一种刻蚀机真空度检测结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种刻蚀机真空度检测结构，包括刻蚀腔体，真空计，连接刻蚀腔体与真空计的检测管路；所述检测管路上设置有冷却器，所述冷却器的一端设置有进气口，另一端设置有出气口，所述进气口和出气口不在同一水平线上，所述冷却器的外侧设置有冷却水套，冷却水套上设置有冷却进水口和冷却出水口；所述冷却器内在气体的流动路径上设置有一组隔离板。本实用新型专利技术通过在真空计前增加冷却器，使刻蚀气体提前在冷却器内凝积，从而保证真空计的灵敏度和提高使用寿命，可广泛应用于刻蚀机真空检测领域。检测领域。检测领域。

【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀机真空度检测结构


[0001]本技术涉及晶片加工
，尤其是涉及一种刻蚀机真空度检测结构。

技术介绍

[0002]刻蚀机是晶片加工中重要的加工设备，在加工过程中，晶圆置于刻蚀机内，并向刻蚀机腔体内不断添加刻蚀气体，实现对晶圆的刻蚀。所述刻蚀腔一端接真空泵进行抽真空，一端接刻蚀气体的气源，通过刻蚀气体对晶圆进行刻蚀。在刻蚀过程中，需要保证刻蚀气体的流速和刻蚀腔内的真空度，为方便检测刻蚀腔内的真空度，通常会通过管路外接一个真空计，以方便实时监测刻蚀腔内的真空度。在使用过程中发现，真空计内部在使用一段时间后，就会有刻蚀气体凝积，凝积物会影响真空计的灵敏度甚至造成真空计失效。研究发现，其主要原因在于，真空计设置在刻蚀腔外部并通过管路连通，真空计位置处的温度要低于刻蚀腔的温度，部分刻蚀气体遇冷发生冷凝，在真空计中凝积最终导致真空计测量产生误差。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种刻蚀机真空度检测结构，解决现有刻蚀气体易在真空计探测端凝积，造成真空计检测灵敏度下降的问题。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种刻蚀机真空度检测结构，包括刻蚀腔体，真空计，连接刻蚀腔体与真空计的检测管路；所述检测管路上设置有冷却器，所述冷却器的一端设置有进气口，另一端设置有出气口，所述进气口和出气口不在同一水平线上，所述冷却器的外侧设置有冷却水套，冷却水套上设置有冷却进水口和冷却出水口。
[0005]为方便气体冷却凝积，所述冷却器内在气体的流动路径上设置有一组隔离板。
[0006]为延长气体在冷却器内的停留时间，所述进气口连接设置有进气管，进气管的一端向冷却器内延伸且长度不小于冷却器长度的一半，另一端与检测管路对接；所述出气口上连接设置有出气管，出气管的一端向冷却器内延伸且长度不小于冷却器长度的一半，另一端与检测管路对接。
[0007]优选的，所述隔离板的面积小于冷却器内腔的截面积，且隔离板在冷却器内错位排布。
[0008]优选的，所述冷却器为圆管状结构。
[0009]为方便将冷却器拆下清洗，所述进气管和出气管可拆卸的安装在冷却器上。
[0010]优选的，所述检测管路位于刻蚀腔体与冷却器之间的管路上设置有控制气流通断的控制阀。
[0011]本技术的有益效果：本技术通过在检测管路上增加一个冷却器，使刻蚀气体在到达真空计前冷却并凝积在冷却器内，从而保证真空计探测端不会凝积刻蚀气体，以保证真空计的灵敏度和使用寿命。所述冷却器采用冷却水套，方便调整冷却器的温度。所
述隔离板能够延长刻蚀气体在冷却器内的停留时间，便于刻蚀气体凝积在隔离板上。所述进气管和出气管的位置布置，也是延长气体在冷却器内的流动时间，方便刻蚀气体凝积。所述进气管和出气管采用可拆卸的结构与冷却器连接，方便将冷却器定期拆卸下来清洗。
[0012]以下将结合附图和实施例，对本技术进行较为详细的说明。
附图说明
[0013]图1为本技术的立体结构示意图。
[0014]图2为本技术中冷却器内部结构的透视图。
具体实施方式
[0015]实施例，如图1、图2所示，一种刻蚀机真空度检测结构，包括刻蚀腔体1，刻蚀腔体1连接设置有检测管路3，检测管路3的末端设置有用于检测刻蚀腔体1内真空度的真空计2，真空计2的探测端装在检测管路3。为避免真空计2的探测端凝积刻蚀气体，所述检测管路3上设置有用于冷却刻蚀气体冷却器4，使刻蚀气体在进入真空计2之前在冷却器4内凝积，从而保证真空计2的灵敏度和延长使用寿命。同时，所述检测管路3位于刻蚀腔体1与冷却器4之间的管路上设置有控制气流通断的控制阀7，方便在冷却器4拆卸更换清洗时关闭检测管路3。
[0016]如图2所示，所述冷却器4的具体结构为：
[0017]所述冷却器4为圆管状结构，冷却器4的一端设置有进气口41，另一端设置有出气口42，所述进气口41和出气口42不在同一水平线上。所述进气口41连接设置有进气管43，进气管43的一端向冷却器4内延伸且长度不小于冷却器4长度的一半，另一端与检测管路3对接；所述出气口42上连接设置有出气管44，出气管44的一端向冷却器4内延伸且长度不小于冷却器4长度的一半，另一端与检测管路3对接。所述进气管43和出气管44可拆卸的安装在冷却器4上，具体可以采用螺纹配合安装在冷却器4上，也可以通过密封圈配合连接，进气管43和出气管44与检测管路3可以采用管接头连接或者其他常见的管路连接方式。
[0018]所述冷却器4的外侧设置有冷却水套5，冷却水套5上设置有冷却进水口51和冷却出水口52，通过冷却水套5对冷却器4内的气体进行冷却。
[0019]所述冷却器4内在气体的流动路径上设置有一组隔离板6。所述隔离板6的面积小于冷却器4内腔的截面积，且隔离板6在冷却器4内错位排布，本实施例采用错位布置的两块隔离板6结构。通过进气口41和出气口42位置的设计，进气管43和出气管44以及隔离板6的设计，能够延长刻蚀气体在冷却器4内的时间，保证刻蚀气体在冷却器4内提前完成冷却凝积，使真空计2不会有凝积物，保证真空计的灵敏度和提高使用寿命。当需要清洗冷却器4时，只需将进气管43和出气管44拆下，将冷却器放入水槽中，利用超声波振荡完成清洗。
[0020]以上结合附图对本技术进行了示例性描述。显然，本技术具体实现并不受上述方式的限制。只要是采用了本技术的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进；或未经改进，将本技术的上述构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种刻蚀机真空度检测结构，包括刻蚀腔体(1)，真空计(2)，连接刻蚀腔体(1)与真空计(2)的检测管路(3)；其特征在于：所述检测管路(3)上设置有冷却器(4)，所述冷却器(4)的一端设置有进气口(41)，另一端设置有出气口(42)，所述进气口(41)和出气口(42)不在同一水平线上，所述冷却器(4)的外侧设置有冷却水套(5)，冷却水套(5)上设置有冷却进水口(51)和冷却出水口(52)。2.如权利要求1所述的刻蚀机真空度检测结构，其特征在于：所述冷却器(4)内在气体的流动路径上设置有一组隔离板(6)。3.如权利要求2所述的刻蚀机真空度检测结构，其特征在于：所述进气口(41)连接设置有进气管(43)，进气管(43)的一端向冷却器(4)内延伸且长度不小于冷却器(4)长度的一半，另一...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈亮，冯晋荃，彭艳亮，汪剑，李强，刘建哲，祝小林，徐良，
申请(专利权)人：黄山博蓝特半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：