雾发生装置、成膜装置及使用了成膜装置的成膜方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够将雾高效地供给到外部的技术。雾发生装置具备贮存槽、多个超声波换能器、雾送出通道和雾收集管。贮存槽贮存溶液。超声波换能器设置在贮存槽的下部，向在贮存槽内贮存的溶液施加超声波振动，从而在贮存槽内产生溶液的雾。雾送出通道从贮存槽的内部向贮存槽的外部送出雾。雾收集管配置在贮存槽内的溶液的上方，雾收集管的上端部与雾送出通道的上游端连接，在雾收集管的下端部设置有开口部，随着从上端部往开口部，雾收集管的宽度扩大。多个超声波换能器位于开口部的正下方。

【技术实现步骤摘要】
雾发生装置、成膜装置及使用了成膜装置的成膜方法
本说明书公开的技术涉及雾发生装置、成膜装置及使用了成膜装置的成膜方法。
技术介绍
专利文献1的雾发生装置具备贮存溶液的贮存槽和设置在贮存槽的下部的超声波换能器。超声波换能器向在贮存槽内贮存的溶液施加超声波振动，从而在贮存槽内产生溶液的雾。雾化的溶液经由与贮存槽连接的雾送出通道被供给到雾发生装置的外部。专利文献1：日本特开2016-079485号公报如果在贮存槽内产生了雾，则从流入与贮存槽连接的雾送出通道的雾开始被依次供给到外部。在贮存槽内产生的雾会在贮存槽内对流，因此难以将雾高效地供给到外部。在本说明书中，提供一种能够将雾高效地供给到外部的技术。
技术实现思路
本说明书公开的雾发生装置具备贮存槽、多个超声波换能器、雾送出通道和雾收集管。所述贮存槽贮存溶液。所述超声波换能器设置在所述贮存槽的下部，向在所述贮存槽内贮存的所述溶液施加超声波振动，从而在所述贮存槽内产生所述溶液的雾。所述雾送出通道从所述贮存槽的内部向所述贮存槽的外部送出所述雾。所述雾收集管配置在所述贮存槽内的所述溶液的上方，所述雾收集管的上端部与所述雾送出通道的上游端连接，在所述雾收集管的下端部设置有开口部，随着从所述上端部往所述开口部，所述雾收集管的宽度扩大。多个所述超声波换能器位于所述开口部的正下方。在上述雾发生装置中，与雾送出通道连接的雾收集管设置在贮存槽的内部，多个超声波换能器位于雾收集管的开口部的正下方。因此，由多个超声波换能器各自的超声波振动产生的溶液的雾易于流入雾收集管的开口部。随着从上端部往开口部(即下端部)，该雾收集管的宽度扩大(即随着从下端部往上端部，宽度缩小)。因此，从开口部流入雾收集管的雾被适当地引导向雾送出通道。从而能够将雾高效地供给到外部。附图说明图1是实施例1所涉及的成膜装置的构成图。图2是产生了溶液的雾的状态下的雾发生装置的剖视图(实施例1)。图3是产生了溶液的雾的状态下的雾发生装置的俯视图(实施例1)。图4是产生了溶液的雾的状态下的雾发生装置的剖视图(实施例2)。图5是产生了溶液的雾的状态下的雾发生装置的俯视图(实施例2)。图6是产生了溶液的雾的状态下的雾发生装置的剖视图(实施例3)。图7是变形例的雾发生装置的俯视图。附图标记的说明10：成膜装置；12：加热炉；12a：上游端；12b：下游端；13：基板载置台；14：加热器；20：雾发生装置；24：水槽；26：贮存槽；26a：底面；26b：上表面；26c：内侧面；28：超声波换能器；28a：振动面；40：雾送出通道；40a：上游端；40b：下游端；41：雾收集管；41a：上端部；41b：开口部；42：载气供给通道；42a：排放口；44：稀释气体供给路径；58：水；60：溶液；60a：液面；62：雾；64：载气；66：稀释气体；70：基板；80：排出管。具体实施方式(实施例1)图1所示的成膜装置10是使膜在基板70的表面生长的装置。成膜装置10具备：加热炉12，基板70被配置在其中；加热器14，将加热炉12加热；雾发生装置20，与加热炉12连接；以及排出管80，与加热炉12连接。对加热炉12的具体的构成并无特别限定。作为一个例子，图1所示的加热炉12是从上游端12a延伸到下游端12b的管状炉。加热炉12的与长度方向垂直的剖面是圆形。但是，加热炉12的剖面不限于圆形。雾发生装置20与加热炉12的上游端12a连接。加热炉12的下游端12b连接有排出管80。雾发生装置20向加热炉12内供给雾62。由雾发生装置20供给到加热炉12内的雾62在加热炉12内流到下游端12b之后，经由排出管80被排出到加热炉12的外部。在加热炉12内设置有用于支承基板70的基板载置台13。基板载置台13构成为使基板70相对于加热炉12的长度方向倾斜。支承于基板载置台13的基板70以在加热炉12内从上游端12a向下游端12b流动的雾62碰到基板70的表面的朝向被支承。如前所述，加热器14将加热炉12加热。对加热器14的具体的构成并无特别限定。作为一个例子，图1所示的加热器14是电气式的加热器，沿着加热炉12的外周壁配置。加热器14将加热炉12的外周壁加热，由此来加热加热炉12内的基板70。如图1及图2所示，雾发生装置20具有水槽24、贮存槽26、多个超声波换能器28。水槽24是上部开放的容器，在内部贮存有水58。多个超声波换能器28各自设置在水槽24的底面。各超声波换能器28的振动面28a分别与水槽24的底面接触。各超声波换能器28从其振动面28a发出超声波，对水槽24内的水58施加超声波振动。贮存槽26是密闭型的容器。贮存槽26贮存有溶液60，该溶液60包含在基板70的表面外延生长的膜的原料。例如在使氧化镓(Ga2O3)的膜外延生长的情况下，作为溶液60，可以使用溶解有镓的溶液。此外，在溶液60中还可以溶解有用于对氧化镓膜赋予n型或者p型的掺杂物的原料(例如氟化铵等)。贮存槽26的外周壁具有圆筒形状。贮存槽26的底部浸渍在水槽24内的水58中。贮存槽26的底面26a由膜(film)构成。由此，超声波振动易于从水槽24内的水58传导到贮存槽26内的溶液60。在各超声波换能器28向水槽24内的水58施加了超声波振动后，超声波振动经由水58传导到溶液60。然后，如图2所示，溶液60的液面60a振动，在溶液60的上方的空间(即贮存槽26内的空间)产生溶液60的雾62。雾发生装置20还具备雾送出通道40、雾收集管41、2个载气供给通道42和稀释气体供给通道44。如图1及图2所示，雾送出通道40的上游侧与贮存槽26的上表面(即顶板)26b连接。雾送出通道40贯通贮存槽26的上表面26b的中央部分并延伸至贮存槽26的内部。因此，雾送出通道40的上游端40a位于贮存槽26的内部。雾送出通道40的下游端40b与加热炉12的上游端12a连接。雾送出通道40从贮存槽26向加热炉12供给雾62。雾收集管41配置在贮存槽26的内部。雾收集管41配置于贮存槽26内贮存的溶液60的上方。雾收集管41的上端部41a与雾送出通道40的上游端40a连接。在雾收集管41的下端部设置有开口部41b。雾收集管41的下端部整体为开口部41b。雾收集管41具有随着从上端部41a往开口部41b宽度扩大的形状。在本实施例中，雾收集管41的剖面具有圆形形状。即雾收集管41是从上端部41a往开口部41b而扩径的管状部件。另外，雾收集管41的剖面不限于圆形，只要是从上端部41a往开口部41b宽度扩大的形状即可。如图3所示，在从上侧俯视贮存槽26时，多个超声波换能器28位于开口部41b的范围内。即多个超声波换能器28分别位于开口部41b的正下方。各载气供给通道42的上游端分别与未图示的载气供给源连接。如图3所示，载气供给通道42从载气供给源向贮存槽26供给载气64。载气64是氮气或者其他惰性气体。载气64被从载气供给本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种雾发生装置，具备：/n贮存槽，其贮存溶液；/n多个超声波换能器，其设置在所述贮存槽的下部，向在所述贮存槽内贮存的所述溶液施加超声波振动，从而在所述贮存槽内产生所述溶液的雾；/n雾送出通道，其从所述贮存槽的内部向所述贮存槽的外部送出所述雾；以及/n雾收集管，其配置在所述贮存槽内的所述溶液的上方，所述雾收集管的上端部与所述雾送出通道的上游端连接，在所述雾收集管的下端部设置有开口部，随着从所述上端部往所述开口部，所述雾收集管的宽度扩大，/n多个所述超声波换能器位于所述开口部的正下方。/n

【技术特征摘要】
20190603 JP 2019-1037481.一种雾发生装置，具备：
贮存槽，其贮存溶液；
多个超声波换能器，其设置在所述贮存槽的下部，向在所述贮存槽内贮存的所述溶液施加超声波振动，从而在所述贮存槽内产生所述溶液的雾；
雾送出通道，其从所述贮存槽的内部向所述贮存槽的外部送出所述雾；以及
雾收集管，其配置在所述贮存槽内的所述溶液的上方，所述雾收集管的上端部与所述雾送出通道的上游端连接，在所述雾收集管的下端部设置有开口部，随着从所述上端部往所述开口部，所述雾收集管的宽度扩大，
多个所述超声波换能器位于所述开口部的正下方。


2.根据权利要求1所述的雾发生装置，其中，还具备向所述贮存槽内排放载气的载气供给通道。


3.根据权利要求2所述的雾发生装置，其中，与所述开口部相比，所述载气供给通道的排放口更靠所述贮存槽的周缘侧。


4.根据权利要求2或3所述的雾发生装置，其中，与所述开口部相比，所述载气供给通道的排放口更靠上方。


5.根据权利要求3或4所述的雾发生装置，其中，具备多个所述载气供给通道的所述排放口。


6.根据权利要求2至5中任意一项所述的雾发生装置，其中，所述载气供给通道设置为...

【专利技术属性】
技术研发人员：永冈达司，西中浩之，吉本昌广，
申请(专利权)人：丰田自动车株式会社，国立大学法人京都工芸纤维大学，
类型：发明
国别省市：日本;JP