本实用新型专利技术公开了一种刻蚀机抽气尾管免拆洗装置，包括与刻蚀机连接的干泵，洗涤塔，连接干泵和洗涤塔的抽气尾管；所述抽气尾管的一端连接设置有清洗进水管，另一端连接设置有清洗出水管；还设置有清洗水槽，所述清洗进水管和清洗出水管的另一端连接至清洗水槽，所述清洗进水管上设置有循环水泵，清洗进水管上设置有进水控制阀，清洗出水管上设置有出水控制阀。本实用新型专利技术能够在不拆卸的情况下快速对抽气尾管进行清洗，节省人工成本，降低清洗的费用，可广泛应用于刻蚀机抽气尾管清洗领域。可广泛应用于刻蚀机抽气尾管清洗领域。可广泛应用于刻蚀机抽气尾管清洗领域。
【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀机抽气尾管免拆洗装置
[0001]本技术涉及刻蚀机抽气尾管清洗
，尤其是涉及一种刻蚀机抽气尾管免拆洗装置。
技术介绍
[0002]在晶片生产加工中，刻蚀机用于对晶片进行刻蚀，刻蚀机刻蚀完成后的刻蚀气体通过干泵抽取，再由抽气尾管连接至洗涤塔，对刻蚀气体进行处理后排出。抽气尾管在使用一段时间后，刻蚀过程中产生的生成物会沉积在抽气尾管内，造成抽气尾管堵塞。因此，需要定期对抽气尾管进行清理。现有的抽气尾管需要从干泵和洗涤塔上拆卸下来，放在水槽中浸泡一段时间后，再通过人工冲洗使生成物脱落，该方法需要停机拆卸，且需要投入一定的人力，清理时间长，人工成本高。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是提供一种刻蚀机抽气尾管免拆洗装置，解决现有抽气尾管清洗效率低，人工成本高的问题。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种刻蚀机抽气尾管免拆洗装置，包括与刻蚀机连接的干泵，洗涤塔，连接干泵和洗涤塔的抽气尾管；所述抽气尾管的一端连接设置有清洗进水管，另一端连接设置有清洗出水管；还设置有清洗水槽，所述清洗进水管和清洗出水管的另一端连接至清洗水槽，所述清洗进水管上设置有循环水泵，清洗进水管上设置有进水控制阀，清洗出水管上设置有出水控制阀。
[0005]为加快抽气尾管管壁内的生成物溶解，所述清洗水槽内还设置有加热棒，对清洗水槽内的水进行加热。
[0006]为方便更换清洗水槽内的水，所述清洗水槽的底部设置有排水管，排水管上设置有排水阀门。
[0007]为方便对清洗后的抽气尾管进行干燥，所述抽气尾管位于清洗进水管的一端还连接设置有烘干气体管路。
[0008]优选的，所述抽气尾管位于清洗进水管的一端设置有四通阀，四通阀的四个端口分别与干泵、抽气尾管、清洗进水管和烘干气体管路连接；所述出水控制阀为设置在抽气尾管端部的三通阀，三通阀的三个端口分别与洗涤塔、抽气尾管和清洗出水管连接。
[0009]本技术的有益效果：本技术通过在抽气尾管的两端加装清洗进水管和清洗出水管，并与清洗水槽连接，然后通过进水控制阀和出水控制阀控制管路的通断，从而使得在不拆卸抽气尾管的情况下对抽气尾管进行清洗，提高清洗的便利性。同时，所述清洗水槽内设置加热棒，可对清洗水槽内的水进行升温，从而提高抽气尾管内生成物的溶解速度，加速清洗的速度，能够有效缩短清洗的时间，提高清洗的效率。在抽气尾管的一端增加烘干气体管路，当清洗完成后，可以通过烘干气体管路对抽气尾管进行吹气烘干，保证管壁的干燥。
[0010]以下将结合附图和实施例，对本技术进行较为详细的说明。
附图说明
[0011]图1为本技术实施例1的结构示意图。
[0012]图2为本技术实施例2的结构示意图。
具体实施方式
[0013]实施例1：如图1所示，一种刻蚀机抽气尾管免拆洗装置，可实现抽气尾管3不拆除的情况下定期对抽气尾管3进行清洗，现有抽气尾管3一端连接着刻蚀机上的干泵1，另一端连接着洗涤塔2，刻蚀机刻蚀产生的废气通过干泵1排出后经抽气尾管3输送至洗涤塔2，经过洗涤塔2处理后排出外界。本技术在现有结构上进行改进，从而方便抽气尾管3在不拆卸的情况下能够完成清洗。更改调整结构如下：
[0014]增加一个清洗水槽6，清洗水槽6的一端设置一根清洗进水管4，另一端设置一根清洗出水管5。然后将抽气尾管3的一端与清洗进水管4连接，另一端与清洗出水管5连接。同时在清洗进水管4上设置进水控制阀8，清洗出水管5上设置出水控制阀9，以控制清洗管路的通断。所述进水控制阀8为设置在抽气尾管3一端的三通阀，进水控制阀8的三个端口分别与干泵1、抽气尾管3和清洗进水管4对接，通过进水控制阀8控制管路间的通断。所述出水控制阀9为设置在抽气尾管3端部的三通阀，出水控制阀9的三个端口分别与洗涤塔2、抽气尾管3和清洗出水管5连接，通过出水控制阀9控制管路间的通断。所述清洗进水管4上还设置有循环水泵7。
[0015]当需要对抽气尾管3进行清洗时，进水控制阀8打开抽气尾管3与清洗进水管4间的通道，关闭抽气尾管3与干泵1间的通道，出水控制阀9打开抽气尾管3与清洗出水管5间的通道，关闭抽气尾管3与洗涤塔2间的通道，启动循环水泵7，对抽气尾管3持续进行冲洗。冲洗完成后，关闭循环水泵7，调整进水控制阀8和出水控制阀9，使抽气尾管3的两端分别与干泵1、洗涤塔2连通，关闭抽气尾管3与清洗进水管4、清洗出水管5间的通路，即可对刻蚀机产生的废气进行排放处理。整个清洗过程不需要对抽气尾管3进行拆装，操作简单方便。为加速抽气尾管3内生成物的溶解，提高清洗的速度，所述清洗水槽6内还设置有加热棒10，通过加热棒10对清洗水槽6内的水进行加温，加速生成物的溶解。
[0016]为及时将清洗后清洗水槽6内的废水排出，添加新的清洗用水，所述清洗水槽6的底部设置有排水管11，排水管11上设置有排水阀门12，还可以根据需要增设排水泵14，保证清洗水槽6的水排尽。
[0017]实施例2：如图2所示，一种刻蚀机抽气尾管免拆洗装置，包括抽气尾管3，抽气尾管3一端连接着刻蚀机上的干泵1，另一端连接着洗涤塔2。还设置有清洗水槽6，清洗水槽6的一端设置一根清洗进水管4，另一端设置一根清洗出水管5。同时在清洗进水管4上设置进水控制阀8，清洗出水管5上设置出水控制阀9，以控制清洗管路的通断。同时，在清洗进水管5的一端设置烘干气体管路13，所述进水控制阀8为设置在抽气尾管3一端的四通阀，进水控制阀8的四个端口分别与干泵1、抽气尾管3、清洗进水管4和烘干气体管路13对接，通过进水控制阀8控制管路间的通断。所述出水控制阀9为设置在抽气尾管3端部的三通阀，出水控制阀9的三个端口分别与洗涤塔2、抽气尾管3和清洗出水管5连接，通过出水控制阀9控制管路
间的通断。所述清洗进水管4上还设置有循环水泵7。
[0018]当需要对抽气尾管3进行清洗时，进水控制阀8打开抽气尾管3与清洗进水管4间的通道，关闭抽气尾管3与干泵1、烘干气体管路13间的通道，出水控制阀9打开抽气尾管3与清洗出水管5间的通道，关闭抽气尾管3与洗涤塔2间的通道，启动循环水泵7，对抽气尾管3持续进行冲洗。冲洗完成后，关闭循环水泵7，调整进水控制阀8和出水控制阀9，使抽气尾管3的一端与烘干气体管路13连通，另一端与洗涤塔2连通，关闭抽气尾管3与清洗进水管4、干泵1及清洗出水管5间的通路，通过烘干气体管路13的气体对抽气尾管3进行吹气干燥，烘干气体通过洗涤塔2排出。所述烘干气体管路13可以与厂区内现有的气源对接，也可以单独设置一个气泵或者热风装置。对抽气尾管3干燥完成后，调整进水控制阀8，使抽气尾管3与干泵1连通，即可对刻蚀机产生的废气进行排放处理。其他同实施例1。
[0019]以上结合附图对本技术进行了示例性描述。显然，本技术具体实现并不受上述方式的限制。只要是采用了本技术的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进；或未经改进，将本技术的上述构思和技术方案直接应本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种刻蚀机抽气尾管免拆洗装置，包括与刻蚀机连接的干泵(1)，洗涤塔(2)，连接干泵(1)和洗涤塔(2)的抽气尾管(3)；其特征在于：所述抽气尾管(3)的一端连接设置有清洗进水管(4)，另一端连接设置有清洗出水管(5)；还设置有清洗水槽(6)，所述清洗进水管(4)和清洗出水管(5)的另一端连接至清洗水槽(6)，所述清洗进水管(4)上设置有循环水泵(7)，清洗进水管(4)上设置有进水控制阀(8)，清洗出水管(5)上设置有出水控制阀(9)。2.如权利要求1所述的刻蚀机抽气尾管免拆洗装置，其特征在于：所述清洗水槽(6)内还设置有加热棒(10)。3.如权利要求1所述的刻蚀机抽气尾管免拆洗装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈亮，冯晋荃，江虹，刘建哲，祝小林，徐良，
申请(专利权)人：黄山博蓝特半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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