述横杆66前端中部设置有限位槽(未标注，可参考图5)，并且限位槽内径表面与活动夹693进行滑动配合，便于进行限位滑动。
[0037]其中，所述活动夹693内侧中部设置有夹槽，并且夹槽内径表面呈光滑状，便于进行插入定位。
[0038]其中，所述底板本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种承载晶圆的防翘曲装置，包括晶圆盒(1)、凹槽(2)和放置槽(3)，所述晶圆盒(1)顶端中部嵌入有凹槽(2)；其特征在于：还包括调节定位装置(6)，所述调节定位装置(6)设置于通槽(5)内侧中部，所述调节定位装置(6)包括第一旋钮(61)、第一螺纹杆(62)、螺纹座(63)、限位座(64)、连接座(65)、横杆(66)、固定夹(67)、滑槽(68)和固定机构(69)，所述第一旋钮(61)前端中部与所述第一螺纹杆(62)相连接，所述第一螺纹杆(62)外径表面与所述螺纹座(63)螺纹配合，所述螺纹座(63)与所述限位座(64)顶部后端相互固定，所述第一螺纹杆(62)外侧前端与所述连接座(65)转动配合，所述连接座(65)与所述横杆(66)后端中部紧密固定，所述横杆(66)前端中部通过螺栓与所述固定夹(67)锁紧固定，所述横杆(66)左右两端内中部穿设有所述滑槽(68)，所述滑槽(68)内侧中部设置有所述固定机构(69)。2.根据权利要求1所述的一种承载晶圆的防翘曲装置，其特征在于：所述螺纹座(63)与所述通槽(5)内侧中部相互固定。3.根据权利要求2所述的一种承载晶圆的防翘曲装置，其特征在于：所述凹槽(2)内侧左右两端嵌入有放置槽(3)，所述晶圆盒(1)后端中部贯穿...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐权锋，
申请(专利权)人：芯米厦门半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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