下载雾发生装置、成膜装置及使用了成膜装置的成膜方法的技术资料

文档序号:26586677

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本发明提供能够将雾高效地供给到外部的技术。雾发生装置具备贮存槽、多个超声波换能器、雾送出通道和雾收集管。贮存槽贮存溶液。超声波换能器设置在贮存槽的下部,向在贮存槽内贮存的溶液施加超声波振动,从而在贮存槽内产生溶液的雾。雾送出通道从贮存槽的内...
该专利属于丰田自动车株式会社;国立大学法人京都工芸纤维大学所有,仅供学习研究参考,未经过丰田自动车株式会社;国立大学法人京都工芸纤维大学授权不得商用。

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