一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置，包括储料斗，储料斗上设有泵体，泵体的一端延伸至储料斗内，泵体的另一端连通有输料管；输料管上设有升降机构，升降机构上设有压板，储料斗的一侧固定有承载盒，输料管内转动连接有竖轴，竖轴的下端延伸至压板和承载盒内，推杆的两侧等间距固定有多个刮板，承载盒的下端连接有出料管，出料管的另一端依次连接有汽化器、吸附塔、冷凝塔和精馏塔。本发明专利技术能快速初步对三氟化氯内的杂质进行过滤，并且能很好的清理过滤网，保证过滤的效果和质量，并且方便进行更换和清洗，再通过汽化器、吸附塔、冷凝塔、精馏塔的配合能进一步的进行提纯，提高提纯的效率。提高提纯的效率。提高提纯的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置


[0001]本专利技术属于三氟化氯的提纯分离装置
，具体涉及一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置。

技术介绍

[0002]三氟化氯是已知化学性质最活泼的卤素氟化物，是一种高能和反应活性极强的物质，主要用于电子行业、核工业铀浓缩和军事用途。高纯度的三氟化氯主要应用于半导体、液晶、太阳能和LED等领域的CVD室及其管道的清洗用途，其在清洗质量、效率和减少温室效应方面有着明显的优势。三氟化氯清洗是一种化学刻蚀过程，不存在等离子体那样的高能离子轰击过程，没有了离子轰击，对设备的损坏可以降到最低限度。同时，三氟化氯清洗属于就地清洗过程，无须拆解设备清洗设备与管道的死角，可以减少设备停机时间，还可以降低颗粒杂质的数量，并减少了操作人员的暴露时间。
[0003]现有的三氟化氯中含有一定量的杂质，主要包括氧气、氮气、一氟化氯、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、氟化氢等挥发性杂质和金属氟化物等不挥发杂质，这些杂质的存在会影响三氟化氯在CVD室清洗中的使用性能，从而影响其质量，影响其使用的效果；
[0004]为此，我们提出了一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置，来解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置，包括储料斗，所述储料斗上设有泵体，所述泵体的一端延伸至储料斗内，所述泵体的另一端连通有输料管；
[0007]所述输料管上设有升降机构，所述升降机构上设有压板，所述储料斗的一侧固定有承载盒，所述压板和承载盒相互配合使用；
[0008]所述输料管内转动连接有竖轴，所述竖轴的下端延伸至压板和承载盒内，所述竖轴上等间距固定有多个桨叶，所述竖轴下端的套管，所述套管内固定有第二弹簧，所述套管内滑动连接有推杆，所述第二弹簧的下端固定在推杆的上端，所述推杆的两侧等间距固定有多个刮板；
[0009]所述承载盒的下端连接有出料管，所述出料管的另一端依次连接有汽化器、吸附塔、冷凝塔和精馏塔。
[0010]优选的，所述升降机构包括转动连接在输料管一侧的转轴，所述转轴上固定有齿轮，所述压板滑动套接在输料管上，所述压板的上端固定有直齿条，所述齿轮和直齿条相啮合。
[0011]优选的，所述转轴的外侧固定有转盘。
[0012]优选的，所述转轴上转动套接有轴套，所述轴套的下端固定有第一弹簧，所述第一
弹簧固定在压板的上端。
[0013]优选的，所述承载盒内安装有筛网，所述刮板和筛网相接触。
[0014]优选的，所述筛网采用不锈钢制成。
[0015]优选的，所述储料斗的一侧上端安装有进料管，所述进料管上安装有阀门。
[0016]本专利技术与现有技术相比具有以下优点：
[0017]1、本专利技术通过泵体能很好的将三氟化氯通过输料管抽送至承载盒内，并且通过筛网能很好的进行初步过滤在通过汽化器、吸附塔、冷凝塔、精馏塔的配合能有效进行提纯，保证其纯度，提升其使用效果；
[0018]2、本专利技术中三氟化氯通过输料管进入承载盒内时会冲击桨叶从而使竖轴转动，竖轴转动能使套管带动推杆转动，从而能使刮板抵触筛网转动，能有效的进行清理筛网的上端，避免杂质堵塞筛网保证其通过效果和过滤效果。
[0019]本专利技术能快速初步对三氟化氯内的杂质进行过滤，并且能很好的清理过滤网，保证过滤的效果和质量，并且方便进行更换和清洗，再通过汽化器、吸附塔、冷凝塔、精馏塔的配合能进一步的进行提纯，提高提纯的效率。
附图说明
[0020]图1为本专利技术提出的一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置的连接结构图；
[0021]图2为本专利技术提出的一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置的A处放大图；
[0022]图3为本专利技术提出的一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置的B处放大图；
[0023]图4为本专利技术提出的一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置的筛网结构示意图；
[0024]图5为本专利技术提出的一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置的套管和推杆结构示意图。
[0025]图中：1储料斗、2泵体、3输料管、4出料管、5汽化器、6吸附塔、7冷凝塔、8精馏塔、9转轴、10轴套、11齿轮、12直齿条、13第一弹簧、14转盘、15套管、16刮板、17筛网、18压板、19桨叶、20竖轴、21承载盒、22第二弹簧、23推杆。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]如图1
‑
5所示，本专利技术提供一种技术方案：一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置，包括储料斗1，储料斗1的一侧上端安装有进料管，进料管上安装有阀门，物料通过进料管能进入储料斗1内，工作人员能通过阀门使物料稳定的进入储料斗1内，便于进行初步的过滤处理。
[0028]所述储料斗1上设有泵体2，所述泵体2的一端延伸至储料斗1内，所述泵体2的另一端连通有输料管3，泵体2能很好的将物料从储料斗1中抽出，并且能通过输料管3进行输送，方便进行过滤处理。
[0029]所述输料管3上设有升降机构，升降机构包括转动连接在输料管3一侧的转轴9，转轴9上固定套装有齿轮11，输料管3上滑动套接有压板18，压板18的上端一侧固定有直齿条12，齿轮11和直齿条12相啮合，齿轮11的转动能很好的使直齿条12运动，从而能带动压板18进行升降。
[0030]所述转轴9的外侧固定有转盘14，通过转动转盘14能很好的使齿轮11转动，齿轮11的转动能很好的使直齿条12运动，从而能带动压板18进行升降，压板18的升降能进行闭合，有效避免出现泄漏的情况。
[0031]转轴9上转动套接有轴套10，轴套10的下端固定有第一弹簧13，第一弹簧13固定在压板18的上端，能很好的使压板18复位，并且第一弹簧13能很好的适应压板18的上升。
[0032]所述储料斗1的一侧固定有承载盒21，所述压板18和承载盒21相互相互抵触，从而能很好的进行闭合。
[0033]所述输料管3内转动连接有竖轴20，所述竖轴20的下端延伸至压板18和承载盒21内，所述竖轴20上等间距固定有多个桨叶19，当物料通过输料管3输出时，能使桨叶19转动，从而能很好的带动竖轴20转动。
[0034]所述竖轴20下端的固定有套管15，所述套管15内固定有第二弹簧22，所述套管15内滑动连接有推杆23，所述第二弹簧22的下端固定在推杆23的上端，所述推杆23的两侧等间距固定有多个刮板16；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置，其特征在于：包括储料斗(1)，所述储料斗(1)上设有泵体(2)，所述泵体(2)的一端延伸至储料斗(1)内，所述泵体(2)的另一端连通有输料管(3)；所述输料管(3)上设有升降机构，所述升降机构上设有压板(18)，所述储料斗(1)的一侧固定有承载盒(21)，所述压板(18)和承载盒(21)相互配合使用；所述输料管(3)内转动连接有竖轴(20)，所述竖轴(20)的下端延伸至压板(18)和承载盒(21)内，所述竖轴(20)上等间距固定有多个桨叶(19)，所述竖轴(20)的下端固定有套管(15)，所述套管(15)内固定有第二弹簧(22)，所述套管(15)内滑动连接有推杆(23)，所述第二弹簧(22)的下端固定在推杆(23)的上端，所述推杆(23)的两侧等间距固定有多个刮板(16)；所述承载盒(21)的下端连接有出料管(4)，所述出料管(4)的另一端依次连接有汽化器(5)、吸附塔(6)、冷凝塔(7)和精馏塔(8)。2.根据权利要求1所述的一种高效制备高纯三氟化氯的提纯分离装置，其特征在于，所述升降机...

【专利技术属性】
技术研发人员：林坤，马朝选，徐海云，马领军，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：发明
国别省市：