内光路偏心光束自动调焦仪制造技术

一种内光路偏心光束自动调焦仪，采用内光路偏心光来作为检测光源，用二象限硅光电池来接收离焦信号，其光电检测头安装在显微镜本体的构件上。可用于显微电测量仪，线宽轮廓测量仪，光盘等的自动调焦。本自动调焦仪调焦范围大，可达１０００μｍ，调焦精度高，≤±０．１μｍ。（*该技术在1999年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及自动调焦技术及仪器。自动调焦技术是光学仪器中的一项重要技术，在照相系统如照相机，分步重复照相机等已有采用自动调焦技术。但显微镜系统，由于焦深小，后工作距短，且精度要求高，自动调焦技术的应用尚在开始阶段，目前采用的斜光束和散象法等调焦技术都有精度低调焦范围小的缺点。本技术的目的是研制一种调焦范围大，精度高的自动调焦仪。本技术的构成是采用内光路偏心光束作为检测光源，用二象限硅光电池来接收离焦信号，经光电转换及信号处理后来带动电机拖动微位移工作台，以实现离焦量的自动补偿，上述方法通过有关元件的具体布置来实现。 结合附图说明本技术的工作原理如下图1为光路原理图。1为激光束2为反射镜3为物镜4为焦面5为辅助物镜6为接收面7为二象限硅光电池激光束(1)经反射镜(2)反射后以偏心S的距离进入显微镜原有的光路，经过物镜(3)后聚焦在焦面(4)的M点上，经焦面(4)反射后再经过物镜(3)及辅助物镜(5)成象在接收面(6)上的M′点。当焦面(4)的位置改变±δ时，M′点相应地在接收面(6)上有±△的横向移动，△＝±2βδ·s／f，β为光学系统横向放大率，如在接收面(6)上放置一个二象限硅本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种由光电检测头，显微镜本体，控制系统，驱动电机及减速机构组成的自动调焦仪，其特征是采用内光路偏心光束作为检测光源，用二象限硅光电池来接收离焦信号，其光电检测头（８）安装在显微镜本体（９）的构件上（主光路的一侧），在显微镜工作台升降机构处设置驱动电机及减速机构（１１）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：薛实福，李庆祥，汪春庆，许先海，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]