显示装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种显示装置及其制造方法，用于提高与通孔有关的制造成品率。该显示装置，具有设置在基板上的第１导电层和在上述第１导电层上间隔２层或２层以上的绝缘膜设置的第２导电层，上述第１导电层和上述第２导电层用通孔连接着，其中，在上述通孔部，上述２层或２层以上的绝缘膜中的配置在上述第１导电层侧的绝缘膜的开口侧面，具有由上述２层或２层以上的绝缘膜中的配置在上述第２导电层侧的绝缘膜覆盖的部分和露出的部分。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
通孔一直被用于各种电设备中。作为一个例子，在显示装置中，被用于TFT的源极电极和像素电极的连接部。该源极电极和像素电极之间形成有1层或2层以上的绝缘膜，由形成于该绝缘膜的通孔连接着像素电极和源极电极(例如，参照专利文献1)。在上述专利文献1中，公开了形成了2层绝缘膜的情况，分别是在通孔部上层绝缘膜的开口比下层绝缘膜的开口小的情况(参照专利文献1的图8)、和上层绝缘膜的开口比下层绝缘膜的开口大的情况(参照专利文献1的图3)。形成2层上述绝缘膜，具有能提高绝缘层下层和上层的绝缘性的优点，在寄生电容降低带来画质提高、短路故障减少这些方面是有效的。专利文献1日本特开平11-326949号公报。
技术实现思路
但是，已经明确了在通孔部具有多层绝缘膜的结构中，有成品率不能提高的情况。本专利技术人研究了其原因，结果如下。(A)专利文献1的图3那样的、在通孔部上层绝缘膜的开口比下层绝缘膜的开口大的情况，结构上在通孔的侧面产生台阶或棱。由此，上述像素电极由于上述台阶或棱而容易断线，从而成为成品率降低的原因。(B)专利文献1的图8那样的、在开口部上层绝缘膜的开口比下层绝缘膜的开口小的情况，通孔侧面由于只露出上层绝缘膜，台阶和棱减少，能够抑制成品率降低。但是，当采用该专利文献1的图8的结构时，尽管结构上能实现源极电极和像素电极的接触，但电连接不充分，经常发生点缺陷。由此，可以发现，无论是哪种结构，即使短路故障减少，也会产生新的成品率下降的因素。本专利技术的目的在于，提供具有穿过2层或2层以上的绝缘膜所形成的通孔部、同时改善成品率的技术。本专利技术的上述及其它目的和新的特征根据本说明书的记述和附图来明确。说明在本专利技术中公开的专利技术的概略如下。(1)一种显示装置，具有设置在基板上的第1导电层、和在上述第1导电层上隔着2层或2层以上的绝缘膜设置的第2导电层，上述第1导电层和第2导电层由通孔连接着，其中，在上述通孔处，上述2层或2层以上的绝缘膜中的配置在上述第1导电层侧的绝缘膜的开口侧面，具有由上述2层或2层以上的绝缘膜中的配置在上述第2导电层侧的绝缘膜覆盖的部分和露出的部分。(2)上述(1)中所记载的显示装置，配置在上述第1导电层侧的绝缘膜的开口底面的外围与配置在上述第2导电层侧的绝缘膜的外围交叉。(3)上述(1)或(2)中所记载的显示装置，上述基板是具有多个像素的基板，上述第2导电层是像素电极。(4)上述(1)至(3)的任意一个中所记载的显示装置，配置在上述第1导电层侧的绝缘膜和配置在上述第2导电层侧的绝缘膜是不同的材料。(5)上述(4)中所记载的显示装置，配置在上述第1导电层侧的绝缘膜是无机绝缘膜，配置在上述第2导电层侧的绝缘膜是有机绝缘膜。(6)一种显示装置的制造方法，包括在形成于基板上的第1导电层上形成绝缘膜的步骤，和在上述绝缘膜上形成第2导电层、用上述绝缘膜的开口部连接上述第1导电层和第2导电层的步骤，其中，形成上述绝缘膜的步骤包括在上述第1导电层上形成具有第1开口部的第1绝缘膜的步骤，和在上述第1绝缘膜上形成第2绝缘膜并使该第2绝缘膜具有第2开口部，使得具有覆盖上述第1开口部的侧面的部分和露出上述第1开口部的侧面的部分的步骤。(7)上述(6)所记载的显示装置的制造方法，上述第1开口部用干蚀刻形成。(8)上述(7)中所记载的显示装置的制造方法，形成具有第2开口部的上述第2绝缘膜的步骤，包括涂敷或印刷第2绝缘膜的材料的步骤和其后形成开口的步骤。在上述通孔部具有2层绝缘膜的情况，在下层绝缘膜之下的导电层，在上述第1绝缘膜的蚀刻时和第2绝缘膜的蚀刻时，两次受到蚀刻造成的损伤，这导致表面粗糙，变质。因此，连接电阻增加。所以，在具有多层绝缘膜的结构中，与单层绝缘膜的情况相比，本质上容易发生连接故障。专利技术人研究了绝缘膜蚀刻时的动作，结果，明确了在进行蚀刻的同时绝缘膜的侧面后退，即在蚀刻过程中通孔的形状慢慢地扩大。因此，发现了通孔的外围部实质上受到蚀刻的时间变短，在通孔最外围部，由蚀刻造成的导电层的损伤降低。并且发现，用该外围部使上层导电层和下层导电层接触对降低接触电阻是有效的。以该结果的基础上研究上述(A)、 (B)的结构如下。首先，在(A)的结构中，下层的绝缘层通孔的最外围部可以用作接点，因此能够消除由连接电阻增加造成的连接故障的发生。但是，容易发生由断线造成的连接故障。另外，在(B)的结构中，下层绝缘层通孔的最外围部不能用作接点，因此容易发生由连接电阻增加造成的连接故障。但是能够消除由断线造成的连接故障。所以，无论是(A)、(B)中的哪一个，都具有成品率下降的因素。通过阐明这样的发生原因，本专利技术实现了消除成品率下降的因素。即，本专利技术的显示装置，如上述方案(1)，上述第1导电层侧的第1绝缘膜的开口侧面的一部分在通孔露出，其余的部分处于被上述第2导电层侧的第2绝缘膜覆盖着的状态。由此，能实现用外围部的接触，同时防止在通孔部的第2导电层的断线。实现了在结构上消除成品率下降的因素。如果用其它表述就是，如上述方案(2)，上述第1绝缘膜的开口底面的外围和上述第2绝缘膜的开口底面的外围交叉。在这样的显示装置中，在用通孔连接上述第1导电层和第2导电层时，例如，使用如上述方案(6)的制造方法连接。此时，上述第1层的绝缘膜的开口，例如，如上述方案(7)那样用干蚀刻形成，因此，在上述第1层的绝缘膜的开口底面露出的第1导电层的表面粗糙。但是，上述第1布线的露出面的外围部表面的粗糙比较少。所以，通过使上述表面的粗糙少的外围部部分地露出，能够抑制上述第1导电层和第2导电层的连接故障、接触电阻的上升。另外，用干蚀刻将上述第1绝缘膜开口的情况，在开口侧面产生棱。但是，例如，如果通过如上述方案(8)那样涂敷或印刷形成上述第2绝缘膜，能得到覆盖上述第1绝缘膜的平滑的开口侧面。所以，能够减少由上述第1绝缘膜的棱造成上述第2导电层断线的可能性。另外，上述第2导电层例如是如上述方案(4)那样的像素电极，上述第1导电层例如是TFT元件的源极电极。以下，参照附图，与实施方式(实施例)一起详细说明本专利技术。另外，在用于说明实施例的所有附图中，具有相同功能的部分标注相同符号，省略对其的重复说明。附图说明图1是表示显示面板的大致结构的俯视图。图2是表示显示面板的大致结构的示意图，是图1的A-A’线剖视图。图3是表示本专利技术的一个实施例的显示面板的大致结构的示意图，是表示像素结构例的俯视图。图4是图3的B-B’线剖视图。图5是图3的区域L1部的说明图。图6是图5的C-C’线剖视图。图7是图5的D-D’线剖视图。图8是表示本专利技术的一个实施例的大致结构的示意俯视图。图9是图8的E-E’线的剖视说明图。图10是图8的F-F’线的剖视说明图。图11是用于说明本专利技术的显示面板的制造方法的示意图，将第2绝缘膜开口的步骤的俯视说明图。图12是图11的G-G’线剖视图。图13是用于说明本专利技术的显示面板的制造方法的示意图，是形成第3绝缘膜的步骤的俯视说明图。图14是图13的H-H’线剖视图。图15是图13的J-J’线剖视图。图16是本专利技术的通孔形状的一个例子。具体实施例方式在本专利技术中，在下层的导电层和上层的导电层之间具有多层绝缘膜、用通孔连接下层和上层的导电层的电设备中谋求成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示装置，具有设置在基板上的第１导电层、和在上述第１导电层上隔着２层或２层以上的绝缘膜设置的第２导电层，上述第１导电层和上述第２导电层由通孔连接着，上述显示装置的特征在于：在上述通孔处，上述２层或２层以上的绝缘膜中的配置在上述第１导电层侧的绝缘膜的开口侧面，具有由上述２层或２层以上的绝缘膜中的配置在上述第２导电层侧的绝缘膜覆盖的部分和露出的部分。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：芦泽启一郎，笠井勉，平田将史，
申请(专利权)人：株式会社日立显示器，
类型：发明
国别省市：JP[日本]