保管架制造技术

保管架(1)具备主体框架(10)和经由弹性体(9)安装于主体框架(10)的搁板(20)，用于对收纳被收纳物的FOUP进行保管，其中，该保管架(1)具备：供给喷嘴(31)，该供给喷嘴设置于搁板(20)，向FOUP供给气体；和供给管(33)，该供给管(33)具有与供给喷嘴(31)连通的一端(33a)和与主管(50)连通的另一端(33b)，该主管(50)支承于主体框架(10)，并且与向FOUP供给的气体的供给源连接。供给管(33)在从一端(33a)到另一端(33b)之间的至少一部分具备具有挠性的挠性部。部。部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】保管架


[0001]本专利技术的一个方面涉及保管架。

技术介绍

[0002]公知有保管架，该保管架保管对在半导体制造装置或液晶制造装置等中被处理的晶圆进行收容的FOUP(前开式晶圆传送盒，Front-Opening Unified Pod)和对半导体制造装置或液晶制造装置等中使用的标线片进行收容的标线片盒等容器。保管架以从空中搬送车的轨道或天花板等被支承部悬挂的状态设置，或以立设于地面的状态设置。在这样的保管架中，有时由于空中搬送车或地上搬送车的行驶而传递振动。例如，在专利文献1中公开有一种保管架，该保管架具备载置容器的搁板(载置部)和支承该搁板的主体框架(框部)，上述搁板经由弹性体支承于主体框架。在该保管架中，能够降低向搁板传递的振动的影响。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本专利第6061020号公报

技术实现思路

[0006]为了维持被收纳物的清洁度，存在想要在上述的保管架设置向容器供给非活性气体或清洁干燥空气等吹扫气体的吹扫设备的情况。然而，在将吹扫设备设置于搁板的情况下，搁板的防振有可能被向容器供给吹扫气体的供给管阻碍，或有可能经由供给管向搁板传递振动。
[0007]因此，本专利技术的一个方面的目的在于提供一种即使是在搁板设置有吹扫设备的情况下、也能够抑制振动向容器传递的保管架。
[0008]本专利技术的一个方面的保管架具备主体框架和经由弹性体安装于主体框架的搁板，用于对收纳被收纳物的容器进行保管，其中，该保管架具备：供给喷嘴，该供给喷嘴设置于搁板，向容器供给气体；和供给管，该供给管具有与供给喷嘴连通的一端和与主管连通的另一端，该主管由与搁板分体的支承部支承，并且与向容器供给的气体的供给源连接，供给管在从一端到另一端之间的至少一部分具备具有挠性的挠性部。
[0009]在该结构的保管架中，与设置于搁板的供给喷嘴连接的供给管的全长方向上的至少一部分具有挠性。由此，供给管能够容许搁板与主体框架之间的相对的移动，因此，能够抑制搁板的防振被阻碍或振动经由供给管向搁板传递。其结果，即使是在吹扫设备设置于搁板的情况下，也能够抑制振动向容器传递。
[0010]在本专利技术的一个方面的保管架中，也可以是，支承部是主体框架。由此，即使是主管固定于主体框架的结构的保管架，也能够抑制振动向容器传递。
[0011]在本专利技术的一个方面的保管架中，也可以是，搁板在俯视时具有矩形形状，供给喷嘴配置于搁板的一个角部，供给管的另一端配置于搁板的相当于一个角部的对角的另一角部。在该结构中，一端和另一端的位置在与搁板的一边平行的第一方向和平行于与该一边
正交的边的第二方向这两个方向上彼此错开，因此，能够使基座部件与搁板之间的第一方向和第二方向上的相对的移动变容易。
[0012]在本专利技术的一个方面的保管架中，也可以是，供给管的一端的轴向与另一端的轴向彼此正交，并且，在一端与另一端之间具有曲线部。在该结构中，供给管能够使搁板在第一方向和第二方向中的任一方向上的移动都更加容易。
[0013]在本专利技术的一个方面的保管架中，也可以是，所述供给管沿着水平方向配置，具有曲线部。在该结构中，即使是在主体框架与经由弹性体配置于主体框架上方的搁板之间的间隔较窄的情况下，也能够将供给管配置于主体框架与搁板之间。换言之，能够抑制保管架的铅垂方向上的尺寸增大。
[0014]在本专利技术的一个方面的保管架中，也可以是，还具备过滤器，该过滤器支承于主体框架，并且设置于主管与供给管的另一端之间。在该结构中，能够在向供给管供给气体的最终端处净化气体，因此，能够向容器供给更优质的气体。
[0015]专利技术效果
[0016]根据本专利技术的一个方面，即使是在吹扫设备设置于搁板的情况下，也能够抑制振动向容器传递。
附图说明
[0017]图1是表示一实施方式的保管架的立体图。
[0018]图2是表示从斜上方观察搁板时的立体图。
[0019]图3是表示从斜下方观察搁板时的立体图。
[0020]图4是表示从上方观察搁板时的俯视图。
[0021]图5是从上方观察变形例1的搁板时的俯视图。
[0022]图6是从上方观察变形例2的搁板时的俯视图。
具体实施方式
[0023]以下，参照附图详细地说明本专利技术的一个方面的优选的一实施方式。此外，在附图的说明中，对同一要素标注同一附图标记，并省略重复的说明。“X方向”、“Y方向”以及“Z方向”这些用语基于图示的方向，是为了方便说明。图2和图4使搁板20透明化而示出，图3使基座部件7透明化而示出。
[0024]图1所示的保管架1例如设置于半导体制造工厂的半导体搬送系统。保管架1暂时保管标线片盒或FOUP(未图示)等容器(被收纳物)。保管架1具备主体框架10、搁板20、主管50以及吹扫设备30。主体框架10经由弹性体9支承搁板20。在弹性体9的例子中包含橡胶材料、硅胶材料、聚氨酯凝胶以及金属弹簧等。主体框架10具有悬挂部件3a～3d、连结部件5a、5b以及基座部件7。
[0025]悬挂部件3a～3d是在上下方向(Z方向)上延伸的柱部件，设置有多根(在本实施方式中是四根)。悬挂部件3a～3d以在X方向和Y方向上隔开规定间隔的方式相对配置。悬挂部件3a～3d安装于空中搬送车的轨道、支承该轨道的支承部件、以及天花板中的任一个。在悬挂部件3a、3b的下端侧横架有在X方向上延伸的围栏部件6。在悬挂部件3c、3d的下端侧横架有在X方向上延伸的围栏部件6。围栏部件6、6防止FOUP的落下。此外，在图1中，为了方便说
明，省略了横架于悬挂部件3a、3b的围栏部件一方的图示。
[0026]连结部件5a是在Y方向上延伸的部件，连结悬挂部件3a的下端部和悬挂部件3c的下端部。连结部件5b是在Y方向上延伸的部件，连结悬挂部件3b的下端部和悬挂部件3d的下端部。基座部件7是在X方向上延伸的板状部件，架设于多个连结部件5a、5b。
[0027]搁板20是在从Z方向观察的俯视时呈大致矩形形状的板状部件，供FOUP载置。搁板20由配置在基座部件7的上表面7a的弹性体9支承。搁板20具有供FOUP载置的载置面21a和与载置面21a相反的一侧的下表面21b(参照图2)。在搁板20设置有销P1、P2、P3和在后段中详细论述的供给喷嘴31。销P1～P3从搁板20的载置面21a向上方突出。销P1～P3配置于与设置在FOUP底部的定位孔(未图示)相对应的位置。另外，在搁板20的载置面21a设置有负载传感器SW。
[0028]主管50与向吹扫设备30供给的气体的供给源连接。向吹扫设备30供给的气体的例子包含氮气和干燥空气等。主管50是由不锈钢等金属或氟树脂等树脂形成的管部件。主管50由固定于基座部件7的配管支承托架11支承。主管50具有分支部51。在分支部51连接有构成吹扫设备30的第二配管41。
[0029]如图2～图4所示，吹扫设备30具有供给喷嘴31、供给管33、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种保管架，其具备主体框架和经由弹性体安装于所述主体框架的搁板，用于对收纳被收纳物的容器进行保管，其中，该保管架具备：供给喷嘴，该供给喷嘴设置于所述搁板，向所述容器供给气体；和供给管，该供给管具有与所述供给喷嘴连通的一端和与主管连通的另一端，该主管由与所述搁板分体的支承部支承，并且与向所述容器供给的气体的供给源连接，所述供给管在从所述一端到所述另一端之间的至少一部分具备具有挠性的挠性部。2.根据权利要求1所述的保管架，其中，所述支承部是所述主体框架。3.根据权利要求1或2所述的保管架，其中，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：椿达雄，大西真司，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：