一种用于安装定位单口晶片的托盘结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于安装定位单口晶片的托盘结构，包括托盘本体及与托盘本体相配合用于压住晶片的上盖，所述托盘本体上间隔设置有一组用于放置单口晶片的载片台，所述载片台的外圈上设置有与单口晶片相适配的凹口，所述载片台的外围还设置有环形凹槽，所述环形凹槽内设置有可上下浮动的定位凸台，所述定位凸台上设置有与凹口相适配的凸起。本实用新型专利技术能够实现单口晶片的快速安装定位，结构简单，效率高，可广泛应用于单口晶片刻蚀时的安装定位领域。

【技术实现步骤摘要】
一种用于安装定位单口晶片的托盘结构
本技术涉及蓝宝石图形化衬底加工
，尤其是涉及一种用于安装定位单口晶片的托盘结构。
技术介绍
目前由于5G时代的到来，因其超高速率、超低延时、超高密度等优势，给超高清显示带来特别的发展机遇。在综合LCD、OLED、Mini/Micro-LED各方面性能时，Mini/Micro-LED在低能耗、高亮度、高分辨率等方面具有显著优势，也被称为终极显示技术，是目前LED行业发展最主要方向。所以行业内很多企业纷纷布局Mini/Micro-LED相关产业，正因如此，使得LED产业链中上游图形化蓝宝石衬底(简称PSS)显得尤其关键。传统PSS在尺寸上显然无法和Micro-LED芯片尺寸大小匹配，随之而来PSS尺寸向更微小化迈进，且Micro-LED在芯片转移时数量巨大，所以PSS一致性要求是其主要挑战，目前比较好的方案为采用800微米厚度的单个缺口的晶片，在其表面刻蚀出超高均匀性的纳米级蒙古包图形，实现超高的外延一致性。目前PSS所使用的托盘为铝材质，将蓝宝石晶片安装到托盘上一般借助摆片工装的方式，先把摆片工装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于安装定位单口晶片的托盘结构，包括托盘本体(1)及与托盘本体(1)相配合用于压住晶片的上盖(2)，其特征在于：所述托盘本体(1)上间隔设置有一组用于放置单口晶片的载片台(3)，所述载片台(3)的外圈上设置有与单口晶片相适配的凹口(301)，所述载片台(3)的外围还设置有环形凹槽(4)，所述环形凹槽(4)内设置有可上下浮动的定位凸台(5)，所述定位凸台(5)上设置有与凹口(301)相适配的凸起(501)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于安装定位单口晶片的托盘结构，包括托盘本体(1)及与托盘本体(1)相配合用于压住晶片的上盖(2)，其特征在于：所述托盘本体(1)上间隔设置有一组用于放置单口晶片的载片台(3)，所述载片台(3)的外圈上设置有与单口晶片相适配的凹口(301)，所述载片台(3)的外围还设置有环形凹槽(4)，所述环形凹槽(4)内设置有可上下浮动的定位凸台(5)，所述定位凸台(5)上设置有与凹口(301)相适配的凸起(501)。


2.如权利要求1所述的用于安装定位单口晶片的托盘结构，其特征在于：所述定位凸台(5)包括环状本体(502)和设置在环状本体(502)外壁上的一组支脚(503)，所述支脚(503)包括与环状本体(502)连接的连接杆(5031)和设置在连接杆(5031)上的限位柱(5032)，所述托盘本体(1)上设置有与限位柱(5032)相适配的定位孔(101)，所述连接杆(5031)与托盘本体(1)间设置有复位弹簧(6)。


3.如权利要求1所述的用于安装定...

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，李昌勋，徐良，刘建哲，朱伟明，
申请(专利权)人：黄山博蓝特半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34