雾发生装置、成膜装置及使用了成膜装置的成膜方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够将雾高效地供给到外部的技术。雾发生装置具备贮存槽、多个超声波换能器、雾送出通道和雾收集管。贮存槽贮存溶液。超声波换能器设置在贮存槽的下部，向在贮存槽内贮存的溶液施加超声波振动，从而在贮存槽内产生溶液的雾。雾送出通道从贮存槽的内部向贮存槽的外部送出雾。雾收集管配置在贮存槽内的溶液的上方，雾收集管的上端部与雾送出通道的上游端连接，在雾收集管的下端部设置有开口部，随着从上端部往开口部，雾收集管的宽度扩大。多个超声波换能器位于开口部的正下方。

【技术实现步骤摘要】
雾发生装置、成膜装置及使用了成膜装置的成膜方法
本说明书公开的技术涉及雾发生装置、成膜装置及使用了成膜装置的成膜方法。
技术介绍
专利文献1的雾发生装置具备贮存溶液的贮存槽和设置在贮存槽的下部的超声波换能器。超声波换能器向在贮存槽内贮存的溶液施加超声波振动，从而在贮存槽内产生溶液的雾。雾化的溶液经由与贮存槽连接的雾送出通道被供给到雾发生装置的外部。专利文献1：日本特开2016-079485号公报如果在贮存槽内产生了雾，则从流入与贮存槽连接的雾送出通道的雾开始被依次供给到外部。在贮存槽内产生的雾会在贮存槽内对流，因此难以将雾高效地供给到外部。在本说明书中，提供一种能够将雾高效地供给到外部的技术。
技术实现思路
本说明书公开的雾发生装置具备贮存槽、多个超声波换能器、雾送出通道和雾收集管。所述贮存槽贮存溶液。所述超声波换能器设置在所述贮存槽的下部，向在所述贮存槽内贮存的所述溶液施加超声波振动，从而在所述贮存槽内产生所述溶液的雾。所述雾送出通道从所述贮存槽的内部向所述贮存槽的外部送出所述雾。所述雾收集管配置在所述贮存本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种雾发生装置，具备：/n贮存槽，其贮存溶液；/n多个超声波换能器，其设置在所述贮存槽的下部，向在所述贮存槽内贮存的所述溶液施加超声波振动，从而在所述贮存槽内产生所述溶液的雾；/n雾送出通道，其从所述贮存槽的内部向所述贮存槽的外部送出所述雾；以及/n雾收集管，其配置在所述贮存槽内的所述溶液的上方，所述雾收集管的上端部与所述雾送出通道的上游端连接，在所述雾收集管的下端部设置有开口部，随着从所述上端部往所述开口部，所述雾收集管的宽度扩大，/n多个所述超声波换能器位于所述开口部的正下方。/n

【技术特征摘要】
20190603 JP 2019-1037481.一种雾发生装置，具备：
贮存槽，其贮存溶液；
多个超声波换能器，其设置在所述贮存槽的下部，向在所述贮存槽内贮存的所述溶液施加超声波振动，从而在所述贮存槽内产生所述溶液的雾；
雾送出通道，其从所述贮存槽的内部向所述贮存槽的外部送出所述雾；以及
雾收集管，其配置在所述贮存槽内的所述溶液的上方，所述雾收集管的上端部与所述雾送出通道的上游端连接，在所述雾收集管的下端部设置有开口部，随着从所述上端部往所述开口部，所述雾收集管的宽度扩大，
多个所述超声波换能器位于所述开口部的正下方。


2.根据权利要求1所述的雾发生装置，其中，还具备向所述贮存槽内排放载气的载气供给通道。


3.根据权利要求2所述的雾发生装置，其中，与所述开口部相比，所述载气供给通道的排放口更靠所述贮存槽的周缘侧。


4.根据权利要求2或3所述的雾发生装置，其中，与所述开口部相比，所述载气供给通道的排放口更靠上方。


5.根据权利要求3或4所述的雾发生装置，其中，具备多个所述载气供给通道的所述排放口。


6.根据权利要求2至5中任意一项所述的雾发生装置，其中，所述载气供给通道设置为...

【专利技术属性】
技术研发人员：永冈达司，西中浩之，吉本昌广，
申请(专利权)人：丰田自动车株式会社，国立大学法人京都工芸纤维大学，
类型：发明
国别省市：日本;JP