【技术实现步骤摘要】
一种涂胶机运行稳定性检测系统
[0001]本技术涉及晶片涂胶
，尤其是涉及一种涂胶机运行稳定性检测系统。
技术介绍
[0002]目前，晶圆片涂胶采用甩胶的方式，即将晶圆片放置在旋转部件上，在旋转部件的上方滴入胶液，胶液滴落到晶圆片上后在高速离心作用下，均匀的向四周扩散开，从而均匀的涂覆在晶圆片的表面。现有转动结构包括底部的驱动电机，由驱动电机带动的转动轴，设置在转动上方的晶圆片放置平台，晶圆片放置平台外围设置有胶液遮挡罩。晶圆片要求与晶圆片放置平台同心放置，才能保证设备运行的平稳性。当驱动电机出现故障或者晶圆片放置不在正中间时，均会导致胶液涂覆不均匀，从而使晶圆片变成废片，造成生产成本增高。因此，需要在涂胶前对驱动电机是否运行正常及晶圆片的位置是否合理进行检测，再实时涂胶，确保涂胶的均匀性，提高产品合格率。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是提供一种涂胶机运行稳定性检测系统，解决现有涂胶机在涂胶前设备是否运行稳定不能准确的获知，易导致涂胶不均匀的问题。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种涂胶机运行稳定性检测系统，包括驱动电机，由驱动电机带动的转动轴，设置在转动轴上的晶圆片放置平台，还设置有用于检测驱动电机振动频率的振动频率测试仪，所述振动频率测试仪连接设置有PLC控制器，PLC控制器通信连接设置有主显示屏及报警装置，PLC控制器接收振动频率测试仪的信号并传输给PLC控制器，同时控制报警装置工作。
[0005]为方便现场观测，所述振动频率测试仪上设置有用于显...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种涂胶机运行稳定性检测系统，包括驱动电机(1)，由驱动电机(1)带动的转动轴(2)，设置在转动轴(2)上的晶圆片放置平台(3)，其特征在于：还设置有用于检测驱动电机振动频率的振动频率测试仪(4)，所述振动频率测试仪(4)连接设置有PLC控制器(6)，PLC控制器(6)通信连接设置有主显示屏(7)及报警装置(8)，PLC控制器(6)接收振动频率测试仪(4)的信号并传输给PLC控...
【专利技术属性】
技术研发人员：李强，徐良，朱伟明，刘建哲，彭艳亮，汪剑，李昌勋，祝小林，
申请(专利权)人：黄山博蓝特半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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