一种电子混合气的制备装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种电子混合气的制备装置及方法，属于电子混合气制备技术领域。所述装置包括箱体、双向移动机构、滑板、转动机构、转盘、放置槽、限位机构、抵紧机构、放置座、锁紧机构、配气瓶、目标瓶、电控阀门、出气口、密封门、安装支架、导气管、旋转接头、旋转机构、进气管和抽气机构；所述方法采用所述装置完成。通过设置双向移动机构、限位机构与锁紧机构，可实现目标瓶与多个配气瓶的装载，使用便捷，并可通过抵紧机构进一步限位；通过设置转动机构与旋转机构，可完成旋转接头自动连接，并配合转动机构将多个配气瓶内气体注入目标瓶内，实现自动制备；在密闭箱体内进行，无气体泄露，在制备结束后可通过抽气机构抽出气体，安全性高。

【技术实现步骤摘要】
一种电子混合气的制备装置及方法
本专利技术涉及一种电子混合气的制备装置及方法，属于电子混合气制备

技术介绍
随着电子工业，尤其是大规模集成电路的发展，混合气的用量越来越大，人们把半导体工业用的混合气称为电子混合气，电子混合气种类很多，组分气体主要有：硅烷、砷烷、磷烷、硼烷、锗烷、硒化氢、硫化氢四氟化碳(底气为氧)；底气有：氮、氢、氩、氦等。但是现有的电子混合气制备装置大多不能做到在密闭环境里进行自动化制备，而混合气一般均具备毒性，发生泄漏不能及时进行保护。
技术实现思路
为克服现有技术存在的缺陷，本专利技术的目的在于提供一种电子混合气的制备装置及方法，可实现快速完成装载，并能够在密闭环境内进行自动化的制备。为实现本专利技术的目的，提供以下技术方案。一种电子混合气的制备装置，所述装置包括箱体、双向移动机构、滑板、转动机构、转盘、放置槽、限位机构、抵紧机构、放置座、锁紧机构、配气瓶、目标瓶、电控阀门、出气口、密封门、安装支架、导气管、旋转接头、旋转机构、进气管和抽气机构。箱体底部设有条形腔，条形腔内设有双向移动机构，箱体内底部设有与双向移动机构固定连接的滑板和放置座；滑板顶部通过转动机构连接有转盘，转盘上设有一个以上的放置槽，放置槽内底部设有限位机构用以限位放置配气瓶，转盘上端安装有用于抵紧配气瓶的抵紧机构；放置座上通过锁紧机构锁紧放置目标瓶；配气瓶与目标瓶的顶部瓶口处均设置有电控阀门与出气口。箱体的两侧壁均安装有密封门，箱体内顶部固定有安装支架，安装支架上安装有水平设置的导气管，导气管的两端均转动连接有旋转接头，出气口的外壁设有与旋转接头配合的螺纹，导气管上安装有用于转动旋转接头的旋转机构；进气管贯穿箱体顶部，伸入箱体内部一端与导气管连接，进气管内安装有电磁阀；箱体的一侧侧壁上设有开口，侧壁上安装有抽气机构通过开口抽气。优选转盘的上周向等间距设有若干个放置槽。优选双向移动机构包括安装在箱体外侧壁底部上的第一电机，第一电机的横向输出轴末端延伸至条形腔内，与条形腔内双头螺纹杆固定连接，双头螺纹杆上两侧分别螺纹连接有两个滑块，条形腔顶部设有条形口，两个滑块的上端贯穿条形口伸入箱体中并分别与滑板以及放置座固定连接。优选转动机构包括安装在滑板顶部一侧的第三电机，第三电机纵向输出轴末端固定有转轮，转轮的外壁固定有凸起，转盘的外壁固定有转环，转环的外壁设有一个以上与凸起配合连接的凹槽。优选限位机构包括固定在放置槽内底部的卡块，卡块的上端设有两个限位槽，配气瓶的底部固定有两根与限位槽对应的限位杆。优选抵紧机构包括安装在转盘上的液压缸，液压缸的纵向伸缩的末端固定有连接板，连接板的外壁固定有与配气瓶上端配合的弧形板。优选锁紧机构包括固定在放置座前端的两根固定杆，目标瓶的外壁设有固定杆穿过进行限位的限位环，穿过限位环后固定杆上螺纹连接有螺母进行锁紧。优选旋转机构包括安装在导气管上的双头电机，双头电机的两个横向的输出轴末端均固定有齿轮，旋转接头的外壁固定有与齿轮啮合的齿圈。优选抽气机构包括安装在开口内的扇叶，扇叶后设有第二电机用以驱动扇叶，开口外侧安装有波纹管。一种电子混合气的制备方法，所述方法采用本专利技术所述的一种电子混合气的制备装置完成，所述方法步骤如下：①打开两侧箱体两侧的密封门，启动第一电机带动双头螺纹杆转动，带动放置座与滑板滑出箱体；②将配气瓶放入转盘的放置槽中，通过限位机构与抵紧机构限定位置，再将目标瓶通过锁紧机构锁紧放置在放置座上；③启动第一电机，将放置好的配气瓶与目标瓶拉回箱体内，关闭密封门进行密封，通过进气管向导气管内注入平衡气后，启动第一电机，使目标瓶与配气瓶顶部瓶口处的出气口向旋转接头移动，通过旋转机构将旋转接头与出气口连接，打开配气瓶顶部瓶口处的电控阀门，将配气瓶内的气体通过导气管注入目标瓶内进行混合；每一次气体注入结束后，均需将旋转接头与出气口断开，通过进气管注入平衡气，对导气管内的气体进行置换，启动转动机构带动转盘转动，从而将另一个配气瓶转至一侧与旋转接头对应，从而实现多种气体的注入，实现电子混合气的制备；④电子混合气制备完毕后，启动抽气机构，将箱体内部的废气抽出，再将目标瓶与配气瓶取出即可。优选所述平衡气为氮气。有益效果1.本专利技术提供了一种电子混合气的制备装置及方法，通过设置双向移动机构、限位机构与锁紧机构，能够同时进行目标瓶与多个配气瓶的装载，使用便捷，并能够通过抵紧机构进行进一步的限位。2.本专利技术提供了一种电子混合气的制备装置及方法，通过设置转动机构与旋转机构，能够完成旋转接头的自动连接，并配合转动机构将多个配气瓶内的气体注入目标瓶内，从而实现自动的制备过程。3.本专利技术提供了一种电子混合气的制备装置及方法，在密闭的箱体内进行，不会发生气体的泄露，并能够在制备结束后通过抽气机构及时抽出气体，安全性高。附图说明图1为实施例中一种电子混合气的制备装置的结构示意图。图2为实施例中一种电子混合气的制备装置的转动机构和限位机构在滑板上的俯视图。图3为实施例中一种电子混合气制备装置的A处结构放大图。其中：1—箱体，2—进气管，3—双头电机，4—安装支架，5—齿轮，6—导气管，7—旋转接头，8—齿圈，9—目标瓶，10—密封门，11—放置座，12—限位环，13—螺母，14—固定杆，15—第一电机，16—双头螺纹杆，17—滑块，18—条形腔，19—第三电机，20—转轮，21—凸起，22—转环，23—第二电机，24—放置槽，25—卡块，26—波纹管，27—扇叶，28—限位杆，29—连接板，30—出气口，31—液压缸，32—配气瓶，33—转盘，34—弧形板，35—滑板。具体实施方式为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施的限制。实施例1如图1～3所示，一种电子混合气的制备装置，所述装置包括箱体1、双向移动机构、滑板35、转动机构、转盘33、放置槽24、限位机构、抵紧机构、放置座11、锁紧机构、配气瓶32、目标瓶9、电控阀门、出气口30、密封门10、安装支架4、导气管6、旋转接头7、旋转机构、进气管2和抽气机构。箱体1底部设有条形腔18，条形腔18内设有双向移动机构，双向移动机构包括：安装在箱体1外侧壁底部上的第一电机15，第一电机15的横向输出轴末端延伸至条形腔18内，与条形腔18内双头螺纹杆16固定连接，双头螺纹杆16上两侧分别螺纹连接有两个滑块17，条形腔18顶部设有条形口，两个滑块17的上端贯穿条形口伸入箱体1中并分别与滑板35以及放置座11固定连接。箱体1内底部设有与双向移动机构固定连接的滑板3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子混合气的制备装置，其特征在于：所述装置包括箱体(1)、双向移动机构、滑板(35)、转动机构、转盘(33)、放置槽(24)、限位机构、抵紧机构、放置座(11)、锁紧机构、配气瓶(32)、目标瓶(9)、电控阀门、出气口(30)、密封门(10)、安装支架(4)、导气管(6)、旋转接头(7)、旋转机构、进气管(2)和抽气机构；/n箱体(1)底部设有条形腔(18)，条形腔(18)内设有双向移动机构，箱体(1)内底部设有与双向移动机构固定连接的滑板(35)和放置座(11)；滑板(35)顶部通过转动机构连接有转盘(33)，转盘(33)的上周向等间距设有若干个放置槽(24)，放置槽(24)内底部设有限位机构用以限位放置配气瓶(32)，转盘(33)上端安装有用于抵紧配气瓶(32)的抵紧机构；放置座(11)上通过锁紧机构锁紧放置目标瓶(9)；配气瓶(32)与目标瓶(9)的顶部瓶口处均设置有电控阀门与出气口(30)；/n箱体(1)的两侧壁均安装有密封门(10)，箱体(1)内顶部固定有安装支架(4)，安装支架(4)上安装有水平设置的导气管(6)，导气管(6)的两端均转动连接有旋转接头(7)，出气口(30)的外壁设有与旋转接头(7)配合的螺纹，导气管(6)上安装有用于转动旋转接头(7)的旋转机构；进气管(2)贯穿箱体(1)顶部，伸入箱体(1)内部一端与导气管(6)连接，进气管(2)内安装有电磁阀；箱体(1)的一侧侧壁上设有开口，侧壁上安装有抽气机构通过开口抽气。/n...

【技术特征摘要】
1.一种电子混合气的制备装置，其特征在于：所述装置包括箱体(1)、双向移动机构、滑板(35)、转动机构、转盘(33)、放置槽(24)、限位机构、抵紧机构、放置座(11)、锁紧机构、配气瓶(32)、目标瓶(9)、电控阀门、出气口(30)、密封门(10)、安装支架(4)、导气管(6)、旋转接头(7)、旋转机构、进气管(2)和抽气机构；
箱体(1)底部设有条形腔(18)，条形腔(18)内设有双向移动机构，箱体(1)内底部设有与双向移动机构固定连接的滑板(35)和放置座(11)；滑板(35)顶部通过转动机构连接有转盘(33)，转盘(33)的上周向等间距设有若干个放置槽(24)，放置槽(24)内底部设有限位机构用以限位放置配气瓶(32)，转盘(33)上端安装有用于抵紧配气瓶(32)的抵紧机构；放置座(11)上通过锁紧机构锁紧放置目标瓶(9)；配气瓶(32)与目标瓶(9)的顶部瓶口处均设置有电控阀门与出气口(30)；
箱体(1)的两侧壁均安装有密封门(10)，箱体(1)内顶部固定有安装支架(4)，安装支架(4)上安装有水平设置的导气管(6)，导气管(6)的两端均转动连接有旋转接头(7)，出气口(30)的外壁设有与旋转接头(7)配合的螺纹，导气管(6)上安装有用于转动旋转接头(7)的旋转机构；进气管(2)贯穿箱体(1)顶部，伸入箱体(1)内部一端与导气管(6)连接，进气管(2)内安装有电磁阀；箱体(1)的一侧侧壁上设有开口，侧壁上安装有抽气机构通过开口抽气。


2.根据权利要求1所述的一种电子混合气的制备装置，其特征在于：双向移动机构包括安装在箱体(1)外侧壁底部上的第一电机(15)，第一电机(15)的横向输出轴末端延伸至条形腔(18)内，与条形腔(18)内双头螺纹杆(16)固定连接，双头螺纹杆(16)上两侧分别螺纹连接有两个滑块(17)，条形腔(18)顶部设有条形口，两个滑块(17)的上端贯穿条形口伸入箱体(1)中并分别与滑板(35)以及放置座(11)固定连接。


3.根据权利要求1所述的一种电子混合气的制备装置，其特征在于：转动机构包括安装在滑板(35)顶部一侧的第三电机(19)，第三电机(19)纵向输出轴末端固定有转轮(20)，转轮(20)的外壁固定有凸起(21)，转盘(33)的外壁固定有转环(22)，转环(22)的外壁设有一个以上与凸起(21)配合连接的凹槽。


4.根据权利要求1所述的一种电子混合气的制备装置，其特征在于：限位机构包括固定在放置槽(24)内底部的卡块(25)，卡块(25)的上端设有两个限位槽，配气瓶(32)的底部固定有两根与限位槽对应的限位杆(28)。


5.根据权利要求1所述的一种电子混合气的制备装置，其特征在于：抵紧机构包括安装在转盘(33)上的液压缸(31)，液压缸(31)的纵向伸缩的末端固定有连接板(29)，连接板(29)的外壁固定有与配气瓶(32)上端配合的弧形板(34)。


6.根据权利要求1所述的一种电子混合气的制备装置，其特征在于：锁紧机构包括固定在放置座(11)前端的两根固定杆(14)，目标瓶(9)的外壁设有固定杆(14)穿过进行限位的限位环(12)，穿过限位环(12)后固定杆(14)上螺纹连接有螺母(13)进行锁紧。


7.根据权利要求1所述的一种电子混合气的制备装置，其特征在于：旋转机构包括安装在导气管(6)上的双头电机(3)，双头电机(3)的两个横向的输出轴末端均固定有齿轮(5)，旋转接头(7)的外壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：林坤，王少波，闫云，马朝选，张净普，鲁毅，张非非，白雪萍，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13