【技术实现步骤摘要】
一种微流道散热器及其制备方法与应用
本公开涉及电子器件散热领域，具体提供一种微流道散热器及其制备方法与应用。
技术介绍
这里的陈述仅提供与本公开有关的背景信息，而不必然构成现有技术。随着科学技术的发展，电子设备的开发趋向于小型化、高速化，芯片已成为各种电子设备最重要的组成部分。随着设备或系统变得越来越小，系统内部的热通量不断增加，因此热管理对于确保大功率芯片和微冷却系统的性能和可靠性至关重要，也需要一种能用于微型设备的有效冷却方法。微流道散热器是解决超高热通量电子设备散热问题的先进技术之一。现有技术中提出了一种对称式的波纹结构微流道散热器，当冷却剂流经微流道时，会在流道中形成涡旋从而达到更好的换热效果。与矩形微流道散热器相比，总热阻等于0.446K/W时，泵浦功率降低了18.99％，但这种对称式的波纹结构微流道散热器在流道中心流体相对稳定，冷流和热流换热效果较差。微针鳍流道具有封装密度高、热阻小、温度分布均匀等特点，同样受到广泛的研究。现有技术中有人基于基本肋片的解析解，通过理论推到了不同形状的针鳍式...
【技术保护点】
1.一种微流道散热器，其特征在于，包括基底，在基底上平行分布多个肋片，两相邻肋片之间形成微流道，微流道内有多个针鳍结构；每个针鳍结构对应一个凹槽，任意两相邻凹槽交错。/n
【技术特征摘要】
1.一种微流道散热器，其特征在于，包括基底，在基底上平行分布多个肋片，两相邻肋片之间形成微流道，微流道内有多个针鳍结构；每个针鳍结构对应一个凹槽，任意两相邻凹槽交错。
2.如权利要求1所述的微流道散热器，其特征在于，所述基底上还有冷却剂入口与冷却剂出口，所述冷却剂入口与冷却剂出口分别分布于肋片端部两侧；
或，所述微流道散热器还包括盖板；
或，所述针鳍结构与肋片高度相同；
或，基底和针鳍结构为高导热材料；
或，所述针鳍结构在微流道中分布均匀，且每个微流道对应一排针鳍结构。
3.如权利要求1所述的微流道散热器，其特征在于，所述针鳍结构横截面为梭形，所述梭形一端大一端小，小的一端位于流体流动方向的前端。
4.如权利要求1所述的微流道散热器，其特征在于，所述肋片由双程记忆合金材料制成，所述肋片在加热条件下产生凹槽。
5.权利要求1-3任一项所述的微流道散热器的制备方法，其特征在于，在基底上通过蚀刻或精加工形成肋片和针鳍结构，对肋片物理开挖或精准蚀刻形成凹槽。
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【专利技术属性】
技术研发人员：叶贵根，王志敏，李新建，张毅，薛世峰，周博，
申请(专利权)人：中国石油大学华东，
类型：发明
国别省市：山东;37
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