氢化物气相外延的镓舟结构制造技术

本发明专利技术涉及半导体技术领域，公开了一种氢化物气相外延的镓舟结构，包括舟体，还包括：所述舟体的顶部设置镓源入口，所述舟体内用于盛放液态镓源，所述舟体内设置反应物出口管路，所述反应物出口管路的顶端高于液态镓源的液面，所述反应物出口管路的底端穿出所述舟体的底壁；以及分气盘，所述分气盘设置在所述舟体内的底壁上，在所述分气盘的侧面设置氯化氢进口，在所述分气盘的管路的顶端设置至少一个氯化氢出口，各个所述氯化氢出口均位于液态镓源的液面的下方。该镓舟结构具有氯化氢转化率高、氯化氢与液态镓源的接触面积大以及有效地延长了氯化氢的路径的优点。

【技术实现步骤摘要】
氢化物气相外延的镓舟结构
本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种氢化物气相外延的镓舟结构。
技术介绍
HVPE(氢化物气相外延)技术与MOCVD(有机金属气相沉积)技术相比具有生长速率相对较高、源成本大幅下降等的优点，日益成为用于Ⅲ-Ⅴ族化合物气相生长的新方法。该方法已用于GaN(氮化镓)衬底的生长，并正在研究用于GaAs(砷化镓)器件的生长。该方法使氯化氢与液态镓反应生成一氯化镓，导入生长区与砷烷或氨气发生反应。以砷化镓的生成为例，发生以下反应：Ga(l)+HCl(g)→GaCl(g)+H2(g)；GaCl(g)+AsH3(g)→GaAs(s)+HCl(g)+H2(g)；作为HVPE中比较关键的一个步骤，氯化氢气体流过镓舟内液体的表面，在该表面上生成一氯化镓气体，这一步骤直接决定了GaAs(砷化镓)最终的生长速度和源的利用率；此种反应方式容易引起，氯化氢与液态镓接触时间短，氯化氢未来得及反应就已流出反应腔。另外，由于液态金属在不断的消耗，造成进气口与液体源的距离在不断改变，由此，导致砷化镓生长参数变化较大。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术的目的是提供一种氢化物气相外延的镓舟结构，以解决现有技术中的氯化氢气体与液态镓的接触面积小，容易造成氯化氢气体的转化效率低的技术问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种氢化物气相外延的镓舟结构，包括舟体，还包括：所述舟体的顶部设置镓源入口，所述舟体内用于盛放液态镓源，所述舟体内设置反应物出口管路，所述反应物出口管路的顶端高于液态镓源的液面，所述反应物出口管路的底端穿出所述舟体的底壁；以及分气盘，所述分气盘设置在所述舟体内的底壁上，在所述分气盘上设置氯化氢进口，在所述分气盘的管路的顶端设置至少一个氯化氢出口，各个所述氯化氢出口均位于液态镓源的液面的下方。其中，所述分气盘包括主管路、与所述主管路的上下两端相连通的第一分支管路。其中，所述分气盘还包括分别与相应的所述第一分支管路相连通的第二分支管路，其中，所述第二分支管路与所述主管路呈平行式设置。其中，所述分气盘还包括分别与相应的所述第二分支管路的上下两端相连通的第三分支管路，其中，所述第三分支管路与所述第一分支管路呈平行式设置。其中，在各个所述第三分支管路的顶端均呈等距式构造有多个所述氯化氢出口。其中，所述氯化氢进口为两个并分别设置在所述分气盘的侧边，其中，两个所述氯化氢进口呈相对式设置。其中，所述分气盘的水平截面的轮廓尺寸与所述舟体的底壁的水平截面的轮廓尺寸相同。其中，所述镓舟结构还包括设置在所述舟体的外表面的加热部件。其中，所述加热部件包括沿所述舟体的纵向进行螺旋盘绕的金属加热丝或红外加热丝。其中，所述镓舟结构还包括与所述氯化氢进口相连通的氯化氢进口管路，其中，在所述氯化氢进口管路上设置阀门。(三)有益效果本专利技术提供的镓舟结构，与现有技术相比，具有如下优点：通过增设分气盘，在该分气盘的侧面设置氯化氢进口，在该分气盘的管路的顶端设置至少一个氯化氢出口，从而可以将一股氯化氢气体均匀地分散为多股，由于分气盘设置在舟体的底壁上，镓源入口设置在舟体的顶部，这样，分气盘的整体则会处于液态镓源内，分成多股的氯化氢便会直接与液态镓源发生反应，生成氯化镓和氢气，可见，本申请的分气盘的设置，有效地增大了氯化氢气体与液态镓源的接触面积和接触时间，同时，也延长了氯化氢的路径，从而有效地提高了氯化氢的转化率，减弱了反应过程中液态镓源消耗对生成氯化镓造成的影响，改善了反应环境。附图说明图1为本申请的实施例的氢化物气相外延的镓舟结构的整体结构示意图；图2为图1中的A-A剖面结构示意图。图中，1：舟体；11：镓源入口；200：液态镓源；12：反应物出口管路；121：顶端；122：底端；2：分气盘；21：氯化氢进口；22：氯化氢出口；23：主管路；24：第一分支管路；25：第二分支管路；26：第三分支管路；3：氯化氢进口管路；31：阀门。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。如图1和图2所示，图中示意性地显示了该镓舟结构包括舟体1和分气盘2。在本申请的实施例中，该舟体1的顶部设置镓源入口11，该舟体1内构造有用于盛放液态镓源200的容纳腔，该舟体1内设置反应物出口管路12，该反应物出口管路12的顶端121高于液态镓源200的液面，该反应物出口管路12的底端122穿出该舟体1的底壁。该分气盘2设置在该舟体1内的底壁上，在该分气盘2上设置氯化氢进口21，在该分气盘2的管路的顶端设置至少一个氯化氢出口22，各个氯化氢出口22均位于液态镓源200的液面的下方。具体地，通过增设分气盘2，在该分气盘2上设置氯化氢进口21，在该分气盘2的管路的顶端设置至少一个氯化氢出口22，从而可以将一股氯化氢气体均匀地分散为多股，由于分气盘2设置在舟体1的底壁上，镓源入口11设置在舟体1的顶部，这样，分气盘2的整体则会处于液态镓源200内，分成多股的氯化氢便会直接与液态镓源200发生反应，生成氯化镓和氢气，可见，本申请的分气盘2的设置，有效地增大了氯化氢气体与液态镓源200的接触面积和接触时间，同时，也延长了氯化氢的路径，从而有效地提高了氯化氢的转化率，减弱了反应过程中液态镓源200消耗对生成氯化镓造成的影响，改善了反应环境。需要说明的是，液态镓源与氯化氢气体进行反应后，会生成氯化镓气体和氢气，由于气体的密度较小，因而，往往会位于液态镓源200的液面的上方，这样，反应后的氯化镓气体和氢气便会经该反应物出口管路12通入到舟体1的外部，以便进行下一步的反应。还需要说明的是，当舟体1内的液态镓源200的体积不足以确保与氯化氢气体进行充分反应后，则可以通过该镓源入口11向舟体1内注入液态镓源200，从而确保液态镓源200的体积可以始终处于稳定的范围内。在一个具体的实施例中，该舟体1的制造材质优选为陶瓷或石英。具体地，在舟体1内，当液态镓源200与氯化氢气体进行反应时，为使得氯化氢气体能够反应充分，则需要对舟体1进行加热，因而，舟体1应当具有高温耐受性。然而，陶瓷和石英均可以承受较高的温度，故，该舟体1可由陶瓷或石英等材质制造而成。需要说明的是，舟体1的形状可为长方形、正方形或圆柱形。该分气盘2的制造材质也同样地优选为陶瓷或石英。还需要说明的是，该分气盘2可与该舟体1为一体式注塑成型，这样，便大本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氢化物气相外延的镓舟结构，包括舟体(1)，其特征在于，还包括：/n所述舟体(1)的顶部设置镓源入口(11)，所述舟体(1)内用于盛放液态镓源(200)，所述舟体(1)内设置反应物出口管路(12)，所述反应物出口管路(12)的顶端(121)高于液态镓源(200)的液面，所述反应物出口管路(12)的底端(122)穿出所述舟体(1)的底壁；以及/n分气盘(2)，所述分气盘(2)设置在所述舟体(1)内的底壁上，在所述分气盘(2)上设置氯化氢进口(21)，在所述分气盘(2)的管路的顶端设置至少一个氯化氢出口(22)，各个所述氯化氢出口(22)均位于液态镓源(200)的液面的下方。/n

【技术特征摘要】
1.一种氢化物气相外延的镓舟结构，包括舟体(1)，其特征在于，还包括：
所述舟体(1)的顶部设置镓源入口(11)，所述舟体(1)内用于盛放液态镓源(200)，所述舟体(1)内设置反应物出口管路(12)，所述反应物出口管路(12)的顶端(121)高于液态镓源(200)的液面，所述反应物出口管路(12)的底端(122)穿出所述舟体(1)的底壁；以及
分气盘(2)，所述分气盘(2)设置在所述舟体(1)内的底壁上，在所述分气盘(2)上设置氯化氢进口(21)，在所述分气盘(2)的管路的顶端设置至少一个氯化氢出口(22)，各个所述氯化氢出口(22)均位于液态镓源(200)的液面的下方。


2.根据权利要求1所述的氢化物气相外延的镓舟结构，其特征在于，所述分气盘(2)包括主管路(23)、与所述主管路(23)的上下两端相连通的第一分支管路(24)。


3.根据权利要求2所述的氢化物气相外延的镓舟结构，其特征在于，所述分气盘(2)还包括分别与相应的所述第一分支管路(24)相连通的第二分支管路(25)，其中，所述第二分支管路(25)与所述主管路(23)呈平行式设置。


4.根据权利要求3所述的氢化物气相外延的镓舟结构，其特征在于，所述分气盘(2)还包括分别与相应的所述第二分支管路(25)的上下两端相连通的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞云玲，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11