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一种内光路偏心光束自动调焦仪，采用内光路偏心光来作为检测光源，用二象限硅光电池来接收离焦信号，其光电检测头安装在显微镜本体的构件上。可用于显微电测量仪，线宽轮廓测量仪，光盘等的自动调焦。本自动调焦仪调焦范围大，可达１０００μｍ，调焦精度高，...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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